程东升

作品数:7被引量:12H指数:2
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供职机构:河北工业大学更多>>
发文主题:A/D转换ZNO薄膜氧敏特性TIO2薄膜钼酸铵更多>>
发文领域:自动化与计算机技术电子电信理学一般工业技术更多>>
发文期刊:《微纳电子技术》《传感技术学报》《传感器世界》《河北工业大学学报》更多>>
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纳米薄膜乙醇传感器的研制被引量:1
《传感器世界》2014年第9期7-13,共7页孙冰 程东升 田丰 高金雍 齐景爱 
在陶瓷管上用Ti O2溅射法研制纳米薄膜乙醇传感器,同时作了机理分析。利用X射线衍射技术分析确定,在利用溅射法制备Ti O2纳米薄膜时,随着退火温度的提高,所形成的Ti O2薄膜晶体结构由无定型结构,向锐钛矿结构转变,随后又随温度升高逐渐...
关键词:TiO2纳米薄膜 乙醇传感器 溅射法 红外光谱 
ZnO薄膜制备及其有机蒸汽敏感特性分析被引量:2
《河北工业大学学报》2006年第5期23-27,共5页潘国峰 何平 孙以材 程东升 
采用直流磁控溅射法进行ZnO薄膜的制备,探讨了O2/Ar对薄膜方块电阻,退火对薄膜结构的影响.在对不同退火温度的ZnO薄膜的气敏特性进行测试后表明:较低的退火温度有利于提高器件气敏特性,其中经600℃退火的ZnO薄膜的灵敏度最高,其最佳工...
关键词:反应溅射 ZNO薄膜 退火温度 有机蒸汽敏感特性 选择性 
一种新型矿井瓦斯传感器的研究与设计被引量:3
《仪表技术与传感器》2006年第9期1-3,共3页程东升 孙以材 潘国锋 袁育杰 
河北省重点学科资助
研究并设计了一种用于矿井瓦斯气体安全监测的气体传感器。传感器中气体敏感元件是利用溶胶-凝胶法在陶瓷管外表面制备的Fe3+搀杂SnO2薄膜。此薄膜对甲烷等易燃易爆气体有较高的敏感性和较短的响应(恢复)时间。该传感器采用MAX-197芯片...
关键词:溶胶-凝胶法 SNO2薄膜 瓦斯 高精度A/D转换 数码显示 
钼掺杂降低TiO_2氧敏薄膜最佳工作温度研究被引量:3
《传感器与微系统》2006年第7期15-17,共3页程东升 孙以材 潘国锋 袁育杰 
用直流反应磁控溅射法在陶瓷基片上制备出TiO2薄膜。并进行1 100℃,2 h的退火处理。配置钼酸铵溶液,利用浸渍法处理TiO2薄膜若干时间。取出后,进行500℃,3 h退火处理。用气敏测试箱对制备出的TiO2薄膜的氧敏特性进行试验测试,发现对氧...
关键词:TIO2薄膜 钼酸铵 最佳工作温度 氧敏特性 
用于油库安全监测的气体传感器研究与设计被引量:1
《传感技术学报》2006年第6期2509-2513,共5页程东升 袁育杰 孙以材 潘国锋 
河北省重点学科资助项目
研究并设计了一种用于油库安全监测的气体传感器。传感器中气体敏感元件是利用直流磁控溅射法制备的Al掺杂ZnO薄膜。此薄膜对汽油等有机蒸汽有较高的敏感性和较短的响应(恢复)时间.当油气浓度较大时(大于1%),输出信号的变化仍较大.本传...
关键词:ZNO薄膜 高精度A/D转换 无线数据收发 液晶显示 
硅的电阻率温度系数~电阻率关系Si几种拟合方法的比较被引量:2
《传感器世界》2006年第3期12-16,共5页孙以材 宫云梅 王静 程东升 张效玮 
本文以硅单晶的电阻率温度系数~电阻率非线性曲线为应用对象,用直线最小二乘法、牛顿插值法、规范化多项式、MATLAB3次、4次及5次曲线分别进行拟合近似逼近,并得到各自的多项式,用到表和图线以作对比。结论是牛顿插值法、规范化多项式...
关键词:电阻率温度系数 最小二乘法 牛顿插值法 规范化多项式法 MATLAB法 
铝薄膜CMP影响因素分析被引量:1
《微纳电子技术》2006年第2期107-111,共5页袁育杰 刘玉岭 张远祥 程东升 
天津市重点自然科学基金(043801211)
提出了在碱性抛光液中铝薄膜化学机械抛光的机理模型,对抛光液的pH值、磨料、氧化剂浓度对过程参数的影响做了一些试验分析。试验结果表面粗糙度的铝薄膜所需的最优化CMP过程参数:硅溶胶粒径为15~20nm,pH值为10.8~11.2,氧化剂浓度为2...
关键词:化学机械抛光 铝薄膜 全局平面化 
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