国家自然科学基金(50275096)

作品数:13被引量:18H指数:3
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三明治结构FeNi/Cu/FeNi多层膜巨磁阻抗效应研究被引量:2
《功能材料与器件学报》2006年第3期182-186,共5页周勇 丁文 曹莹 商干兵 周志敏 高孝裕 余先育 
教育部科学技术研究重大项目(No.0307);国家高技术研究发展计划863项目(No.2004AA302042);国家自然科学基金项目(No.50275096);(No.10402023);上海市纳米专项(No.0352nm014)的资助
采用MEMS技术在玻璃基片上制备了三明治结构FeNi/Cu/FeNi多层膜,在1—40MHz范围内研究了FeNi/Cu/FeNi多层膜中的巨磁阻抗效应特性。当磁场日。施加在薄膜的长方向时,巨磁阻抗效应随磁场的增加而增加,在某一磁场下达到最大值,然...
关键词:巨磁阻抗效应 三明治结构FeNi/Cu/FeNi多层膜 MEMS技术 
制备态Fe_(21)Ni_(79)/Cu/Fe_(21)Ni_(79)三明治薄膜的纵向巨磁阻抗效应
《磁性材料及器件》2006年第2期14-17,共4页商干兵 周勇 丁文 余先育 曹莹 周志敏 
国家自然科学基金项目(50275096);上海市纳米专项资助项目(0352nm014);教育部科学技术研究重大项目资助项目(重大0307)
采用直流电镀结合正胶光刻工艺制备了Fe21Ni79/Cu/Fe21Ni79三明冶薄膜,并在0.1-40MHz范围内研究了它的纵向巨磁阻抗效应特性。实验结果表明,Fe21Ni79/Cu/Fe21Ni79三明治薄膜有十分明显的纵向GMI效应,GMI先随外加磁场的增高而迅...
关键词:FeNi/Cu/FeNi三明治薄膜 纵向巨磁阻抗效应 各向异性场 横向有效磁导率 
曲折状FeSiB/Cu/FeSiB三层膜结构应力阻抗效应研究
《功能材料与器件学报》2005年第4期419-422,共4页陈吉安 茅昕辉 赵晓昱 丁文 曹莹 周勇 
国家自然科学基金项目(No.50275096);上海市纳米专项资助(No.0215nm1040352nm014)
采用磁控溅射法在玻璃基底上制备了曲折状FeSiB/Cu/FeSiB三层膜结构,在1~40MHz范围内研究了FeSiB膜和Cu膜厚度对三层膜结构应力阻抗效应的影响.结果表明:高频下三层膜的应力阻抗效应随着其形变的增加近似线性增加,在自由端弯曲变形1mm...
关键词:应力阻抗 FeSiB/Cu/FeSiB三层膜 磁控溅射 曲折状 
MEMS磁芯螺线管微电感的制作工艺研究被引量:5
《固体电子学研究与进展》2005年第4期513-516,共4页高孝裕 周勇 雷冲 陈吉安 倪智平 毛海平 王志民 
国家高技术研究发展专项经费(2004AA302042);国家自然科学基金项目(50275096);上海市纳米专项(0215nm104;0352mm014)
采用微机电系统(MEMS)技术制作了磁芯螺线管微电感,该技术包括UV-LIGA、干法刻蚀技术、抛光和电镀技术等。研制的微电感大小为1500μm×900μm×100μm,线圈匝数为41匝,宽度为20μm,线圈之间的间隙为20μm,高深宽比为5∶1。测试结果表明...
关键词:微电感 电感量 品质因子 微机电系统 
Cu层宽度对弯曲型三明治结构FeCuNbCrSiB/Cu/FeCuNbCrSiB多层膜应力阻抗效应的影响
《金属功能材料》2005年第3期9-12,共4页陈吉安 张亚民 赵晓昱 周勇 周志敏 王明军 高孝裕 
国家自然科学基金项目(50275096);上海市纳米专项(0215nm104;0352nm014)。
基于MEMS微细加工工艺,利用磁控溅射方法在Si基片上制备了不同Cu层宽度弯曲型三明治结构的FeCuNbCrSiB/Cu/FeCuNbCrSiB多层膜,在频率1~40MHz下研究了Cu层宽度对多层膜的应力阻抗效应的影响。结果表明,弯曲型三明治结构多层膜的应力阻抗...
