碲镉汞薄膜

作品数：42被引量：75H指数：5
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相关机构：昆明物理研究所中国科学院中国电子科技集团第十一研究所华北光电技术研究所更多>>
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100 mm×100 mm液相外延碲镉汞薄膜技术进展
《红外技术》2024年第10期1172-1177,共6页邓文斌 宋林伟 孔金丞 姜军 杨晋 起文斌 万志远 刘燕 荣徽宇 许江明 杨翔 朱逊 郑要争 姬荣斌 
昆明物理研究所突破了φ150 mm碲锌镉单晶定向生长技术,实现了100 mm×100 mm碲锌镉衬底的小批量制备,位错腐蚀坑密度(EPD)≤4×10^(4) cm^(-2),沉积相尺寸小于5μm、沉积相密度小于5×10^(3) cm^(-2)。突破了大尺寸碲锌镉衬底表面处理...
关键词：液相外延 100mm×100mm 碲锌镉 碲镉汞 
中国电科11所碲镉汞薄膜材料制备技术进展被引量：3
《激光与红外》2024年第4期483-494,共12页折伟林 邢晓帅 邢伟荣 刘江高 郝斐 杨海燕 王丹 侯晓敏 李振兴 王成刚 
碲镉汞材料具有响应速度快、量子效率高、带隙连续可调等优点,广泛应用于红外探测领域,本文报道了近年来中国电科11所在碲镉汞薄膜材料制备方面的技术进展。在碲锌镉衬底材料制备方面,已突破Φ135mm碲锌镉晶体生长技术,碲锌镉衬底平均...
关键词：碲锌镉 碲镉汞 双层异质结 红外探测 液相外延 分子束外延 
昆明物理研究所大面积水平推舟液相外延碲镉汞薄膜技术进展被引量：4
《红外技术》2023年第2期111-122,共12页孔金丞 宋林伟 起文斌 姜军 丛树仁 刘燕 荣徽宇 许江明 方东 赵鹏 姬荣斌 
报道了近年来昆明物理研究所在富碲水平推舟液相外延碲镉汞外延薄膜制备技术方面的进展。2019年以来,突破了Ф120 mm碲锌镉晶体定向生长技术,使碲锌镉衬底沉积相和夹杂相密度≤5×103 cm^(-2),位错腐蚀坑密度(EPD)≤4.0×10^(4)cm^(-2),...
关键词：液相外延 碲锌镉衬底 碲镉汞薄膜 
碲锌镉衬底晶面极性对水平液相外延碲镉汞薄膜的影响
《红外与毫米波学报》2023年第1期1-7,共7页霍勤 张诚 焦翠灵 王仍 毛诚铭 陆液 乔辉 李向阳 
国家重点研发计划(2018YFB0504700);上海市青年科技英才扬帆计划(19YF1454800)。
研究了碲锌镉衬底(111)晶面的不同极性对水平推舟液相外延生长碲镉汞薄膜的影响。实验结果显示,(111)A面碲锌镉衬底水平液相外延生长碲镉汞薄膜材料组分和厚度均与常规(111)B面碲锌镉衬底碲镉汞薄膜材料相当;碲镉汞母液在采用(111)A面、...
关键词：Hg1-xCdxTe晶体 CdZnTe衬底 液相外延 (111)A面 (111)B面 
异质衬底外延碲镉汞薄膜位错抑制技术进展
《红外技术》2022年第8期828-836,共9页杨晋 李艳辉 杨春章 覃钢 李俊斌 雷文 孔金丞 赵俊 姬荣斌 
核高基重大专项项目。
分子束外延碲镉汞技术是制备第三代红外焦平面探测器的重要手段,基于异质衬底的碲镉汞材料具有尺寸大、成本低、与常规半导体设备兼容等优点,是目前低成本高性能红外探测器发展中的研究重点。对异质衬底上碲镉汞薄膜位错密度随厚度的变...
关键词：碲镉汞 异质衬底 位错抑制 循环退火 位错阻挡 台面位错吸除 
碲镉汞薄膜表面钝化的研究进展被引量：2
《红外》2021年第9期1-13,25,共14页房诗玉 王雅荣 田志新 史继超 房永征 孙常鸿 叶振华 刘玉峰 
中国科学院红外成像材料与器件重点实验室开放基金项目(IIMDKFJJ-19-01);上海市自然科学基金面上项目(20ZR1455400)。
赝二元体系碲镉汞(Mercury Cadmium Telluride,Hg_(x)Cd_(1-x)Te)材料具有优异的光电特性,是制备高灵敏度红外探测器的最重要材料之一。为了获得性能优异的Hg_(x)Cd_(1-x)Te探测器及其组件,目前已经发展了各种Hg_(x)Cd_(1-x)Te材料制备...
关键词：碲镉汞 红外探测器 表面钝化 
碲镉汞薄膜少子寿命测试研究
《红外》2021年第6期1-6,共6页折伟林 申晨 李乾 刘铭 李达 师景霞 
碲镉汞(HgCdTe)材料的少子寿命是影响碲镉汞红外探测器性能的重要参数。分别采用微波光电导衰减(Microwave Photoconductivity Decay,-PCD)法和微波探测光电导(Microwave Detected Photoconductivity,MDP)法对HgCdTe薄膜的少子寿命进行...
关键词：碲镉汞 少子寿命 微波光电导衰减法 微波探测光电导法 
昆明物理研究所分子束外延碲镉汞薄膜技术进展被引量：6
《人工晶体学报》2020年第12期2221-2229,共9页孔金丞 李艳辉 杨春章 杨晋 覃钢 陈卫业 陈逍玄 任洋 王善力 胡旭 王向前 李雄军 赵俊 
碲镉汞(MCT)自从问世以来一直是高端红外(IR)探测器领域的首选材料,分子束外延碲镉汞技术具有低成本异质外延、材料能带精准调控、原位成结等优势,是第三代红外焦平面陈列(FPA)器件研制的重要手段。本文报道了昆明物理研究所分子束外延(...
关键词：分子束外延 碲镉汞 碲锌镉衬底 异质衬底 红外探测器 
碲镉汞薄膜分步化学抛光技术研究
《激光与红外》2020年第6期703-706,共4页肖钰 张国旗 徐长彬 李春领 
针对碲镉汞薄膜化学抛光过程中容易产生材料组分均匀性变差、影响芯片性能的现象,提出了一种分步化学抛光技术。材料表面分析和组分分析结果表明,分步化学抛光可以降低材料表面的粗糙度,改善化学抛光材料组分的均匀性,有效地去除材料表...
关键词：碲镉汞薄膜 化学抛光 分步 均匀性 
液相外延碲镉汞薄膜表面的结晶类缺陷分析被引量：5
《红外》2019年第7期12-17,共6页杨海燕 侯晓敏 胡尚正 刘铭 曹鹏飞 赵硕 
利用扫描电镜、能谱分析、光学轮廓仪以及金相显微镜等测试手段对 液相外延碲镉汞薄膜表面缺陷的形貌、成分和断面进行了分析,并研究了不同 种类表面缺陷的特征及来源。结果表明,液相外延碲镉汞薄膜表面上存在的结 晶类缺陷往往尺寸较...
关键词：碲镉汞 结晶类缺陷 相分离 
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