P阱

作品数:13被引量:7H指数:2
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一种抑制单粒子瞬态响应的SiGe HBT工艺加固技术仿真
《微电子学》2023年第6期965-970,共6页易孝辉 谭开洲 张培健 魏佳男 洪敏 罗婷 徐开凯 
国防科技工业抗辐照应用技术创新中心创新基金资助项目(KFZC2020020702);重庆市博士后特别资助项目(YBSH2103);国家自然科学基金资助项目(62174018)
基于0.13μm SiGe BiCMOS工艺,开展了无深槽NPN SiGe HBT工艺和器件仿真。模拟了带深P阱SiGe HBT的制备过程、常规电学特性和重离子单粒子效应。该器件与常规器件相比表现出更优的单粒子瞬态(SET)特性,在关态的SET响应峰值下降了80%,在...
关键词:SiGe BiCMOS SiGe HBT 单粒子瞬态 电荷收集 深P阱 
SOI LDMOS栅漏电容特性的研究被引量:3
《微电子学》2005年第4期352-356,共5页俞军军 孙伟锋 易扬波 李海松 陆生礼 
国家高技术研究发展计划(863)计划资助项目(2003AA1Z1400)
借助软件,模拟并研究了SOILDMOS栅漏电容Cgd与栅源电压Vgs和漏源电压Vds的关系;研究了栅氧化层厚度,漂移区注入剂量,P阱注入剂量,SOI厚度,场板长度等五个结构工艺参数对Cgd的影响;提出了减小SOILDMOS栅漏电容Cgd的各参数调节方法。
关键词:SOI LDMOS 栅漏电容 栅氧化层 漂移区 P阱 
一种新型P阱NMOS功率集成电路制作技术
《微电子学》1996年第3期195-197,共3页曹广军 刘三清 秦祖新 应建华 徐彦忠 
提出一种新型的P阱NMOS功率集成电路制作技术。理论分析表明,该技术可以较好地实现VDMOSFET与P阱NMOS电路的兼容集成。实验结果表明,利用该技术获得的器件结构具有良好的击穿特性。
关键词:功率集成电路 VDMOS FET 隔离技术 
一种双扩散p阱nMOS器件新结构
《微电子学》1994年第4期17-21,共5页秦祖新 曹广军 刘三清 
本文介绍了一种适用于VDMOS功率集成电路的双扩散p阱nMOS器件新结构,该结构具有与VDMOS工艺完全兼容和加工工艺简单的特点。利用这种结构可实现nMOS处理电路与衬底间的pn结隔离,并且隔离电压接近VDMOS管的...
关键词:双扩散 MOS器件 结构 P阱 
2μmp阱CMOS工艺中提高源-漏穿通电压的方法被引量:1
《微电子学》1994年第3期31-33,共3页蒋志 王勇 赵海军 
采用防穿通注入的工艺方案,对提高2μmpMOS管的源漏穿通电压应选用的工艺条件做了实验研究。给出了加防穿通注入工艺的实验结果及其对V_(Tp)的影响。
关键词:CMOS 工艺 源漏穿通电压 2μmp阱 
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