吸除技术

作品数：11被引量：12H指数：1
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肾脏错构瘤腹腔镜吸除技术与部分切除术疗效的对比研究被引量：1
《现代肿瘤医学》2019年第7期1181-1184,共4页苗东旭 殷波 
国家自然科学基金资助项目(编号:81372725)
目的:探讨腹腔镜下肾脏零缺血免缝合肿瘤吸除技术治疗肾脏血管平滑肌脂肪瘤的优越性。方法:收集近期肾脏血管平滑肌脂肪瘤手术患者共21例,其中采用传统腹腔镜肾部分切除术患者14例(部分切除组),腹腔镜肿瘤吸除技术患者7例(吸除组),分析...
关键词：肾脏血管平滑肌脂肪瘤 肿瘤吸除技术 腹腔镜肾部分切除术 
非晶硅在硅片吸除技术中的应用研究
《Journal of Semiconductors》1998年第7期538-541,共4页刘莉 秦福 
本文研究了一种新的、具有实际应用价值的硅片吸除技术．该技术包括利用ＰＥＣＶＤ法在腐蚀硅片背面沉积４００～８００ｎｍ厚的非晶硅膜，再经过６５０～６８０℃温度的热处理，使沉积膜与硅片结合更牢固，之后，把硅片进行抛光．结果...
关键词：半导体 硅片 非晶硅 PECVD法 吸除技术 
生物组织超声乳化吸除技术的研究
《中国医疗器械杂志》1998年第1期12-14,21,共4页段炳柱 李永江 林秩文 
本文介绍的生物组织超声乳化吸除技术，借助超声波技术，将电能转化成高频机械振动形式的功能，利用其产生的高于生物组织最小切割阈值的强大瞬时冲击加速度、声激流和空化的共同作用，对已病变和不需要的生物组织进行切割、报政和乳化...
关键词：生物组织 超声波 机械振动 乳化 外科手术 
用外吸除技术消除P型<111>硅片雾缺陷的研究——Ⅰ.背面多晶吸除技术
《上海金属（有色分册）》1993年第3期29-34,共6页李积和 周子美 陈青松 闵靖 
研究了背面多晶和改进的背面损伤两种外吸除工艺,及其在消除P型<111>硅片雾缺陷中的应用。用TEM、SEM和热氧化等方法分析了背面多晶层和背面损伤层的微观结构和吸除效果。简单叙述了SIMS和MOS c-t少子产生寿命的测试结果以及吸除机理。...
关键词：吸除技术 硅片 雾缺陷 微观结构 
一种新颖,高效的在线吸除技术
《上海半导体》1993年第1期53-57,62,共6页张建宇 陈康民 
关键词：集成电路 工艺 金属杂质 吸除 
硅片和硅器件工艺中的本征吸除技术
《上海金属（有色分册）》1992年第3期48-53,共6页胡才雄 
本文介绍了本征吸除技术的产生、发展、应用,以及本征吸除的机制。
关键词：硅 本征吸除 氧沉淀 集成电路 
硅中吸除技术的物理机制被引量：10
《Journal of Semiconductors》1992年第3期174-180,共7页陈畅生 
本文探讨了吸除过程中,各种不同的吸除技术在硅片的底面或内部产生的吸除源凝聚金属杂质的阱作用和发射自隙原子的源作用,以及代位金属原子在含有吸除源的硅中的扩散行为.导出了表征硅中吸除源吸除金属杂质机制的吸除方程组,并用之具体...
关键词：硅片 吸除技术 物理机制 金属杂质 
二步含氯氧化处理技术报告：—一种新的与器件工艺相结合的吸除技术
《上海半导体》1992年第1期30-34,48,共6页张建宇 陈康民 
关键词：VLSI ULSI 工艺 氯 氧化处理 吸除 
硅吸除技术被引量：1
《半导体光电》1990年第3期289-296,共8页蒋荣华 梁李成 肖顺珍 
本文详细地叙了各种硅吸除技术;阐明了非本征吸除、本征吸除和综合吸除的机理和工艺。举例说明了吸除技术的应用。
关键词：硅 吸除技术 单晶材料 工艺 
日本研制成新的离子吸除技术
《国际冶金动态》1989年第7期5-6,共2页胡才雄 
关键词：离子吸除 半导体器件 制备 硅片 
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