离子辅助沉积

作品数：103被引量：348H指数：12
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离子辅助沉积对ZnS薄膜晶体结构及光学特性的影响被引量：2
《激光与光电子学进展》2017年第10期457-462,共6页冯毅东 秦杨 于天燕 
对不同离子束密度条件下辅助沉积的ZnS薄膜进行了物理及光学特性研究。研究结果表明,在离子束辅助沉积ZnS薄膜时会出现非均匀生长现象,且非均匀性和折射率会随着离子束密度的增加而增大,薄膜结晶程度也增加。薄膜的非均匀性增加了薄膜...
关键词：薄膜 光学特性 离子束辅助沉积 硫化锌薄膜 非均匀性 折射率 
离子束辅助沉积大口径光学薄膜被引量：10
《红外与激光工程》2015年第B12期183-188,共6页艾万君 熊胜明 
利用国内最大箱式高真空镀膜设备ZZS3600,开展了双离子束辅助反应蒸发技术及光学薄膜厚度均匀性研究。借助MarkⅡ离子源辅助反应蒸发技术,对Ta_2O_5、SiO_2常见的高、低折射率光学薄膜进行了制备与特性分析。结果表明:在蒸发源与沉积基...
关键词：离子辅助沉积 高真空镀膜设备 大口径光学薄膜 光学特性 膜厚均匀性 
成像光谱仪用0.4～1.1μm宽光谱分色片的研制被引量：1
《光学仪器》2009年第1期85-89,共5页于天燕 徐美 成效春 刘定权 
分色片是成像光学系统的关键元件之一。为了满足：45。角度下使用时，0．6～1．1μm，透射率（T）大于80%；0．4-0．6μm，反射率（R）大于90％；且尤其注重0．625μm具有高透射性，0．575μm具有高反射性的使用要求，研制了应用于成像...
关键词：光学薄膜 分色片 变极值监控 离子辅助沉积 
电子束蒸发Ar离子辅助沉积Si光学薄膜的特性被引量：2
《半导体光电》2006年第6期740-741,787,共3页舒雄文 徐晨 田增霞 沈光地 
国家"973"计划资助项目(G200068302);北京市教委基金资助项目(KM200310005009);北京市科委基金资助项目(D0404003040221)
对用常规电子束蒸发和Ar离子辅助沉积所得的非晶硅光学薄膜的光学常数、表面形貌、热稳定性和湿度稳定性等进行了研究。结果发现Ar离子辅助沉积所得非晶硅光学薄膜的折射率大大提高,表面粗糙度明显降低,湿度稳定性和热稳定性也得到较大...
关键词：光学薄膜 离子辅助沉积 光学常数 热稳定性 湿度稳定性 
LiB_3O_5晶体946nm,473nm倍频增透膜的研制被引量：1
《人工晶体学报》2006年第5期917-921,共5页于爱芳 范飞镝 刘中星 朱镛 陈创天 
863项目(No.2002AA311050)资助
采用离子辅助沉积技术在L iB3O5晶体上制备了946nm,473nm倍频增透膜,并测量了薄膜的性质。测试结果表明,该增透膜具有较低的剩余反射、高的环境稳定性和良好的附着力。进一步测量了薄膜在波长1064nm多脉冲辐照下的激光损伤阈值,获得了...
关键词：LiB3O5 晶体 倍频增透膜 离子辅助沉积 附着力 激光损伤阈值 蓝色激光器 
离子束溅射沉积Ta_2O_5光学薄膜的实验研究被引量：10
《光电工程》2004年第3期41-43,55,共4页刘洪祥 熊胜明 李凌辉 张云洞 
国家高技术激光技术领域资助项目
根据择优溅射的理论,在不同的通氧方式下,详细分析了离子辅助对离子束溅射沉积Ta2O5薄膜光学特性的影响。结果表明,在薄膜生长的过程中,由于氩离子的轰击作用,薄膜中的氧原子被优先溅射出来,造成了薄膜化学剂量比失调、吸收增加。但是,...
关键词：离子束溅射 光学薄膜 离子辅助沉积 光学特性 
等离子辅助成膜技术被引量：2
《仪器仪表学报》2000年第5期490-492,共3页林永昌 尤大纬 李晓谦 沈立新 郑陪雨 
国家自然科学基金项目
等离子辅助沉积技术是一种能大规模高质量制造光学膜的技术 ,本文报道了等离子辅助源的性能指标 ,用这个源制造的Ti O2 膜工艺与成膜质量 ,以及用等离子辅助生产减反膜的工艺。
关键词：光学膜 离子辅助沉积 等离子辅助沉积 
离子辅助沉积氧化物薄膜的光学特性被引量：3
《强激光与粒子束》1992年第2期245-250,共6页汤雪飞 范正修 
考察了不同离子、离子能量、离子束流密度等制备参数对离子辅助沉积的TiO_2、ZrO_2和SiO_2薄膜的折射率、吸收和激光损伤阈值等光学特性的影响。
关键词：薄膜 离子辅助沉积 光学特性 
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