华中科技大学微系统研究中心

作品数:14被引量:130H指数:6
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发文作者:王景道马泽涛吴大海袁忠发余柏林更多>>
发文领域:电子电信自动化与计算机技术机械工程一般工业技术更多>>
发文主题:MEMS热键合电子技术红外激光键合更多>>
发文期刊:《传感器世界》《医疗卫生装备》《传感技术学报》《仪器仪表学报》更多>>
所获基金:国家高技术研究发展计划湖北省科技攻关计划国家自然科学基金国家教育部博士点基金更多>>
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基于无线传感器和CAN总线的直接式轮胎压力监测系统被引量:22
《仪器仪表学报》2008年第4期711-717,共7页冷毅 李青侠 刘胜 董天临 
国家863计划项目(2004AA404270)资助
轮胎压力是影响轮胎性能的重要参数。轿车在轮胎压力不足或者过高的状况下行使,不但导致轮胎过热和影响轿车的操纵,增加了爆胎的可能性,而且降低轮胎的寿命和燃油效率。轮胎压力监测系统通过监测轮胎内部的压力、温度和车轮运动状态,使...
关键词:无线传感器 CAN总线 胎压监测 测试 
一种用于MEMS器件真空密封技术的电阻熔焊方法
《焊接技术》2008年第2期37-40,共4页王成刚 汪学方 甘志银 林栋 张鸿海 刘胜 
国家863高技术发展资助项目(2005AA404260)
提出了一种用于MEMS器件真空密封的电阻熔焊方法。低泄漏率是MEMS器件真空密封的关键因素之一。通过研制的真空电阻熔焊机,设计带缓冲腔的封装外壳,实现了MEMS器件真空密封。试验结果表明,封装好的器件具有长时间真空保持性。
关键词:真空气密性 MEMS 电阻焊 
用铈锆固溶体制备新型氧浓差型氧传感器被引量:1
《传感器与微系统》2008年第2期80-82,共3页任继文 张鸿海 刘胜 
利用氧化铈—氧化锆固溶体储氧材料的储氧特性,使其作为固态氧分压参考层,制备了一种新型的用于监测汽车尾气排放的氧浓差型氧传感器,克服了传统浓差型氧传感器制作工艺复杂、成本高、不便于微型化的缺点。该传感器结构由钇稳定的氧化...
关键词:浓差型氧传感器 固态参考层 氧化铈-氧化锆固溶体 
应用于汽车的流量传感器研究被引量:4
《传感技术学报》2008年第1期44-48,共5页余柏林 甘志银 罗小兵 曹蕙 徐静平 
研究了横膈膜式热膜流量传感器,横膈膜采用多层薄膜结构,增加其机械强度,同时保持其较低的横向热导率。模拟了横膈膜上温度的分布,分析了在不同流速下各点的温度变化。通过实验和理论模拟,得到了比较一致的结论:在低流速下,上游的冷却...
关键词:流量传感器 多层膜 温度模拟 温差式 
基于微喷射流的高功率LED散热方案的数值和实验研究被引量:32
《中国科学(E辑)》2007年第9期1194-1204,共11页罗小兵 刘胜 江小平 程婷 
湖北省科技攻关计划招标资助项目(批准号:2006AA103A04)
提出了一种基于封闭微喷射流的高功率LED主动散热方案,系统采用一个微泵来驱动,依靠封闭微喷系统实现大功率发光二极管(LED)芯片组的高效散热.对没有采取数值优化情形下设计的上述散热系统开展了实验研究,对比实验表明:在不采用上述系...
关键词:高功率LED 封闭系统 微喷射流 散热 
平板式ZrO_2汽车氧传感器的结构、原理及研究进展被引量:11
《仪表技术与传感器》2007年第4期8-12,14,共6页任继文 张鸿海 刘胜 王景道 
庞大的汽车氧传感器市场、严格的汽车尾气排放法规和国内相关技术的欠缺,使得研究和开发具有自主产权的、性能好、可靠性高的氧传感器产品显得尤为迫切和重要。目前,平板式ZrO2汽车氧传感器由于具有尺寸小、响应快、能耗低、易集成、在...
关键词:平板式氧传感器 二氧化锆 浓差型氧传感器 极限电流型氧传感器 双电池宽范围型氧传感器 
LED感应局部加热封装试验研究被引量:12
《发光学报》2007年第2期241-245,共5页陈明祥 马泽涛 刘胜 
湖北省2005年科技攻关计划招标资助项目(2006AA103A04)
采用感应局部加热技术,对大功率发光二极管(LED)封装进行了试验研究。结果表明,由于感应加热对材料和结构具有选择性,封装过程中仅Cu-Sn合金焊料层加热,实现了芯片和覆铜陶瓷基板间的热键合。封装后的LED性能测试表明,该封装技术不仅降...
关键词:发光二极管 封装 感应加热 局部加热 
气压传感器中保护材料硅凝胶的优化设计被引量:2
《传感器世界》2007年第1期21-23,共3页陈思远 罗玉峰 谭六喜 姚媛 刘胜 
在实际生产中,芯片保护材料的选择和厚度的设计是气体压力传感器封装中的重要问题。本文讨论了芯片保护材料硅凝胶在热循环过程中对压力芯片性能的影响,把膜片上最大等效应力作为优化设计的目标函数,研究了硅凝胶的厚度和与膜片上最大Vo...
关键词:MEMS 压力传感器 硅凝胶 优化设计 
微型柔性剪切应力传感器的制作研究被引量:6
《传感器技术》2005年第8期80-82,85,共4页陈四海 汪殿民 朱福龙 徐涌 易新建 
国家863计划资助项目(2003AA404090)
利用微机电系统(MEMS)技术,制作了一种新型传感器阵列。首先,在刚性衬底上制作了一种8×8切应力传感器阵列,然后,利用硅岛阵列技术制作了一种柔性结构。试验结果表明:所制作的柔性传感器阵列经多次弯扭循环后,电阻值基本没有变化,柔性...
关键词:微机电系统 剪切应力传感器 硅岛阵列 柔性结构 
各向异性导电胶膜新型填充粒子的研究被引量:10
《电子元件与材料》2005年第4期28-31,共4页吴懿平 袁忠发 吴大海 吴丰顺 安兵 
863计划资助项目(2002AA404110)
用分散聚合法合成了直径为3μm左右的聚苯乙烯核,在核表面化学镀形成带小突起的镍合金导电层,制成ACF新型填充粒子,对聚合物核做了粒径分布、比表面积测试,对核以及导电微球做了环境扫描电镜(ESEM)测试。结果表明:制备的导电微球密度小...
关键词:电子技术 各向异性导电胶膜(ACF) 导电微球 化学镀 
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