张广莹

作品数：25被引量：102H指数：6
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供职机构：哈尔滨工业大学航天学院控制科学与工程系更多>>
发文主题：光刻机陀螺仪系统辨识神经网络小波网络更多>>
发文领域：自动化与计算机技术航空宇航科学技术交通运输工程理学更多>>
发文期刊：《哈尔滨工业大学学报》《宇航学报》《自动化仪表》《系统仿真学报》更多>>
所获基金：国家科技重大专项黑龙江省高等教育教学改革工程项目航天支撑技术基金更多>>
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自动化类本科生实验教学课程改革探索与实践被引量：9
《实验室研究与探索》2019年第3期158-160,240,共4页金晶 姜宇 李丹丹 张广莹 何朕 
黑龙江省高等教育教学改革项目(SJGY20170623)
自动化类专业具有多学科交叉的特点,实验教学课程改革的思路是坚持教学与科研相结合、大类培养与个性化培养相结合的原则,以平台级和系统级的自主设计实验内容支撑专业核心课程建设,探索打造大学分整合的实验课程体系。实践过程中,依托...
关键词：实验教学 课程改革 自动化专业 学分整合 
基于VME总线的VxWorks操作系统的移植被引量：1
《自动化技术与应用》2016年第3期23-28,共6页徐加彦 贾友亮 陈兴林 张广莹 
国家科技重大专项资助项目(2009ZX02207)
双工件台光刻机的控制系统采用上下位机模式。上位机采用C++Builder编写的人机控制界面,下位机采用基于VME总线的工控机,采用VxWorks嵌入式操作系统。上位机通过人机界面发送控制指令和参数;下位机则通过VME总线在不同时刻采集各个板卡...
关键词：VME总线 VXWORKS 工控机 光刻机 
基于补偿原理的光刻机掩模台多电机控制研究
《自动化技术与应用》2015年第9期14-18,23,共6页徐加彦 王伟峰 陈兴林 张广莹 
光刻机掩模台的宏动台由4个永磁直线电机构成,每侧2个,对称分布在宏动台的两侧。宏动台做大行程、宽范围、高速直线运动。掩模台宏动台共由4个永磁同步电机驱动,两侧电机运行的同步与否将不仅影响到宏动台的定位精度,更会不同步对宏动...
关键词：光刻机掩模台 补偿原理 同步控制 PID 
扫描轨迹下的分段迭代补偿策略被引量：1
《自动化仪表》2015年第5期19-22,共4页魏凯 范文超 陈兴林 张广莹 
国家重大科技专项基金资助项目(编号:2009ZX02207)
为提高光刻机掩模台系统的步进扫描品质,进而提高硅片成品质量,提出一种基于S曲线的轨迹规划。对迭代学习控制进行了研究,并针对普通全局迭代算法可能造成系统在特定环节恶化的局限性,采用分段迭代补偿策略,对迭代学习控制器进行分段优...
关键词：光刻机 掩模台 步进扫描 S曲线 分段迭代学习控制 
基于补偿原理的光刻机掩模台多电机控制研究被引量：1
《自动化技术与应用》2015年第2期5-8,23,共4页徐加彦 王伟峰 陈兴林 张广莹 
光刻机掩模台的宏动台由4个永磁直线电机构成,每侧2个,对称分布在宏动台的两侧。宏动台做大行程、宽范围、高速直线运动。掩模台宏动台共由4个永磁同步电机驱动,两侧电机的同步与否不仅影响到宏动台的定位精度,而且不同步会对宏动台框...
关键词：光刻机掩模台 补偿原理 同步控制 PID 
高速光纤链路通信HSSL的设计与实现
《自动化与仪表》2014年第10期4-7,共4页徐加彦 张之万 陈兴林 张广莹 
光刻机工件台控制系统是一种典型的分布式控制系统,定位精度和运动精度要求达到纳米级,其复杂的控制系统要求具有强实时性和高度同步性。针对上述特点,该文设计了一种基于光纤通信的高速串行链路(HSSL)互联方案。该设计中自定义光纤传...
关键词：光刻机工件台 高速串行链路 通信协议 FPGA 
基于FPGA的高速多通道AD采样系统的设计与实现被引量：17
《自动化与仪表》2014年第9期49-52,共4页徐加彦 张之万 陈兴林 张广莹 
光刻机控制系统是高精度伺服控制系统,其控制精度受环境因素(温度、湿度等因素)影响很大。为了实现对光刻机的高精度伺服控制,必须实时反馈周围环境的变化。状态机具有速度快、可靠性高、稳定性好的特点。本课题采用AD7606采样芯片,利用...
关键词：光刻机 AD7606 多通道采样系统 状态机 
光刻机E-Pin升降机构的控制系统设计
《自动化与仪表》2014年第7期57-60,共4页徐加彦 陈兴林 范文超 张广莹 
考虑到光刻机E-PIN升降机构吸附硅片做上下往复运动,准确定位、快速性、稳定性的要求,提出了一种基于DSP和FPGA的升降机构控制系统设计和实现方法。以TI公司的DSP2812为控制器,Altera公司的EP3C25E144C3N作为可编程逻辑器件,设计了信号...
关键词：DSP2812 E-PIN升降机构 光刻机 音圈电机 
对偶四元数更新算法在划船运动下的优化设计被引量：1
《计算机工程》2012年第23期24-27,32,共5页林玉荣 陈亮 张广莹 
2009航天支撑技术基金资助项目
适合于计算机执行的对偶四元数更新算法是实现对偶四元数捷联惯导系统功能的关键。为此,将螺旋矢量作为工具,在给出螺旋矢量求解方法的基础上,通过分析合理选择划船运动作为测试条件,以二子样为例对基于螺旋矢量的对偶四元数更新算法进...
关键词：对偶四元数 螺旋矢量 捷联惯导系统 划船运动 更新算法 优化算法 
基于Adaline的双线性Hammerstein模型在线参数辨识
《电机与控制学报》2003年第3期222-225,共4页张广莹 邓正隆 
针对双线性Hammerstein模型,提出一种新的模型参数在线辨识方法。此辨识方法只需简单地改变模型输入,即可在线获得此类非线性模型的一致估计。首先利用伪随机二进制序列输入一致估计出模型中的双线性子系统参数,然后再借助于自适应控制...
关键词：在线参数辨识 非线性系统 ADALINE 双线性Hammerstein模型 
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