关键词:应力阻抗 FeCuNbCrSiB/Cu/FeCuNbCrSiB 三明治薄膜 弯曲型结构 微细加工 
弯曲型三明治结构FeCuNbCrSiB/Cu/FeCuNbCrSiB多层膜巨磁阻抗效应研究
《功能材料》2005年第6期838-840,共3页张亚民 陈吉安 丁文 周勇 王明军 高孝裕 周志敏 
国家自然科学基金资助项目(50275096);上海市纳米专项资助项目(0215nm104;0352nm014)
利用磁控溅射方法及微细加工技术制备了弯曲型三明治结构的FeCuNbCrSiB/Cu/FeCuNbCrSiB多层膜,在频率1~40MHz下研究了多层膜的纵向和横向巨磁阻抗效应,结果表明弯曲型三明治结构多层膜的巨磁阻抗效应高于它的传统的多层膜。在频率10MH...
关键词:巨磁阻抗 FeCuNbCrSiB/Cu/FeCuNbCrSiB 三明治薄膜 弯曲型结构 微细加工 
A Solenoid-Type Inductor Fabricated by MEMS Technique
《Journal of Semiconductors》2005年第6期1083-1086,共4页高孝裕 周勇 王西宁 雷冲 陈吉安 赵小林 
国家高技术研究发展计划(批准号:2004AA302042);国家自然科学基金(批准号:50275096);上海市纳米专项(批准号:0215nm104,0352nm014)资助项目
A solenoid-type inductor for high frequency application is realized using a micro-electro-mechanical systems (MEMS) technique.In order to achieve a high inductance value and Q-factor,UV-LIGA,dry etching technique,fine...
关键词:inductance value microelectromechanical systems quality factor 
FeCuNbCrSiB薄膜的制备及其巨磁阻抗效应研究被引量:1
《电子元件与材料》2005年第5期8-10,共3页张亚民 陈吉安 周勇 丁文 王明军 高孝裕 
国家自然科学基金资助项目(50275096);上海市纳米专项(0215nm104;0352nm014)
采用磁控溅射方法,在玻璃基片上制备了非晶的Fe73.5Cu1Nb3Cr0.5Si13B9薄膜及三明治结构M/C/M(M为Fe73.5Cu1Nb3Cr0.5Si13B9;C为Cu)的多层膜.在频率(1~40)MHz下,研究了薄膜材料的巨磁阻抗(GMI)效应随外加磁场的变化关系.结果表明:单层膜...
关键词:电子技术 巨磁阻抗效应 FeCuNbCrSiB薄膜 三明治薄膜 
FeCuNbCrSiB/Cu/FeCuNbCrSiB薄膜各层宽度对其巨磁阻抗效应的影响
《电子器件》2005年第2期254-257,共4页张亚民 陈吉安 周勇 丁文 王明军 高孝裕 周志敏 
国家自然科学基金项目(50275096);上海市纳米专项(0215nm104;0352nm014)资助
采用射频磁控溅射方法,利用微细加工工艺制备了不同薄膜宽度的三明治结构FeCuNbCrSiB/Cu/FeCuNbCrSiB多层膜,在频率1~40MHz下研究了薄膜宽度对多层膜的纵向和横向巨磁阻抗效应的影响。结果表明,三明治结构多层膜的巨磁阻抗效应随薄膜...
关键词:巨磁阻抗 FeCuNbCrSiB/Cu/FeCuNbCrSuB 三明治薄膜 微细加工 
磁性薄膜微电感器件的研究进展被引量:4
《电子元件与材料》2005年第4期68-71,共4页高孝裕 陈吉安 周勇 雷冲 王明军 张亚民 周志敏 毛海平 
国家自然科学基金资助项目(50275096);上海市纳米专项(0215nm104;0352nm014)
综述了磁性薄膜微电感的研究现状,介绍了四种不同电感器件的结构设计(平面螺旋型,磁芯螺线管,曲折结构及夹心条状结构)及其优缺点和磁芯材料(坡莫合金,铁氧体,非晶,纳米晶软磁)对电感器件的影响。
关键词:电子技术 磁性薄膜 综述 微电感 结构设计 磁芯材料 电感量 品质因子 
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