上海交通大学微纳米科学技术研究院

作品数：754被引量：2520H指数：18
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发文作者：程君实黎滨洪蒋建飞蔡琪玉肖永利更多>>
发文领域：电子电信自动化与计算机技术电气工程一般工业技术更多>>
发文主题：MEMS微机电系统微电子机械系统MEMS技术微陀螺更多>>
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氧化石墨烯膜吸附烟道气中二氧化碳的模拟研究
《环境科学学报》2024年第11期70-80,共11页刘璇 李易隆 
国家自然科学基金(No.51005145,51075258);上海市科学技术委员会项目(No.19DZ2254800)。
利用分子动力学模拟方法探究了CO_(2)被氧化石墨烯(GO)吸附的微观机理.设计了带有纳米孔洞的双层GO膜,模拟了从烟道气中将CO_(2)吸附并分离出来的过程.结果表明,GO对CO_(2)的吸附主要依靠静电相互作用.CO_(2)平行靠近GO膜上未被氧化区...
关键词：碳捕集 氧化石墨烯 分子模拟 CO_(2) 烟道气 
集成PVB修饰Ag/AgCl参比电极的pH传感硅探针阵列被引量：1
《传感器与微系统》2024年第9期68-70,共3页王卓 刘景全 
介绍了一种带有集成Ag/AgCl参比电极的硅记录探针,通过表面聚乙烯醇缩丁醛(PVB)的修饰实现稳定的pH传感,用于应用神经科学。集成参比电极通过恒流电化学镀法实现银层的制备以及氯化,滴涂的PVB主要用作参比电极的保护膜,参比电极面积为0....
关键词：Ag/AgCl参比电极 PH传感器 生物稳定性 
基于变刚度悬臂梁的MEMS静电驱动器的动态响应优化
《半导体光电》2024年第2期188-194,共7页高宇帆 戴旭涵 王怀治 张卓尔 丁桂甫 
传统的微机电系统(MEMS)静电驱动器存在驱动电压高和超调振荡的问题,可动极板稳定在平衡位置前会发生持续的振荡,难以满足可变电容、光开关等应用领域的综合要求。针对上述问题,采用变刚度悬臂梁的设计,利用刚度随行程增大的特性抑制了...
关键词：微机电系统 静电驱动器 变刚度 动态响应 
基于轮辐式多阶微通道结构的超强冷却技术
《中国科学：信息科学》2023年第9期1822-1837,共16页吴永进 孙云娜 马闯北 蔡涵 王艳 丁桂甫 
国家重点基础研究发展规划(批准号:2021YFB2011800);基础加强计划领域基金(批准号:2021-JCJQ-JJ-1141)资助项目。
针对电子器件向更高功率和更高集成度发展所导致日益严重的散热问题,本文设计了轮辐式微通道散热器.基于轮辐式微通道具有良好分流特性提出了多阶微通道的特色设计,拓展了辐射微通道的设计思路;通过研究发现微通道的对流换热面积、流固...
关键词：轮辐式多阶微通道 功能化出口 超强冷却技术 协同强化冷却能力 
快速液动网络仿水母软体机器人的结构优化
《数字海洋与水下攻防》2023年第4期496-503,共8页于添 吴校生 
上海市科委专业技术服务平台资助“微光机电系统制造专业技术服务”(19DZ2291103)。
水母在海洋内分布深度范围大,经过数亿年的进化,它具备极强的环境适应性,提出了一种新型仿水母软体机器人结构。为避免以往仿水母机器人的缺陷,采用快速液动网络(Fast Liquid Network,简称FLN)构建驱动结构,采用电推杆来实现仿水母软体...
关键词：仿水母 软体机器人 快速流动网络 参数优化 
光刻与化学机械抛光技术原位集成制备SU-8微透镜阵列被引量：1
《微纳电子技术》2023年第2期305-312,共8页张清泽 吴永进 马闯北 石现 孙云娜 丁桂甫 
垂直腔面发射激光器通常与微光学元件组合使用,以改善激光束的聚焦或准直效果。研究了一种光刻和化学机械抛光技术相结合的新工艺方法,用于原位制备SU-8微透镜阵列。通过调控光刻参数,可以精确控制微透镜的直径与高度。实验制备了不同...
关键词：微透镜阵列 SU-8 原位 化学机械抛光 垂直腔面发射激光器 
微谐振陀螺仪从半球到平面的演变
《半导体光电》2022年第6期1011-1019,共9页谷留涛 张卫平 崔峰 吴雨婷 范重阳 卢浩琳 
微谐振陀螺仪是一种固体波动陀螺,常采用微纳制造工艺进行加工,具有小体积、高性能、低功耗、批量化等特点。自1975年世界上第一个半球谐振陀螺诞生以来,微谐振陀螺的谐振子拓扑结构经历了三维结构到二维结构的演变。文章以拓扑结构的...
关键词：微谐振陀螺仪 微谐振器 半球陀螺仪 环形陀螺仪 四质量块陀螺仪 
基于MEMS技术的仿生纤毛风速传感器的设计和仿真
《半导体光电》2022年第6期1075-1079,共5页卢建勋 周南彦 刘武 
国家自然科学基金项目(61871266);上海市科委专业技术服务平台项目(19DZ2291103)。
设计了一种可以实现二维风速测量的电容式纤毛传感器,其特点为通过差分电容检测流速,传感器运动结构所对应的背硅被完全刻蚀。采用有限元分析软件,通过流体-固体-静电场的多物理场仿真,分析得到了传感器的差分电容与风速的变化关系。结...
关键词：MEMS 流速传感器 仿真 差分电容 纤毛 
薄膜热电堆热流传感器频率响应动态特性研究被引量：3
《传感器与微系统》2022年第11期35-38,43,共5页刘云东 王高 张丛春 黄漫国 
山西省研究生创新资助项目(2021Y579)。
为了快速、准确地反映航空、航天部件瞬变热流的变化,需要热流传感器具有快速动态频率响应特性。传统测试方法的热流源频率调制方式粗略,热流上限低,无法满足未来高速热流传感器的测试要求。辐射热流测试系统以高功率半导体激光器作为...
关键词：频率调制 辐射热流测试系统 薄膜热电堆热流传感器 频率响应 
基于CNN和预处理机制的球磨机故障诊断方法被引量：3
《传感器与微系统》2022年第11期134-137,142,共5页宋旭彤 刘卓元 金毅 孙云娜 丁桂甫 
球磨机的安全性和稳定性在工业生产中具有重要意义,其健康情况与生产效率、能耗等多项技术指标直接相关。而诊断球磨机故障的传统机器学习方法过度依赖人工特征提取,且缺乏自适应性。为此,针对球磨机工作状态下的分段多项式声信号,提出...
关键词：卷积神经网络 预处理 球磨机 故障诊断 
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