SU-8

作品数：107被引量：206H指数：7
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光刻与化学机械抛光技术原位集成制备SU-8微透镜阵列被引量：1
《微纳电子技术》2023年第2期305-312,共8页张清泽 吴永进 马闯北 石现 孙云娜 丁桂甫 
垂直腔面发射激光器通常与微光学元件组合使用,以改善激光束的聚焦或准直效果。研究了一种光刻和化学机械抛光技术相结合的新工艺方法,用于原位制备SU-8微透镜阵列。通过调控光刻参数,可以精确控制微透镜的直径与高度。实验制备了不同...
关键词：微透镜阵列 SU-8 原位 化学机械抛光 垂直腔面发射激光器 
Cu/SU-8复合结构的高精度机械研磨
《微纳电子技术》2022年第4期379-384,391,共7页田苗 周欣 陈舒静 张笛 瞿敏妮 毛海平 乌李瑛 
由于其独特的厚度优势,SU-8经常在微加工领域被用作模具,通过电镀实现金属的大深宽比结构。但是,由于电镀的特殊性,其获得的金属结构表面往往需要进行研磨整平。对在SU-8大深宽比结构中电镀金属后形成的复合结构的研磨进行研究,设计并...
关键词：复合结构 电镀 研磨 SU-8 粗糙度 
通过硬烘降低SU-8侧壁粗糙度
《微纳电子技术》2020年第12期1028-1032,共5页田苗 张笛 瞿敏妮 毛海平 乌李瑛 孔路瑶 
当以SU-8光刻胶作为模具制备大深宽比结构或者直接用SU-8作为结构材料时,都难以避免地受到粗糙侧壁的影响。而随着器件性能的提高,这一问题越来越影响到SU-8的应用。通过使用硬烘的方法来改善SU-8胶的侧壁粗糙度。通过调整硬烘温度和时...
关键词：SU-8胶 硬烘 粗糙度 大深宽比 铜波导 侧壁 波纹 
PDMS多层次蘑菇形微结构的制作被引量：2
《微纳电子技术》2020年第5期395-398,408,共5页单晗 刘军山 
国家自然科学基金资助项目(51875083,51621064)。
提出了一种基于光刻胶牺牲层技术的用于制作多层次SU-8模具的新方法,并进一步采用浇注成型的方法制作了聚二甲基硅氧烷(PDMS)多层次蘑菇形微结构。在多层次SU-8模具的制作过程中,使用了正性光刻胶BP212作为牺牲层,并采用超声辅助显影的...
关键词：聚二甲基硅氧烷(PDMS) 多层次 蘑菇形微结构 牺牲层 SU-8 超疏水 
基于离心微流技术的阵列化检测芯片被引量：2
《微纳电子技术》2016年第10期658-662,共5页吴李刚 周武平 蒋克明 张涛 刘聪 黎海文 
中国科学院装备项目(YZ201444)
针对医疗行业多指标检测的需求,利用微流控技术高通量的优势,设计出一款由离心力驱动的阵列化检测芯片。首先介绍了芯片所涉及的力学理论,并由此计算出阀的突破频率,然后用COMSOL软件仿真流体运动,验证突破频率的正确性以及芯片结构的...
关键词：阵列化 离心力 微流控 SU-8 COMSOL 
Si基Si_3N_4弹性膜独立多探针的制作
《微纳电子技术》2016年第8期541-546,551,共7页原作兰 刘淑杰 张元良 
国家自然科学基金青年项目(51205043);高等学校博士学科点专项科研基金新教师基金资助项目(20120041120033)
针对广域光-接触多探针方法测量光刻胶表面形貌的需要,设计制作了Si基Si_3N_4弹性膜独立多探针,该探针呈9×9二维阵列分布。先利用ANSYS有限元软件分析探针Si_3N_4弹性薄膜的厚度和面积尺寸对探针测量范围的影响规律,得到了优化的几何...
关键词：独立多探针 微电子机械系统(MEMS) 广域测量 SU-8探针 Si3N4弹性薄膜 
用于太赫兹频段的矩形波导腔加工工艺被引量：4
《微纳电子技术》2016年第7期473-477,共5页孙玉洁 段俊萍 寇海荣 张斌珍 
国家自然科学基金资助项目(61401405;51475438);山西省基础研究资助项目(2014011021-4)
介绍了一种用于太赫兹频段的矩形波导腔的设计和加工工艺。利用Comsol Multiphysics软件对射频器件中心频率为0.4 THz时,横电波(TE10波)在矩形波导腔中的传播进行了仿真。仿真结果表明,波导口尺寸设计为0.56 mm×0.3 mm时,电磁波在该波...
关键词：太赫兹(THz) 牺牲层 矩形波导腔 AZ50XT SU-8 
基于混合曝光技术的新型亚微米图形制作方法
《微纳电子技术》2014年第7期475-478,共4页李淑萍 林文魁 王德稳 周震华 龚亚飞 
江苏省高等职业院校高级访问工程师计划资助项目(2013-FG012)
提出了一种基于投影式光刻机和电子束光刻机混合曝光技术的新型亚微米图形制作方法,该方法可用于制作对精度要求比较高的亚微米图形。具体的做法是将亚微米图形分解成高精度图层和普通精度图层,并将两个图层分别采用电子束直写和投影式...
关键词：混合曝光技术 亚微米图形 电子束曝光 投影式光刻 SU-8 
一种高效低成本制作三维聚焦微流沟道的方法被引量：1
《微纳电子技术》2014年第3期181-185,193,共6页杨潞霞 毛静 郝晓剑 张斌珍 
国家自然科学基金资助项目(61176115)
为了使用微流体细胞仪实现对细胞的精确计数,设计和制作了能够真正实现三维聚焦功能的微流沟道。首先用Ansys软件对微流沟道的结构进行了优化设计,利用斜曝光工艺制作了SU-8微流沟道模具;然后利用聚二甲基硅氧烷(PDMS)对SU-8模具进行倒...
关键词：微流沟道 三维聚焦 SU-8 聚二甲基硅氧烷(PDMS) 倒模 
基于SU-8的高质量平面微透镜阵列压印新方法被引量：3
《微纳电子技术》2013年第4期242-247,共6页范新磊 张斌珍 李向红 张勇 
国家重点基础研究发展计划资助项目(2012CB723401)
提出一种采用紫外光刻工艺及压印快速制造平面微透镜阵列的新技术。首先采用光刻工艺制作出平面圆柱形阵列,然后用热熔法将圆柱形阵列转化为微透镜阵列。以此微透镜阵列为母板,通过聚二甲基硅氧烷(PDMS)复制出和母板相反的模具,利用毛...
关键词：仿生复眼 压印 热熔 聚二甲基硅氧烷(PDMS) 微透镜阵列 
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