国家自然科学基金(50571062)

作品数：16被引量：45H指数：4
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AlN/SiO_2纳米多层膜的超硬效应与高温抗氧化性被引量：3
《无机材料学报》2008年第3期562-566,共5页吴莹 赵文济 孔明 黄碧龙 李戈扬 
国家自然科学基金(50571062)
采用反应磁控溅射法制备了一系列不同SiO_2层厚的AlN/SiO_2纳米多层膜,利用X射线衍射仪、高分辨透射电子显微镜、扫描电子显微镜和微力学探针表征了多层膜的微结构和力学性能,研究了多层膜微结构与力学性能随SiO_2层厚的变化,考察了AlN/...
关键词：AlN/SiO2纳米多层膜 外延生长 超硬效应 抗氧化性 
反应溅射Ti(O,N)涂层的微结构与力学性能被引量：2
《表面技术》2007年第6期39-41,共3页吴莹 吴昕蔚 李广泽 李戈扬 
国家自然科学基金项目资助(50571062)
采用反应磁控溅射方法在Ar、N2和O2混合气氛中制备了一系列Ti(O,N)涂层,并采用EDS、XRD、SEM、AFM和微力学探针研究了氧分压对涂层的化学成分、微结构和力学性能的影响。结果表明:随混合气氛中氧分压的提高,涂层中的氧含量逐步增加,氮...
关键词：反应磁控溅射 Ti(O N)复合涂层 微结构 力学性能 
金属基体上硬质薄膜内应力的释放测量法
《真空科学与技术学报》2007年第6期545-548,共4页黄碧龙 吴莹 戴嘉维 李戈扬 
国家自然科学基金项目(No.50571062)
提出了一种基于Stoney公式测量金属基体上硬质薄膜内应力的应力释放法,并研究了不同基底温度对磁控溅射TiN薄膜内应力的影响。
关键词：硬质薄膜 内应力 
TiN／Si_3N_4纳米晶复合膜的微结构和强化机制被引量：13
《无机材料学报》2007年第3期539-544,共6页孔明 赵文济 乌晓燕 魏仑 李戈扬 
国家自然科学基金(50571062)
采用高分辨透射电子显微镜对高硬度的TiN／Si3N4纳米晶复合膜的观察发现,这类薄膜的微结构与Veprek提出的nc-TiN／a-Si3N4模型有很大不同;复合膜中的TiN晶粒为平均直径约10nm的柱状晶,存在于柱晶之间的Si3N4界面相厚度为0．5-0．7nm,呈...
关键词：TiN/Si3N4纳米晶复合膜 纳米多层膜 界面相 晶体化 超硬效应 
反应溅射VN/SiO_2纳米多层膜的微结构与力学性能被引量：8
《物理学报》2007年第3期1568-1573,共6页岳建岭 孔明 赵文济 李戈扬 
国家自然科学基金(批准号:50571062)资助的课题.~~
采用V和SiO2靶通过反应溅射方法制备了一系列具有不同SiO2和VN调制层厚的VN/SiO2纳米多层膜.利用X射线衍射、X射线能量色散谱、高分辨电子显微镜和微力学探针表征了多层膜的微结构和力学性能.结果表明:在Ar,N2混和气体中,射频反应溅射的...
关键词：VN/SiO2 纳米多层膜 共格外延生长 非晶晶化 超硬效应 
SiO_2的赝晶化及AlN/SiO_2纳米多层膜的超硬效应被引量：3
《物理学报》2007年第3期1574-1580,共7页赵文济 孔明 黄碧龙 李戈扬 
国家自然科学基金(批准号:50571062)资助的课题.
采用反应磁控溅射法制备了一系列不同SiO2层厚度的AlN/SiO2纳米多层膜,利用X射线衍射仪、高分辨透射电子显微镜和微力学探针表征了多层膜的微结构和力学性能,研究了SiO2层在多层膜中的晶化现象及其对多层膜生长方式及力学性能的影响.结...
关键词：AlN/SiO2纳米多层膜 赝晶化 应力场 超硬效应 
Si_3N_4的晶体化和ZrN/Si_3N_4纳米多层膜的超硬效应被引量：4
《物理学报》2007年第1期459-464,共6页赵文济 董云杉 岳建岭 李戈扬 
国家自然科学基金(批准号:50571062)资助的课题~~
研究了Si3N4层在ZrN/Si3N4纳米多层膜中的晶化现象及其对多层膜微结构与力学性能的影响.一系列不同Si3N4层厚度的ZrN/Si3N4纳米多层膜通过反应磁控溅射法制备.利用X射线衍射仪、高分辨透射电子显微镜和微力学探针表征了多层膜的微结构...
关键词：ZrN/Si3N4纳米多层膜 外延生长 赝晶体 超硬效应 
VN/(Ti,Al)N纳米多层膜的共格生长与超硬效应被引量：2
《上海交通大学学报》2006年第10期1758-1762,共5页孔明 董云杉 戴嘉维 张慧娟 李戈扬 
国家自然基金资助项目(50571062)
采用反应磁控溅射技术制备了一系列具有不同调制周期的VN/(Ti,Al)N纳米多层膜.利用高分辨透射电子显微镜、X-射线衍射仪和微力学探针表征了纳米多层膜的微结构和力学性能,从而研究其微结构与力学性能之间的关系.结果表明,小调制周期时,V...
关键词：VN/(Ti Al)N纳米多层膜 晶体生长 共格界面 力学性能 
反应溅射(Al,Ti)(O,N)涂层的微结构与力学性能被引量：5
《功能材料》2006年第8期1307-1309,共3页刘艳 董云杉 许辉 祝新发 李戈扬 
国家自然科学基金资助项目(50571062)
采用Al—Ti镶嵌复合靶在Ar、N2和O2混合气体中反应溅射制备了一系列（Al，Ti）（O，N）涂层。并采用EDS、XRD、TEM和微力学探针研究了薄膜的化学成分、微结构和力学性能。结果表明，随氧分压的提高，涂层中氧含量逐步增加，氮含量相应...
关键词：反应溅射 (Al Ti)(O N)复合涂层 微结构 力学性能 
反应溅射ZrN/AlON纳米多层膜的晶体生长
《电子显微学报》2006年第B08期89-90,共2页岳建岭 董云杉 刘艳 李戈扬 
国家自然科学基金资助项目(No.50571062)
关键词：纳米多层膜 晶体生长 ALON 反应溅射 ZRN Al2O3 高温抗氧化性 技术路线 
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