天津市科技计划(07ZCGHHZ01500)

作品数：10被引量：15H指数：3
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调制周期对ZrB_2/WNx纳米多层膜的机械性能和结构的影响
《真空》2010年第5期31-34,共4页刘广庆 刘孟寅 龚杰 孙延东 李德军 
国家自然科学基金(50872094);天津市应用基础及前沿技术研究计划重点项目"以硼化物为主要单质材料的超硬纳米多层强化膜设计与制备"(2010);天津市科技计划国际合作项目(07ZCGHHZ01500)联合资助
本文利用高真空离子束辅助沉积系统(IBAD)在室温下制备了ZrB2、WNx和一系列ZrB2/WNx纳米多层膜,利用XRD、SEM、XP-2台阶仪、纳米力学测试系统表征了薄膜的微结构和机械性能,分析了调制周期对薄膜结构与机械性能的影响。结果表明:ZrB2具...
关键词：离子辅助沉积 ZrB2/WNx纳米多层膜 硬度 调制周期 
Ar/N_2气体比例对ZrN/WTiN纳米多层膜的影响
《天津师范大学学报（自然科学版）》2010年第3期31-34,共4页王明霞 李德军 
国家自然科学基金资助项目(50872094);天津市科技计划国际合作项目(07ZCGHHZ01500);天津师范大学青年科研基金资助项目(52LJ73)
选择ZrN和WTi N作为个体层材料,利用超高真空射频磁控溅射系统制备ZrN,WTi N和一系列的ZrN/WTi N纳米多层薄膜.通过X射线衍射仪(XRD)和纳米力学测试系统分析制备参数中Ar/N2气体比例对多层膜结构与机械性能的影响.结果表明:多层膜的纳...
关键词：射频磁控溅射 ZrN/WTiN多层膜 Ar/N2气体比例 
TiB_2/Si_3N_4纳米多层膜的制备及其结构和性能分析被引量：3
《天津师范大学学报（自然科学版）》2010年第1期29-32,共4页董磊 刘广庆 孙延东 龚杰 刘孟寅 李德军 
国家自然科学基金资助项目(50872094);天津市科技计划国际合作资助项目(07ZCGHHZ01500);天津市应用基础及前沿技术研究计划重点项目(2010)
利用超高真空离子束辅助沉积(IBAD)系统,在225℃条件下,制备一系列TiB2/Si3N4纳米多层膜,通过X射线衍射(XRD)仪、表面轮廓仪、原子力显微镜(AFM)和纳米力学测试系统分析该体系合成中调制比对多层膜结构和机械性能的影响.结果表明:一定...
关键词：离子束辅助沉积 TiB2/Si3N4纳米多层膜 调制比 硬度 
调制周期对TiB_2/TiAlN纳米多层膜机械性能的影响被引量：3
《真空科学与技术学报》2008年第S1期26-28,共3页刘思鹏 亢原彬 王晖 李德军 邓湘云 
天津市科技计划国际合作项目(No.07ZCGHHZ01500)
利用射频磁控溅射技术,在室温下合成了具有纳米调制周期的TiB2/TiAlN多层膜。分别采用表面轮廓仪、纳米力学测试系统、多功能材料表面性能实验仪和XRD,分析了调制周期对TiB2/TiAlN纳米多层膜机械性能的影响。结果表明:大部分多层膜的纳...
关键词：射频磁控溅射 TiB2/TiAlN纳米多层膜 调制周期 硬度 
离子束流和基底温度对ZrN/TiAlN纳米多层膜性能的影响被引量：5
《真空科学与技术学报》2008年第S1期29-32,共4页曹猛 李强 杨莹 邓湘云 李德军 
天津市科技计划国际合作项目(No.07ZCGHHZ01500)资助
本文利用高真空离子束辅助沉积系统(IBAD),在室温下制备了ZrN、TiAlN和一系列ZrN/TiAlN纳米多层膜,利用XRD、纳米力学测试系统和多功能材料表面性能实验仪,分析了束流和基底温度对薄膜的微结构和机械性能的影响。结果表明:大部分多层膜...
