微悬臂梁

作品数：261被引量：520H指数：10
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改进型微悬臂梁弹性常数标定系统被引量：3
《传感技术学报》2018年第6期969-974,共6页耿新宇 宋云鹏 傅星 吴森 
国家自然科学基金项目(61204117)
微悬臂梁作为原子力显微镜中感受微观力的关键元件,其法向和横向弹性常数的可溯源测量是微观力准确定量的前提。受微电子加工工艺的限制,微悬臂梁形状参数与其法向弹性常数无法准确标定,其横向弹性常数更是缺少广泛认可的标定方法。在...
关键词：微悬臂梁 法向 横向 弹性常数 标定 
开孔变截面微悬臂梁传感器的等效刚度和固有频率被引量：3
《传感技术学报》2017年第9期1324-1329,共6页陈金龙 吴君正 张能辉 
上海市浦江人才计划项目(15PJD016);国家自然科学基金项目(11272193)
研究新型开孔变截面微悬臂梁传感器的等效法向刚度及其对固有频率的影响。首先,考虑微梁纵截面孔洞结构引起的弯扭耦合效应,利用二次积分法获得在自由端集中载荷作用下悬臂梁的挠度,基于弹性材料的Hooke定律建立了微梁等效法向刚度分析...
关键词：微悬臂梁传感器 变截面 等效刚度 固有频率 解析方法 
压阻式微悬臂梁传感器检测生化毒剂的响应动力学研究被引量：1
《传感技术学报》2015年第9期1297-1302,共6页刘志伟 童朝阳 穆晞惠 郝兰群 刘冰 张金平 高川 
为了探索压阻式微悬臂梁传感器检测靶分子的信号响应规律,在利用压阻式微悬臂梁传感器生化毒剂大量实测数据的基础上,基于配体-受体动力学和吸附动力学创建了两种压阻式微悬臂梁传感器检测靶分子的动力学模型,利用创建的动力学模型对检...
关键词：压阻式微悬臂梁 生物传感器 生化毒剂 检测 响应动力学 
AFM微悬臂梁探针弹性常数各种标定方法的比较与分析被引量：5
《传感技术学报》2015年第8期1161-1168,共8页宋云鹏 吴森 傅星 徐临燕 
国家自然科学基金项目(61204117)
微悬臂梁探针是基于原子力显微镜(AFM)的微纳尺度力学测试中重要的力传感元件,其弹性常数的准确程度直接影响力学测量结果的可靠性。但是,目前已有的众多标定微悬臂梁探针弹性常数的方法都有各自的局限性,且准确性各异,因此需要对各种...
关键词：微悬臂梁 原子力显微镜 法向弹性常数 标定 
用于痕量胺类同系物检测的谐振式微悬臂梁传感器被引量：1
《传感技术学报》2011年第9期1233-1237,共5页杨天天 于海涛 许鹏程 李昕欣 
国家自然科学基金项目(60725414,91023046);973项目(2011CB309503)
采用化学修饰法,将酸性羧基基团嫁接于高比表面的积的SBA-15介孔材料中,然后将该功能化介孔材料负载于集成谐振式微悬臂梁表面,制得一种高性能的挥发性胺类同系物传感器。胺类分子的吸附将导致质量型微悬臂梁传感器谐振频率的下降,传感...
关键词：微电子机械系统 化学传感器 微悬臂梁 介孔材料 胺 
用于单电子自旋探测微悬臂梁的制作及端头磁针尖设计被引量：1
《传感技术学报》2010年第10期1399-1402,共4页刘勇 赵钢 陈宇航 孔雯 褚家如 
中国科学院重大科研装备研制项目(YZ0637);国家自然科学基金资助项目(50805137)
提出一种用于单电子自旋探测微悬臂梁的制作方法。采用顶层Si厚度为1μm的SOI硅片,在器件层刻蚀出悬臂梁图形后,利用热氧化将Si梁减薄至0.5μm,同时生成SiO2保护层。在KOH溶液进行体硅刻蚀过程中,以黑蜡和SiO2保护层作为正面保护,之后...
关键词：磁共振力显微镜 悬臂梁 磁针尖 电子自旋 
微悬臂梁DNA生物传感器纳米力学分析的重力模型及其应用
《传感技术学报》2010年第8期1053-1057,共5页孟玮烈 张能辉 
国家自然科学基金项目资助(10872121);上海市教育委员会科研创新项目资助(09YZ07);Multiscale Material Mechanics Fellowship
基于微悬臂梁技术的DNA生物传感器的纳米挠度与核苷长度、嫁接密度、杂交率、重力、盐溶液浓度、时间、温度变化、缓冲液流场特性等诸多因素有关。利用Zhang两变量方法,建立了静态模式中自重作用下微梁正应力、切应力、层间挤压应力及...
关键词：DNA 生物传感器 微悬臂梁 纳米力学 重力 两变量方法 优化设计 
微悬臂梁矩阵细胞牵引力测量传感器研制被引量：1
《传感技术学报》2009年第5期627-631,共5页周治国 刘志文 范哲意 
留学基金委联合培养博士生专项基金资助(2007104835)
提出一种采用聚碳酸酯核孔膜为模版来制作高深宽比聚二甲基硅氧烷微悬臂梁矩阵的新方法,用来作为生物微机电系统传感器探测细胞微纳力学及在体外研究细胞的机械特性,并对其制作工艺进行研究。通过选择不同的膜,可以便捷制作不同规格的...
关键词：细胞牵引力测量 生物微机电系统 模板法 聚二甲基硅氧烷 聚碳酸酯核孔膜 
基于微悬臂梁的化学传感器的灵敏度研究被引量：5
《传感技术学报》2008年第8期1333-1336,共4页王大甲 胡放荣 姚军 邱传凯 王爱娜 
中科院光电技术研究所“百人计划”科研基金资助
基于探测的原理,在动态模式下,首先对不同结构梁的本征频率偏移量进行了有限元分析,结果表明三角形梁的灵敏度最高。然后重点针对不同结构参数的三角形梁进行了动态计算,获得了其频率偏移量随结构参数变化的关系曲线。另外,通过静态模...
关键词：化学传感器灵敏度 三角形微悬臂梁 动态模式 静态模式 
微悬臂梁传感器以及读出电路的单片集成被引量：4
《传感技术学报》2008年第4期667-671,共5页汤雅权 张海涛 马盛林 于晓梅 
863资助项目(2006AA04Z336)
提出了一种基于SOI技术的微悬臂梁传感器集成化方案,并从传感器信号调理电路的设计和集成化工艺设计方面论证了该方案的可行性。微悬臂梁传感器集成化系统主要包括惠斯通电桥阵列以及微悬臂梁传感器的信号调理电路。信号调理电路部分包...
关键词：单片集成 MEMS SOI 仪用放大器 
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