国家科技重大专项(2009ZX02037)

作品数：13被引量：42H指数：4
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相关作者：李超波夏洋李勇滔杨威风汪明刚更多>>
相关机构：中国科学院微电子研究所昆明理工大学北京自动测试技术研究所上海大学更多>>
相关期刊：《金属热处理》《真空科学与技术学报》《激光与光电子学进展》《固体电子学研究与进展》更多>>
相关主题：阻抗匹配网络等离子体等离子体浸没离子注入ALD感应耦合等离子体更多>>
相关领域：电子电信一般工业技术理学自动化与计算机技术更多>>
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等离子体浸没离子注入技术在FinFET掺杂中的应用被引量：1
《半导体技术》2014年第8期596-599,604,共5页邹志超 李超波 罗军 夏洋 
国家科技重大专项资助项目(2009ZX02037)
基于传统的束线离子注入在对FinFET器件进行保形注入时面临的巨大挑战,介绍一种新的适用于FinFET器件的掺杂技术,即等离子体浸没离子注入技术。总结了与束线离子注入技术相比,等离子体浸没离子注入技术在对FinFET进行掺杂时的优点。利...
关键词：等离子体浸没离子注入 束线离子注入 鞘层 FINFET 保形注入 
LabVIEW在大数据量采集与处理软件中的应用被引量：13
《自动化仪表》2012年第7期19-20,共2页张云亮 冯平法 鲍晟 
国家科技重大专项课题基金资助项目(编号:2009ZX02037)
在某数据采集系统的研制过程中,要求系统能记录并长时间地存储大量数据,以便于处理以往各次试验测得的数据,最终显示其曲线并能打印成报表。通过结合当前的硬件条件,分析软件设计过程中遇到的各种问题,给出了较为详细的解决方法。通过...
关键词：LABVIEW 数据采集 移位寄存器 属性节点 虚拟仪器 
图形化蓝宝石衬底技术综述被引量：9
《激光与光电子学进展》2012年第8期35-43,共9页汪明刚 杨威风 胡冬冬 李超波 夏洋 
国家科技重大专项(2009ZX02037)资助课题
采用图形化蓝宝石衬底(PSS)技术可以降低GaN外延层材料位错密度,提高了发光二极管(LED)的内量子效率(IQE),同时使LED光析出率(LEE)提高。基于PSS技术可以制作高效GaN基高亮度LED。基于已公开发表文献对用于高效LED制作的PSS技术做了综述...
关键词：材料 图形化蓝宝石衬底 发光二极管 内量子效率 GAN外延生长 光析出率 
ALD中射频阻抗匹配器的设计与研究被引量：1
《现代电子技术》2012年第3期202-203,206,共3页孙小孟 李勇滔 夏洋 李超波 李英杰 陈盛云 赵章琰 秦威 
国家科技重大专项(2009ZX02037)
阐述原子层沉积系统(ALD)中射频阻抗匹配器的设计方案。利用ADS软件对阻抗匹配网络进行仿真,通过分析ALD真空腔室内等离子体产生前后的负载阻抗变化,结合仿真结果,提出等离子体产生过程中阻抗匹配网络的控制方法。经实验验证,该阻抗匹...
关键词：射频阻抗匹配器 阻抗匹配网络 ALD ADS 
半导体器件测试设备中的微弱电流测量模块设计被引量：5
《传感器与微系统》2011年第10期115-117,共3页赵章琰 李勇滔 夏洋 李超波 李力军 李瑞麟 
国家科技重大专项基金资助项目(2009ZX02037)
在半导体测试中,需要测量μA～pA级的微弱电流,而且测量时检流计有多种可能的接入方式。为适应电流测量范围并实现接入方式的灵活性,设计了一种微弱电流检测模块,它基于低偏置电流的互阻放大器,由单片机实现A/D转换和自动量程选择,采用...
关键词：微弱电流 隔离测量 自动量程 
黑硅制备及应用进展被引量：3
《固体电子学研究与进展》2011年第4期387-392,共6页沈泽南 刘邦武 夏洋 刘杰 李超波 陈波 
国家重大专项资助项目(2009ZX02037);国家自然科学基金资助项目(60727003)
黑硅作为一种新型低反射率的硅材料,有良好的广谱吸收特性,在光电领域将有很好的应用前景。概括地介绍了黑硅的各种制备方法(飞秒激光扫描、化学腐蚀法和等离子体处理),以及黑硅在太阳能电池、光电二极管、场发射、太赫兹发射等领域的...
关键词：黑硅 飞秒激光 化学腐蚀 等离子体处理 太阳能电池 
霍尔器件参数测试系统
《仪表技术与传感器》2011年第7期108-110,共3页张艳清 李勇滔 夏洋 李超波 张东 
国家科技重大专项新原理设备关键技术研究及创新设备探索(2009ZX02037)
提出了一种基于微控制器的霍尔器件参数测试系统设计方案。描述了总体设计方案,并详细介绍了硬件部分的可调电压源和数据采集部分。给出了系统软件设计思想及部分参数的测试结果。该霍尔器件参数测试系统可以快速准确地测量霍尔器件的...
关键词：霍尔器件 测试系统 微控制器 
全固态高效率射频电源被引量：5
《半导体技术》2011年第4期287-290,共4页秦威 李勇滔 李超波 夏洋 李英杰 赵章琰 许晓平 
国家科技重大专项(2009ZX02037);国家自然科学基金(60727003);中国科学院科研装备研制项目(YZ200755,YZ200940)
射频电源作为微电子设备如刻蚀机、溅射台和PECVD等的核心部件，其性能的好坏直接关系到整个设备的性能。固态射频电源采用E类MOSFET功率放大器，通过适当的阻抗匹配网络，最终的射频电源在500W的额定功率下，功率转换效率可以达到84％...
关键词：固态射频电源 E类 阻抗匹配网络 等离子体 全反射 
等离子体浸没注入超低能注入掺杂研究
《核聚变与等离子体物理》2010年第4期370-373,共4页汪明刚 刘杰 杨威风 李超波 夏洋 
国家科技重大专项(2009ZX02037);国家自然科学基金资助项目(60727003)
基于感应耦合等离子体(ICP)技术设计了一套用于在硅基片上制作形成超浅结的等离子体浸没注入(PIII)系统。该ICP PIII系统工作腔室为圆柱形,采用射频功率源,注入偏压源为一脉冲直流电压源,系统与Langmiur探针相连。探针诊断结果表明,该...
关键词：感应耦合等离子体 浸没注入 低能注入 注入掺杂 ENERGY 离子密度 注入深度 系统工作 掺杂离子浓度 二次离子质谱 直流电压源 射频功率源 径向均匀性 诊断结果 探针 离子剂量 技术设计 硅基片上 测试结果 圆柱形 
等离子喷涂氧化钇涂层的组织结构被引量：3
《金属热处理》2010年第10期16-18,共3页刘邦武 王文东 罗小晨 李超波 夏洋 
国家自然科学基金(60727003);国家重大科技专项基金(2009ZX02037和2008ZX02101-3)
利用大气等离子喷涂技术在铝基体上制备了氧化钇涂层,采用扫描电镜、X射线衍射仪和金相显微镜对涂层的组织结构进行分析。结果表明:利用等离子喷涂制备的氧化钇涂层没有裂纹,比较致密,其孔隙率为5.58%;涂层由立方相和单斜相组成,喷涂粉...
关键词：等离子喷涂 氧化钇 涂层 组织 
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