国家自然科学基金(10305008)

作品数：12被引量：19H指数：2
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相关期刊：《物理学报》《物理》《真空科学与技术学报》《功能材料与器件学报》更多>>
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使用微感应耦合等离子体射流源高速沉积类金刚石碳膜被引量：1
《苏州大学学报（自然科学版）》2008年第1期60-64,共5页孙刚 辛煜 卢春山 
国家自然科学基金资助项目(10305008)
提出了一种基于13.56MHz激发的微感应耦合等离子体射流源,含碳的等离子体射流在绕有水冷线圈的石英管中产生.激光拉曼光谱及紫外-可见光谱分别用以研究基片负偏压对所生长的非晶碳膜结构特征的影响.结果表明:碳基微等离子体射流具有很...
关键词：微感应耦合等离子体射流源 类金刚石薄膜 RAMAN光谱 光学带隙 
交叉型天线感应耦合等离子体源放电特性及均匀性被引量：2
《真空科学与技术学报》2008年第2期174-178,共5页卢春山 辛煜 孙刚 孙恺 
国家自然科学基金资助(No.10305008)
本文介绍了一种交叉型天线射频感应耦合等离子体源,射频天线穿过交叉排列的石英管内置于真空腔体中。本文运用朗谬尔探针方法诊断了放电等离子体的参量及其均匀性,运用发射光谱技术进行了Ar谱线[4s’(1/2)0-4p’(1/2)]的发光强度的表征...
关键词：感应耦合等离子体 天线 朗谬尔探针 发射光谱 
微等离子体及其应用被引量：2
《物理》2007年第10期771-776,共6页张树宇 辛煜 宁兆元 梁荣庆 
国家自然科学基金(批准号:10305008)资助项目
微等离子体已成为近年来国际上低温等离子体研究的热点课题之一。微等离子体是被限制在一个有限的空间范围内(尺度为毫米量级甚至更低)的等离子体,它通常能够运行在大气压条件下,它的低功耗、高密度、高稳定等特性以及其小巧、经济、便...
关键词：低温等离子体物理学 微等离子体 综述 大气压 表面处理 
碳氟感应耦合等离子体的SiO_2介质刻蚀的研究被引量：1
《真空科学与技术学报》2007年第2期146-150,共5页虞一青 辛煜 宁兆元 
国家自然科学基金(No.10305008)资助
使用感应耦合等离子体技术,通过改变源气体流量比R(R=[C4F8]/{[C4F8]+[Ar]})、射频源功率、自偏压等条件进行了SiO2介质刻蚀实验研究。碳氟等离子体的特征由朗谬探针和发射光谱技术来表征。结果表明,SiO2的刻蚀速率随放电源功率和射频...
关键词：感应耦合等离子体 发射光谱 介质刻蚀 扫描电镜 
ECR-CVD方法生长a-SiN_x:H薄膜的研究被引量：1
《功能材料与器件学报》2006年第4期259-263,共5页鲁涛 辛煜 吴雪梅 
国家自然科学基金资助(No.10305008)
使用微波电子回旋共振等离子体化学气相沉积(ECR-CVD)方法室温生长了非晶氢化的氮化硅薄膜,通过改变前驱气体(SiH4+80%Ar和NH3)的流量比,研究了薄膜的生长速率、等离子体的发射光谱和薄膜的红外特性。结果表明:随着NH3流量的增加,氮化...
关键词：ECR-CVD a-SiN3 H薄膜 发射光谱 红外光谱 
平板型感应耦合等离子体源的线圈配置对功率耦合效率的影响被引量：7
《物理学报》2006年第10期5311-5317,共7页狄小莲 辛煜 宁兆元 
国家自然科学基金(批准号:10305008)资助的课题.~~
基于感应耦合等离子体的变压器模型,分析了感应耦合等离子体的功率耦合效率与线圈配置(几何尺寸、电学参量)及等离子体基本参量(等离子体电子密度、电子-中性粒子有效碰撞频率)之间的关系;然后,改变平板型线圈的匝数从而改变了线圈的几...
关键词：感应耦合等离子体 功率耦合效率 变压器模型 
多源感应耦合等离子体的产生及等离子体诊断被引量：3
《物理学报》2006年第7期3494-3500,共7页辛煜 狄小莲 虞一青 宁兆元 
国家自然科学基金(批准号:10305008)资助的课题.~~
基于单组多匝线圈的小腔体感应耦合等离子体,研究了线圈配置与耦合效率等之间的关联,并将实验结果应用到多组并联螺旋天线感应耦合等离子体放电体系中.采用了改进的朗谬尔探针方法对单源和多源感应耦合等离子体的电参量分别进行了表征....
关键词：多源感应耦合等离子体 朗谬尔探针 等离子体灰化 
电容耦合的抑制对感应耦合放电等离子体的影响
《真空科学与技术学报》2005年第6期439-443,共5页辛煜 宁兆元 狄小莲 虞一青 
国家自然科学基金的资助(No.10305008)
感应耦合等离子体(ICP)是微电子工业刻蚀高精度沟槽结构的首选高密度等离子体源。研究ICP的电特性与等离子体电学参量的变化显得非常重要。本文中,在平板型ICP源的感应线圈和介质窗口之间,使用了对称、均匀、呈辐射状的法拉第屏蔽板。...
关键词：感应耦合等离子体 等离子体射频电位 法拉第屏蔽 电容耦合 
SiNx薄膜的制备、结构及其光学性能表征
《真空科学与技术学报》2005年第z1期36-38,42,共4页辛煜 鲁涛 黄壮雄 濮林 施毅 宁兆元 郑有炓 
本课题部分获国家自然科学基金(No.10305008)资助
本文使用电子回旋共振等离子体化学气相沉积方法制备了非化学计量比的SiNx薄膜,使用红外光谱、拉曼光谱和紫外可见光谱等对SiNx薄膜的结构和光学性质进行了研究.结果表明,SiNx薄膜中随着Si:N原子比的增加,Si-N的红外伸缩振动从890cm-1...
关键词：电子回旋共振等离子体 a-薄膜 红外光谱 光学性能 
感应耦合等离子体的功率耦合效率的理论分析与计算
《真空科学与技术学报》2005年第z1期93-96,共4页狄小莲 辛煜 宁兆元 
国家自然科学基金(No.10305008)
基于变压器模型,本文对感应耦合等离子体中线圈产生的空间电场分布、等离子体电阻、电感及功率耦合效率等进行了数值计算.在计算过程中,考虑了低气压等离子体无碰撞随机加热机制的作用.结果表明,同心线圈的感应电场呈中空分布,径向和轴...
关键词：感应耦合等离子体 变压器模型 功率耦合效率 
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