MEMS

作品数:5499被引量:11021H指数:29
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变刚度单轴电容式MEMS加速度计设计
《传感器与微系统》2025年第4期70-73,共4页洪逸飞 武焕臣 汤沛源 刘晨 李磊 
山东省自然科学基金面上项目(ZR2023MA057);国家自然科学基金资助项目(11902182);山东省高校青年创新团队发展计划资助项目(2023KJ150)。
本文提出了一种利用静电弹簧软化效应提高加速度计灵敏度的方法。加速度计采用4组U型弹簧对敏感质量进行支撑,敏感质量上设计了差分电容检测结构和静电调谐结构。实现了结构谐振频率可调,保证了加速度计的结构强度,提高了传感器灵敏度...
关键词:MEMS 电容式加速度计 灵敏度 变刚度 谐响应分析 
高精度MEMS差压传感器芯片的研究被引量:1
《传感器与微系统》2024年第12期28-31,共4页杜成权 艾军 许明洋 魏壮壮 陈宇昕 
重庆市技术创新与应用发展专项重点项目(定向委托)(cstc2020jscx-dxwtBX0047)。
为应对市场对高精度MEMS差压传感器的需求,开展了压力传感器芯片关键技术研究。设计了一种压阻式差压传感器芯片,解决了硅—硅室温键合技术难题,开发了自主可控、稳定可靠、适合批量生产的工艺。采用体微机械加工技术和硅—硅键合技术...
关键词:差压传感器 MEMS芯片 体微加工 KOH刻蚀 硅—硅键合 
基于MEMS喷墨打印芯片的低应力封装基板设计
《传感器与微系统》2024年第12期93-95,共3页冯东东 王伟 葛胜 关一民 
喷墨打印芯片基于MEMS技术制备而成,内部集成有液体驱动MEMS结构,而MEMS结构本质是应力敏感的,因此封装过程产生的应力将会严重影响MEMS喷墨打印芯片的可靠性和长期稳定性。本文基于MEMS喷墨打印芯片,从结构和材料两方面考虑,设计出3种...
关键词:封装应力 基板设计 仿真分析 实际测量 
基于MEMS前沿传感技术的水声专业教学实践研究
《传感器与微系统》2024年第11期41-44,共4页朴胜春 宋扬 龚李佳 张强 陈丽洁 
国家自然科学基金面上项目(52375529);哈尔滨工程大学水声工程学院研究生课程思政教学研究中心项目(GK0000020139082)。
针对信息技术应用模式快速发展对创新型人才培养的迫切需求,围绕着水声工程创新发展要求,提出将压电MEMS芯片传感前沿技术与学生毕业设计题目关联,开展毕业设计实践,突破原有毕设题目独立设置模式,并通过与科研院所联合开展学生实践活动...
关键词:MEMS芯片前沿技术 水声专业 教学模式 目标题目组 教学实践 
MEMS微热板结构设计与仿真
《传感器与微系统》2024年第10期100-104,共5页王玫 王旭丹 姜利英 
国家自然科学基金资助项目(62073299);河南省重点研发与推广专项(科技攻关)项目(242102210216);中原科技创新领军人才项目(224200510026)。
微热板作为很多微机电系统(MEMS)传感器和执行器的基础结构,对器件性能影响极大,在气体传感器、燃料电池等领域都有着重要的应用。本文提出了几种悬浮式结构的微热板设计,并利用有限元分析方法(FEA),在气体传感器常用的工作温度400℃下...
关键词:微热板 有限元分析方法 MEMS传感器 气体传感器 低压化学气相沉积 
基于紫外纳米压印光刻的生物纳米孔测序MEMS芯片设计
《传感器与微系统》2024年第8期79-82,共4页姜保 侍南 吴炫烨 徐屹峰 
上海市“科技创新行动计划”启明星项目(23QB1405100);科技部重点研发计划项目(2019YFA0707004);科技部重点研发计划项目(SQ2021YFF0700202);上海市白玉兰人才计划浦江项目(23PJ1423400)。
纳米孔测序作为最新一代的基因测序技术,在生物医学和临床应用中起着至关重要的作用。测序系统中的MEMS结构通常采用传统光刻工艺来实现,本文首次运用紫外纳米压印光刻(UV-NIL)工艺来验证实现纳米孔测序系统中的MEMS芯片的可能性。采用...
关键词:纳米孔 基因测序 紫外纳米压印光刻 
MEMS磁电耦合矢量水声传感器研制
《传感器与微系统》2024年第5期58-61,共4页宫占江 孙立凯 宋尔冬 邵志强 陈亚洲 
本文提出了一种基于磁电耦合原理和MEMS加工工艺的矢量水声传感器。该矢量水声传感器的MEMS敏感检测单元包括磁电耦合材料、八悬臂梁-中心质量块MEMS元件和永磁铁。采用电荷放大信号处理电路处理敏感检测单元产生的信号。通过对磁电耦...
关键词:磁电耦合 微机电系统 灵敏度 矢量水声传感器 
基于纳米铂黑材料的超高辐射率MEMS红外光源研究
《传感器与微系统》2024年第3期39-42,51,共5页树东生 陶继方 徐茂森 赵佳 李炎 张小水 
国家重点研发计划资助项目(SQ2019YFB200002)。
本文基于微机电系统(MEMS)设计和加工技术,研制了一种高辐射率、低功耗、高调制速率的MEMS红外(IR)光源,通过在工艺中引入高可靠的纳米铂黑(Pt-black)材料作为红外辐射层,在2~14μm光谱范围内成功实现了99.5%以上的平均辐射效率。在5V...
关键词:微机电系统 微型红外光源 红外气体传感器 微机电系统红外光源 
高精度高稳定气压测高系统被引量:1
《传感器与微系统》2023年第12期111-114,共4页陈旭磊 陈春梅 张文凯 高杨 
为满足无人机(UAV)在精准作业时对高度信息的高精度与高稳定性需求,设计了一种气压测高系统,并对其进行了实验验证与性能分析。该系统主要由自研功能主控板、MEMS谐振式压力传感器、上位机软件构成。主控板采用密集型4层制版,完成数据...
关键词:MEMS谐振式压力传感器 气压测高 温度补偿 高精度 
新型MEMS仿生声敏感芯片设计与晶圆级测试被引量:2
《传感器与微系统》2023年第12期87-90,共4页宋金龙 王甫 凤瑞 李厚旭 周铭 许志勇 
面向生产线设备智能故障诊断与维护预测对低频、低成本麦克风的应用需求,针对现有微机电系统(MEMS)声传感器低频响应差、高频资源浪费和精密测量驻极体麦克风成本高的问题,通过分析奥米亚寄生蝇的听觉器官的工作原理,提出了一种具有抗...
关键词:微机电系统 仿生 声敏感芯片 单支点差分结构 抗振动干扰 
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