关键词：离子束辅助沉积 ZrN/TiAlN纳米多层膜 硬度 离子束流 基底温度 
磁控溅射参数对ZrB_2/ZrAlN纳米多层膜结构和性能的影响被引量：1
《天津师范大学学报（自然科学版）》2008年第3期30-32,共3页亢原彬 董磊 刘思鹏 乔林 陈宗强 邓湘云 李德军 
天津市科技计划国际合作项目(07ZCGHHZ01500)
选择ZrB2和ZrAlN作为个体层材料,利用超高真空射频磁控溅射系统在80 nm调制周期下,制备了一系列ZrB2/ZrAlN纳米多层膜,用XRD、表面轮廓仪和纳米力学测试系统分析了物相及晶体结构.研究表明:纳米多层膜体系的各项性能随着Ar/N2流量比例...
关键词：ZrB2/ZrAlN纳米多层膜 射频磁控溅射 Ar/N2流量比例 硬度 
CN_x薄膜沉积参数对等离子体参数以及表面粗糙度的影响
《真空》2008年第3期59-61,共3页刘松 李德军 
天津市科技计划国际合作项目(07ZCGHHZ01500)
利用超高真空脉冲直流磁控溅射技术制备了纳米量级厚度的CNx薄膜。利用自行设计的一种简单的探针测定了薄膜合成中的等离子体参数,获得了等离子体参数与合成工艺参数的关系。结果表明:在300 W的靶功率和-100 V的偏压下,等离子体的电子...
关键词：磁控溅射 CNX薄膜 等离子体参数 粗糙度 
AlN/CrN纳米多层膜的制备及性能的研究被引量：2
《天津师范大学学报（自然科学版）》2008年第2期27-30,共4页王晖 亢原彬 李德军 
天津市科技计划国际合作项目(07ZCGHHZ01500)
采用多弧离子镀技术制备AlN/CrN纳米多层膜,研究了多层膜调制周期对AlN生长结构的影响以及纳米多层膜的机械性能.结果表明:在小调制周期下AlN会以立方结构存在,并与CrN层形成同结构共格外延生长,使纳米多层膜产生较大的晶格畸变;AlN/Cr...
关键词：多弧离子镀 A1N/CrN纳米多层膜 硬度 立方氮化铝 
ZrC/ZrB_2纳米多层膜的结构和机械性能研究被引量：1
《天津师范大学学报（自然科学版）》2008年第1期36-39,共4页亢原彬 杨瑾 邓湘云 李德军 
天津市重点基金资助项目(033800711);(04310761R);天津市信息办超算项目(051027014);天津市科技计划国际合作项目(07ZCGHHZ01500)
选择ZrC和ZrB2作为个体层材料,利用超高真空射频磁控溅射系统,在室温条件下制备了ZrC,ZrB2及一系列具有纳米尺寸的ZrC/ZrB2多层薄膜.通过XRD,SEM和表面轮廓仪以及纳米力学测试系统,分析了调制周期和工作气压对多层膜生长结构和力学性能...
关键词：磁控溅射 ZrC/ZrB2纳米多层膜 调制周期 工作气压 
离子束增强沉积合成ZrN/W纳米多层膜
《中国科学（E辑）》2007年第11期1455-1460,共6页李德军 张晶晶 邓湘云 王明霞 
天津市科技计划国际合作项目(批准号:07ZCGHHZ01500);国家自然科学基金项目(批准号:50472026)资助
利用离子束增强沉积方法在室温和不同能量的氮离子轰击条件下制备了不同调制周期的ZrN／W纳米多层膜．利用XRD，AES和纳米压痕仪分析了调制周期和离子轰击能量对薄膜结构和机械性能的影响，结果表明多层膜的机械性能基本都优于单质的ZrN...
关键词：离子束增强沉积 ZrN/W 多层膜 纳米尺度 
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