国家科技重大专项(2009ZX02005)

作品数：20被引量：90H指数：5
导出分析报告
相关作者：巩岩袁文全郭抗倪明阳秦硕更多>>
相关机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所空军航空大学中国科学院研究生院中国科学院大学更多>>
相关期刊：《光学精密工程》《光学学报》《红外与激光工程》《激光与红外》更多>>
相关主题：投影物镜调节机构光学元件轴向光学器件更多>>
相关领域：机械工程电子电信理学自动化与计算机技术更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-10
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
光栅横向剪切干涉仪系统误差的校正方法被引量：2
《中国激光》2018年第8期169-174,共6页张璐 向阳 
国家重大科技专项(2009ZX02005)
针对光栅横向剪切干涉仪研究了旋转绝对检测的方法,并用前36项Zernike多项式标定出剪切装置的系统误差非对称项。研究结果表明,将面形检测的绝对算法应用于检测镜头系统波像差,在干涉仪系统误差消除后可以达到相对理想的检测精度。实验...
关键词：测量 光刻镜头 绝对检测 光栅横向剪切干涉仪 系统波像差 
光刻投影物镜中X-Y向柔性调节机构设计被引量：1
《光电工程》2015年第6期50-56,共7页陈华男 郭抗 张玲花 刘健 尚红波 
国家重大科技专项02专项资助课题(2009ZX02005)
X-Y向柔性调节机构应用于光刻投影物镜中光学元件X-Y方向偏心位置补偿。基于柔性铰链,设计柔性二级减速机构,并将之应用到新型的一体式X-Y向柔性调节机构上。在对机构原理进行分析的基础上,对X-Y向柔性调节机构结构参数进行了优化设计...
关键词：光刻投影物镜 X-Y向柔性调节机构 减速机构 柔性铰链 
利用面形精修技术去除投影物镜中的三叶像差
《光学学报》2015年第8期269-274,共6页赵阳 王平 史振广 谷勇强 刘春来 门树东 
国家重大科技专项02专项(2009ZX02005)
极小像差投影物镜中的高阶像差很难通过调节机构消除,是约束像质进一步补偿优化的瓶颈。离子束溅射(IBF)设备广泛应用于光学加工中,能够较好地去除低频和中频误差,实现高精度面形精修。对现有投影物镜小比例验证模型的系统波像差成分进...
关键词：几何光学 三叶像差 面形精修 条纹泽尼克多项式 
柔性环片结构的光学元件轴向调节机构设计
《光学学报》2014年第B12期348-354,共7页郭抗 陈华男 倪明阳 李显凌 
在保证光学元件极高面形精度和极高调节精度的同时，为了实现更大的调节行程，采用柔性环片结构，设计了一种光学元件轴向精密调节机构。建立了调节机构的有限元分析模型，分析了主要设计参数对调节机构的调节行程、应力值、固有频率、...
关键词：光学器件 轴向调节机构 有限元分析 柔性环片 
十三步光栅横向剪切干涉相位复原算法被引量：5
《中国激光》2014年第5期178-181,共4页方超 向阳 
国家重大科技专项(2009ZX02005)
光栅横向剪切干涉仪能够实现超高精度检测光学系统的波像差,是当前光刻镜头研发的重要组成内容之一。零级串扰和相移误差是影响光栅剪切干涉仪检测精度的两个主要因素,为此,提出了一种十三步光栅剪切干涉相位复原算法,在消除零级串扰的...
关键词：测量 横向剪切干涉仪 相移算法 相位复原 
利用失调量向量选择投影物镜小比例模型系统补偿量被引量：3
《光学学报》2014年第8期220-225,共6页赵阳 王平 赵磊 刘春来 华洋洋 门树东 
国家重大科技专项02专项(2009ZX02005)
光刻投影物镜小比例模型光学系统镜片数量较多,用每个补偿量去补偿对应失调量的传统装调方法对其不适用。利用灵敏度矩阵,并对其进行奇异值分解,对分解后的失调量向量的数值与符号进行分析,确定各失调量之间的相关性,提出了系统补偿量...
关键词：几何光学 复杂系统装调 补偿量选择 奇异值分解 失调量向量 补偿量相关性 
热扰动条件下投影物镜温度响应的高精度建模被引量：4
《光学精密工程》2013年第11期2829-2835,共7页秦硕 巩岩 于新峰 袁文全 彭海峰 杨怀江 
国家02专项基金资助项目(No.2009ZX02005)
针对投影物镜温度控制系统具有多重扰、多时滞和时间常数较大等问题,搭建了投影物镜温控实验平台;研究了实验平台的结构、激励信号设计、数据预处理方法和建模算法,建立了超高精度温度响应模型。首先,考虑光刻机对震动和洁净度的严格要...
关键词：投影物镜 热扰动 伪随机信号 系统辨识 温度控制 
6-PSS型光学元件精密轴向调节机构被引量：15
《光学精密工程》2013年第10期2648-2655,共8页郭抗 巩岩 
国家重大科技专项02专项资助项目(No.2009ZX02005)
设计了一种采用6-PSS型并联机构的光学元件精密轴向调节机构,以使光刻物镜中光学元件的调节行程达微米级,调节精度达纳米级。将6-PSS型并联机构中的6个移动副改进为3个,减少了驱动器的使用数量,提高了轴向调节机构的可靠性;设计了一种...
关键词：光刻物镜 光学元件 调节机构 并联机构 一体化结构 6-PSS 
轴向调节机构中调节力对光学元件面形的影响被引量：8
《光学学报》2013年第11期222-229,共8页郭抗 巩岩 
国家重大科技专项(2009ZX02005)
深紫外光刻投影物镜光学系统对光学元件的面形精度要求极高,物镜中轴向调节机构调节力对光学元件面形的影响不可忽略。针对一种一体化结构的光学元件轴向调节机构,研究了调节力对光学元件面形的影响规律。采用有限元计算的方法分析了调...
关键词：光学器件 调节机构 有限元分析 调节力 面形精度 
光刻投影物镜V形柔性轴向调节机构设计被引量：4
《激光与光电子学进展》2013年第10期93-99,共7页孙振 巩岩 
国家重大科技专项02专项(2009ZX02005);科技部中白国际合作项目(2011DFR10010)
为了满足光刻投影物镜对轴向调节机构的调节行程大、精度高、结构紧凑等需求,基于三角形换向原理,设计了轴向调节机构。在调节机构中采用V形柔性单元换向机构,实现运动的换向和传递。针对机构的调节行程、驱动力、一阶固有频率以及机构...
关键词：成像系统 光刻投影物镜 轴向调节机构 V形柔性单元 热变形 
全选清除导出
共2页<12>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部