微驱动

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可变波长光纤光栅滤波器用微驱动器的研制
《微细加工技术》2003年第1期69-72,共4页李以贵 佐佐木实 羽根一博 
为了研制可调谐光纤光栅滤波器而采用拉伸装置和光纤光栅一体化的微小器件结构。实现方法是由微细加工技术加工制造一种新的波长可变光纤光栅滤波器用驱动器,该微型驱动器采用电磁式驱动,由上下两层线圈构成,每个线圈有21匝平面线圈,产...
关键词：光纤光栅滤波器 微驱动器 微细加工技术 
微光机电系统及其应用被引量：1
《微细加工技术》2001年第3期1-8,13,共9页李文军 赵小林 蔡炳初 戴旭涵 
微光机电系统 (MOEMS)是在微机电系统 (MEMS)基础上发展起来的一种新技术系统 ,它是由微光学、微电子和微机械相结合而产生的一种新型的微光学结构系统 ,MOEMS在信息、军事、航天、医学、工业等领域有着广阔的应用前景 ,综述了近年来微...
关键词：微光机电系统 微光学 微驱动器 微机电系统 
SMA/Si复合膜微驱动器图案优化设计
《微细加工技术》2001年第3期18-21,73,共5页陈鉴 程秀兰 徐东 王莉 蔡炳初 
高等学校博士学科专项科研基金资助课题 (2 0 0 0 0 2 4 813)
图形化SMA薄膜的图案及其结构参数的选择对SMA/Si复合驱动膜的性能有决定性的影响 ,利用有限元方法对两种图案设计进行了对比分析。通过结构分析和温度场分析 ,圆形电阻条变宽的设计有助于进一步提高驱动膜的性能。仿真结果对于优化驱...
关键词：SMA 硅 复合膜 微驱动器 形状记忆效应 双金属效应 优化设计 
TiNi/Si复合膜微驱动器原理及结构参数优化
《微细加工技术》2001年第2期44-48,共5页陈鉴 蔡炳初 徐东 王莉 程秀兰 
应用有限元方法对TiNi/Si复合膜微驱动器的结构设计进行了分析。因TiNi和Si之间的热膨胀系数差别很大 ,溅射在Si( 1 0 0 )衬底上的TiNi膜 ,当从晶化的高温降下来时会积聚很大的热应力。这种微驱动器 ,就是利用了TiNi的形状记忆效应而引...
关键词：微驱动器 形状记忆效应 有限元分析 硅 TINI 结构参数优化 
形状记忆合金/硅复合膜驱动的微泵被引量：9
《微细加工技术》2000年第4期50-55,共6页徐东 蔡炳初 王莉 丁桂甫 周勇 俞爱斌 
形状记忆合金 /硅复合膜驱动的微泵由一个可形变腔体和两个单向硅薄片阀组成。微驱动膜利用NiTi形状记忆合金薄膜相变时具有大的可回复应力和Si衬底膜的反偏置力 ,产生双向往复振动。采用图形化的NiTi薄膜作为热诱发相变的加热电阻 ,有...
关键词：形状记忆合金薄 硅 微驱动器 微泵 复合膜驱动 
基于硅片的SMA薄膜微驱动器驱动原理与模拟
《微细加工技术》1999年第4期38-46,共9页王莉 蔡炳初 张明生 徐东 
建立了ＳＭＡ 薄膜／基片的耦合数学模型，对溅射在基片上的ＳＭＡ 薄膜产生驱动的过程进行了仿真模拟，结果表明ＳＭＡ 薄膜／ 基片的耦合驱动是双金属效应和形状记忆效应的双重结果，该驱动力比单纯双金属效应产生的驱动力大得多。该...
关键词：微驱动器 硅基片 模拟 SMA薄膜 微机电系统 
新型的形状记忆合金/硅薄膜微驱动器被引量：7
《微细加工技术》1999年第4期51-55,共5页徐东 蔡炳初 丁桂甫 王莉 
介绍了一种用硅微加工技术制作的ＮｉＴｉ／Ｓｉ 薄膜结构的双向微驱动器。它利用ＮｉＴｉ 形状记忆合金薄膜（ＳＭＡ） 大的相变回复应力和Ｓｉ 衬底膜的反偏置力产生有一定位移量的双向运动。对ＮｉＴｉ 薄膜进行合理的图形化后使得...
关键词：薄膜 形状记忆合金 微驱动器 硅 微机电系统 
微系统技术及其应用
《微细加工技术》1996年第3期1-5,共5页陈佳品 吴智政 
本文介绍了微系统及其技术的一般含义，并对微系统的典型结构作了详细阐述，最后对其应用前景进行了简要分析。
关键词：微系统 微细加工 微驱动器 集成电路 
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