杨俊

作品数:14被引量:25H指数:3
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供职机构:中国科学院半导体研究所更多>>
发文主题:单晶生长砷化铟磷化铟INP衬底更多>>
发文领域:电子电信理学金属学及工艺医药卫生更多>>
发文期刊:《半导体光电》《材料科学与工程学报》《华西药学杂志》《物理学报》更多>>
所获基金:国家自然科学基金更多>>
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高品质磷化铟多晶的HGF法合成研究
《半导体光电》2024年第1期101-104,共4页刘京明 赵有文 张成龙 卢伟 杨俊 沈桂英 
国家自然科学基金项目(62374161)。
用高压水平温度梯度定向结晶技术合成了磷化铟(InP)多晶。分析了不同温度梯度对多晶配比度的影响,结果表明当温度梯度低于4℃/cm时,多晶呈明显富铟状态,配比度在97%以下;当温度梯度在5℃/cm以上时多晶致密、无铟夹杂,达到近化学配比状态...
关键词:磷化铟 多晶 水平温度梯度凝固 杂质 纯度 
GaSb单晶研究进展被引量:2
《人工晶体学报》2024年第1期1-11,共11页刘京明 杨俊 赵有文 杨成奥 蒋洞微 牛智川 
国家自然科学基金(62374161)。
近年来,锑化物红外技术发展迅速,成为半导体技术的重要发展方向之一。锑化镓(GaSb)作为典型的Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体,凭借优异的性能成为锑化物红外光电器件的关键衬底材料。随着锑化物红外技术逐步成熟和应用逐渐开展,人们对GaSb单晶片...
关键词:锑化镓 化合物半导体 锑化物 晶体 红外光电器件 
无位错Te-GaSb(100)单晶抛光衬底的晶格完整性被引量:3
《人工晶体学报》2022年第6期1003-1011,共9页冯银红 沈桂英 赵有文 刘京明 杨俊 谢辉 何建军 王国伟 
国家自然科学基金(61904175);江苏省重点研发计划(BE2020033)。
采用液封直拉(LEC)法批量生长的直径2英寸(1英寸=2.54 cm)n型Te-GaSb(100)单晶的位错腐蚀坑密度(EPD)通常低于300 cm^(-2),达到无位错水平。本文利用X射线摇摆曲线以及倒易空间图(RSM)对这种GaSb单晶抛光衬底的晶格完整性和亚表面损伤...
关键词:GASB 衬底 液封直拉法 晶格完整性 位错腐蚀坑密度 倒易空间图 亚表面损伤 化合物半导体 
甲氧依托咪酯盐酸盐杂质PIM-A的合成被引量:1
《华西药学杂志》2021年第4期367-370,共4页刘良权 杨俊 齐庆蓉 
四川省重点研发项目(批准号:2019YFS0093)。
目的合成甲氧依托咪酯盐酸盐制备工艺过程中产生的杂质PIM-A。方法以3-羟基苯乙酮及苄溴作为起始原料,经醚化、还原、Mitsunobu反应、水解、取代及催化氢化等6步反应,制备得到目标化合物PIM-A。结果得到PIM-A,总收率为3.56%,并通过NMR、...
关键词:甲氧依托咪酯盐酸盐 杂质 3-羟基苯乙酮 MITSUNOBU反应 核磁共振 HMQC谱 HMBC谱 杂质对照品 
低位错密度4 inchGaSb(100)单晶生长及高质量衬底制备被引量:2
《人工晶体学报》2017年第5期820-824,共5页杨俊 段满龙 卢伟 刘刚 高永亮 董志远 王俊 杨凤云 王凤华 刘京明 谢辉 王应利 卢超 赵有文 
国家自然科学基金(61474104,61504131)
采用液封直拉法(LEC)生长了4 inch直径(100)GaSb单晶并进行了衬底晶片的加工制备。通过优化热场,可重复生长出非掺和掺Te整锭(100)单晶,单晶锭的重量为5~8 kg,成晶率可达80%以上。4 inch(100)晶片大部分区域的位错腐蚀坑密度小500 cm^(-...
关键词:锑化镓(Ga Sb) 液封直拉法(LEC) 单晶 衬底 
4 inch低位错密度InP单晶的VGF生长及性质研究被引量:4
《人工晶体学报》2017年第5期792-796,共5页赵有文 段满龙 卢伟 杨俊 董志远 刘刚 高永亮 杨凤云 王风华 王俊 刘京明 谢辉 王应利 卢超 
采用高压垂直温度梯度凝固法(VGF)生长了非掺、掺硫和掺铁的4 inch直径(100)InP单晶,获得的单晶的平均位错密度均小于5000 cm^(-2)。对4 inch InP晶片上进行多点X-射线双晶衍射测试,其(004)X-射线双晶衍射峰的半峰宽约为30弧秒且分布均...
关键词:磷化铟(In P) 垂直温度梯度凝固(VGF) 孪晶 组份过冷 
AlN原料的钨网炉高温提纯被引量:2
《材料科学与工程学报》2015年第4期601-604,共4页刘京明 刘彤 杨俊 陶东言 段满龙 董志远 赵有文 李百泉 
商品氮化铝粉料中含有高浓度的氧、碳及金属杂质,需经过高温提纯处理后才能用于物理气相法氮化铝晶体生长。与感应加热相比,钨网电阻加热可有效避免碳、氧等的二次沾污,势必具有良好的提纯效果。本文采用钨网炉对AlN原料进行高温烧结提...
关键词:氮化铝 钨网炉 杂质 提纯 
掺Sb的ZnO单晶的缺陷和性质研究被引量:1
《Journal of Semiconductors》2008年第10期1988-1991,共4页张瑞 张璠 赵有文 董志远 杨俊 
国家自然科学基金资助项目(批准号:60736032)~~
采用化学气相传输法生长了掺Sb的ZnO体单晶,生长温度为950℃.与非掺ZnO单晶相比,掺Sb后ZnO单晶仍为n型,其自由电子浓度明显升高.X射线光电子能谱(XPS)测量结果表明,掺入的Sb在ZnO单晶中可能占据了Zn位,或处于间隙位置,形成了施主.利用...
关键词:ZNO 单晶 掺杂 缺陷 
Characterization of Phosphorus Diffused ZnO Bulk Single Crystals
《Journal of Semiconductors》2008年第9期1674-1678,共5页张瑞 张璠 赵有文 董志远 杨俊 
the National Natural Science Foundation of China(No.60736032)~~
Phosphorus was diffused into CVT grown undoped ZnO bulk single crystals at 550 and 800℃ in a closed quartz tube. The P-diffused ZnO single crystals were characterized by the Hall effect, X-ray photoelectron spectrosc...
关键词:DIFFUSION DEFECT ZNO PHOSPHORUS 
铟掺杂ZnO体单晶的生长及其性质被引量:1
《Journal of Semiconductors》2008年第8期1540-1543,共4页张璠 赵有文 董志远 张瑞 杨俊 
国家自然科学基金资助项目(批准号:60736032)~~
研究了In掺杂n型ZnO体单晶的化学气相传输法生长和材料性质.利用霍尔效应、X射线光电子能谱、光吸收谱、喇曼散射、阴极荧光谱等手段对晶体的特性和缺陷进行了分析.掺In后容易获得浓度为1018~1019cm-3的n型ZnO单晶,掺入杂质的激活效率很...
关键词:ZNO 掺杂 化学气相传输 单晶 
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