国家科技重大专项(2009ZX02205)

作品数：136被引量：638H指数：13
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相关作者：隋永新杨怀江李佩玥马占龙李显凌更多>>
相关机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所中国科学院大学空军航空大学长春国科精密光学技术有限公司更多>>
相关期刊：《计算机辅助工程》《现代电子技术》《仪器仪表学报》《红外与激光工程》更多>>
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基于自由曲面反射镜的低投射比超短焦投影物镜的光学设计被引量：8
《中国光学》2020年第2期363-371,共9页于百华 田志辉 苏东奇 隋永新 杨怀江 
国家科技重大专项(No.2009ZX02205,No.2016ZX02201)。
为了设计低投射比的超短焦投影物镜,本文采用自由曲面和折反式的光路结构设计了一种具有低投射比的超短焦投影物镜系统。该物镜由一个旋转对称的折射透镜组和一个自由曲面反射镜组成。采用11.938 mm的数字微镜器件(DMD)作为空间光调制...
关键词：光学系统设计 超短焦投影系统 自由曲面 
一种步进式压电陶瓷驱动器负载模型研究被引量：1
《现代电子技术》2020年第2期14-16,19,共4页王学亮 彭吉 徐立松 李朋志 陈雪 郑楠 李佩玥 
国家科技重大专项基金资助项目(2009ZX02205)
为了能够准确高效地以步进式压电陶瓷驱动器进行定位控制,文中对其在不同负载力条件下的位移性能进行了研究。首先,设计和实施了测定驱动器位移-负载力曲线的实验;然后,通过高阶多项式拟合的方法对实验结果进行拟合,分析得到可用的拟合...
关键词：压电陶瓷 步进式驱动器 定位控制 负载实验 多项式拟合 数据分析 
超短焦投影系统中自由曲面的多视场优化迭代设计方法被引量：4
《光子学报》2019年第3期40-47,共8页于百华 田志辉 苏东奇 高松涛 隋永新 杨怀江 
国家科技重大专项(No.2009ZX02205)~~
为解决超短焦投影系统中自由曲面反射镜的设计难题,提出一种适用于大视场成像光学系统的自由曲面设计方法,即多视场优化迭代法.该方法以一个反射平面作为设计起始面,基于多视场下物像的对应关系,并根据反射面的法线方向,通过加权优化迭...
关键词：几何光学 光学设计 设计方法 自由曲面 超短焦投影系统 
浸没式光刻投影物镜光学薄膜被引量：4
《中国光学》2018年第5期745-764,共20页毕丹丹 张立超 时光 
国家科技重大专项资助项目(No.2009ZX02205)~~
深紫外光刻是目前集成电路制造的主流方法,为实现更小的元件特征尺寸,必须采用浸没式投影物镜以提高光学系统的分辨率,由此向其中的薄膜光学元件提出了众多苛刻的要求。本文介绍了适用于浸没式光刻系统的薄膜材料及膜系设计,以及高NA光...
关键词：浸没式光刻 光学薄膜 膜系设计 环境适应性 激光辐照寿命 
光学元件表面疵病检测仪的精度建模及预测被引量：6
《机械设计与制造》2018年第6期98-101,共4页杨荟琦 李显凌 
国家科技重大专项02专项资助项目(2009ZX02205)
为了对疵病检测仪的精度进行预测并对设计方案的合理性进行验证,基于多体系统理论对疵病检测仪机械运动机构进行了精度建模。用低序体阵列和拓扑结构描述了疵病检测仪的结构特点,提出了疵病检测仪的精度模型,针对光学系统的要求进行了...
关键词：疵病检测仪 多体系统 精度模型 精度预测 
大偏离度非球面检测畸变校正方法被引量：10
《中国光学》2017年第3期383-390,共8页高松涛 武东城 苗二龙 
国家科技重大专项资助项目(No.2009ZX02205)~~
在高数值孔径(NA)投影光刻物镜中,随着数值孔径的增加,非球面的偏离度越来越大。对这种大偏离度非球面进行亚纳米量级的检测,一直是光学检测的一大难题。本文首先对一偏离度超过500μm的偶次高次非球面进行了计算全息图(Computer-Genera...
关键词：计算全息图 CGH 畸变 非球面检测 
193nm投影光刻物镜光机系统关键技术研究进展被引量：11
《中国科学：技术科学》2017年第6期565-581,共17页张德福 李显凌 芮大为 李朋志 东立剑 张建国 
国家自然科学基金(批准号:61504142);国家科技重大专项基金(批准号:2009ZX02205)资助项目
结合双/多曝光的193nm投影光刻是未来5~10年大规模集成电路工业化生产的主要方法.投影物镜作为光刻机的核心分系统,其光机系统关键技术的研究进展直接影响物镜整体性能的提升.本文分析了当前集成电路装备制造业对193nm投影物镜的需求,...
关键词：集成电路 光刻 投影物镜 波像差 调节机构 主动光学 
长曲率半径测量系统精度设计及分析
《激光与光电子学进展》2017年第6期147-152,共6页魏凤龙 田伟 彭石军 
国家科技重大专项-02专项基金(2009ZX02205)
根据高精密光学系统的需求,结合目前的研究成果,基于干涉测量法研制了长曲率半径测量系统。分析了影响长曲率半径测量系统测量精度的多种误差因素,根据误差理论和系统组成建立了长曲率半径测量系统误差分配的数学模型和误差分配树。结...
关键词：测量 长曲率半径 精度设计 误差分配 不确定度合成 
单轴柔性换向机构刚度分析
《机械设计与制造》2017年第2期250-253,共4页毛石磊 田伟 郭抗 杨洪波 
国家科技重大专项(2009ZX02205)资助项目
针对某些场合由于空间有限需要换向的情况,设计了一种单轴柔性换向机构。基于线弹性及小变形理论,推导了圆弧形柔性铰链平面内柔度矩阵各参数的解析计算公式,得到了圆弧形柔性铰链的平面内柔度矩阵,计算出了柔性换向机构内柔性铰链的柔...
关键词：柔性铰链 柔度矩阵 有限元 刚度分析 
最大似然估计法去除子孔径拼接检测中的支撑误差被引量：1
《激光与光电子学进展》2017年第4期174-179,共6页张敏 高松涛 苗二龙 隋永新 杨怀江 
国家科技重大专项(2009ZX02205)
为了去除拼接干涉检测中支撑对面形检测的影响,提出了利用最大似然估计法计算支撑造成的面形误差的方法。首先,保持支撑工装不动,旋转待测镜检测各子孔径面形;然后,用最大似然估计法计算出支撑造成的面形误差;最后,各子孔径面形数据减...
关键词：测量 干涉检测 子孔径拼接检测 支撑 测量误差 
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