云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 国家重点基础研究发展计划(2006CB300405)

国家重点基础研究发展计划(2006CB300405): 作品数：17被引量：60H指数：5; 导出分析报告; 相关作者：王跃林金仲和李昕欣郑旭东刘民更多>>; 相关机构：浙江大学中国科学院上海交通大学更多>>; 相关期刊：《传感技术学报》《中国机械工程》《机械强度》《微纳电子技术》更多>>; 相关主题：电容式加速度计微机电系统MEMS微悬臂梁接口电路更多>>; 相关领域：自动化与计算机技术机械工程电子电信理学更多>>

微悬臂谐振传感器闭环接口和嵌入式频率电路被引量：5: 《微纳电子技术》2010年第6期350-356,共7页甘小华刘民于海涛许鹏程李昕欣; 国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(2006AA04Z365);国家重点基础研究发展规划(973计划)资助项目(2006CB300405);中国科学院知识创新工程重要方向项目(KGCX2-YW-111-1); 设计了谐振式微悬臂梁传感器闭环接口和嵌入式频率读出电路。首先,谐振式微悬臂梁传感器和接口电路组成闭环自激振荡系统。为了提高该闭环系统的频率稳定性和频率跟踪性能,引入具有无相差频率跟踪的锁相环电路,并设计放大移相电路以满...; 关键词：谐振式微悬臂梁传感器接口电路锁相环嵌入式频率电路频率跟踪

利用波形比较法进行高量程加速度传感器横向响应的测试研究被引量：2: 《机械强度》2009年第6期1019-1023,共5页鲍海飞宋朝辉李昕欣刘民张鲲陆德仁; 国家973计划(2006CB300405);国家863计划(2007AA048315-1)资助~~; 提出一种高量程加速度传感器横向响应的测试方法——波形可识别的比较法,对高量程加速度传感器非敏感方向(横向)的输出特性进行测试研究。实验中采用自由落杆的方法,将已经标定过的传感器和带测试的传感器以背对背的方式进行安装,通过...; 关键词：高量程微加速度传感器横向响应波形比较法自由落杆微机电系统

服务于IC产业的MEMS探卡被引量：1: 《微纳电子技术》2009年第12期705-714,共10页程融蒋珂玮汪飞李昕欣; 国家重点基础研究发展计划(973计划)资助项目(2006CB300405);国家自然科学基金资助项目(60725414;60721004); 圆片级芯片测试在IC制造工艺中已经成为不可或缺的一部分,发挥着重要的作用,而测试探卡在圆片级芯片测试过程中起着关键的信号通路的作用。分析指出由于芯片管脚密度的不断增加以及在高频电路中应用的需要,传统的组装式探卡将不能适应...; 关键词：圆片级测试芯片测试探卡微机械电子系统过孔互连镍探针阵列

电容式加速度计的数字化处理电路及其与模拟电路的比较被引量：5: 《传感技术学报》2009年第11期1562-1567,共6页林伟俊胡世昌郑旭东王昊金仲和; 国家重点基础研究发展计划(973计划)资助(2006CB300405); 介绍了对一种电容式MEMS加速度计处理电路的数字化工作,并对数字式加速度计系统的各个组成模块进行了分析,并与模拟处理电路的相应模块进行比较,给出了制约数字和模拟加速度计性能的因素。实验测试结果表明,数字式加速度计的零偏稳定性...; 关键词：微电子机械系统加速度计直接数字频率合成现场可编程门阵列相位噪声

一种静电驱动电容检测的微机械陀螺及其工艺改进: 《中国机械工程》2009年第18期2160-2163,2177,共5页郑旭东胡世昌张霞金仲和王跃林; 国家重点基础研究计划资助项目(2006CB300405);教育部新世纪优秀人才支持计划资助项目(NCET-06-0514); 介绍了一种新型的体硅微机械工艺制造的框架式陀螺及其工艺改进。框架式设计使得陀螺的驱动模态和检测模态解耦;静电力驱动外框使得陀螺进入初始谐振模态;通过内部质量块和固定电极组成的差分敏感电容对的电容极板交叠面积的变化来检测...; 关键词：微机械陀螺体硅微机械加工电容敏感深反应离子刻蚀根部效应

服务于微电子产业的MEMS新技术被引量：2: 《仪表技术与传感器》2009年第B11期12-15,共4页程融蒋珂玮李昕欣; 国家自然基金杰出青年科学基金项目(60725414);国家自然基金委优秀创新群体项目(60721004);973项目(2006CB300405); UV-LIGA技术是MEMS微细加工中一种非常重要的技术。结合厚胶工艺,可以利用金属电镀的方法制作出各种金属MEMS结构。UV-LIGA技术一方面由于其低温的特点可以很好的与后COMS工艺兼容,被用在片上集成高性能射频无源器件方面。另一方面,还...; 关键词：UV—LIGA 电镀厚胶工艺射频无源器件微机械探卡

高量程压阻加速度传感器横向响应的测试及分析被引量：1: 《仪表技术与传感器》2009年第B11期228-231,共4页鲍海飞李昕欣宋朝辉张鲲刘民陆德仁; 国家973微纳机电敏感结构与传感器(2006CB300405); 文中提出了一种高量程压阻加速度传感器的灵敏度和横向灵敏度参数在动态冲击环境下的简易测试方法。采用金属杆自由落体的比较法,即将待测试的加速度传感器和已标定过的加速度传感器以背靠背的形式固定在金属杆的尾端,金属杆从一定高度...; 关键词：高量程微加速度传感器横向响应波形比较法自由落杆微机电系统

微机械陀螺的建模与仿真被引量：3: 《浙江大学学报（工学版）》2009年第4期646-650,共5页张霞郑旭东王昊金仲和; 国家"973"重点基础研究发展规划资助项目(2006CB300405); 为了降低微机械陀螺系统的噪声和提高系统分辨率,依据电磁驱动电容检测式微机械陀螺的运动方程和接口电路的传递函数在Simulink仿真平台上建立了系统级仿真模型.模型中加入了传感器的机械热噪声、电路的电热噪声以及传感器内部的耦合效...; 关键词：微机械陀螺噪声系统级仿真模型

Effect of Width Ratio on the Etching Behavior of Joint Channel Structure: 《Journal of Semiconductors》2008年第11期2180-2186,共7页吴昌聚金仲和王跃林; the State Key Development Program for Basic Research of China(No.2006CB300405)~~; Effect of width ratio on the etching behaviour of joint channel structure is studied. By theory and experiments, the etching behaviors of joint channel with different width ratios are compared. The results show that t...; 关键词：joint channel width ratio etching rate

TDC Model for PSG Sacrificial Layer Etching with Hydrofluoric Acid: 《Journal of Semiconductors》2008年第6期1094-1102,共9页吴昌聚王昊金仲和马慧莲王跃林; 国家重点基础研究发展规划资助项目(批准号:2006CB300405)~~; HF etching of sacrificial layers with different The existing model cannot fit the experimental data well perimental data increases with etching time. A modified structures, namely channel, bubble, and joint-channel, i...; 关键词：diffusion coefficient etching rate sacrificial oxide TDC model

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