分子激光器

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准分子激光器用铜电极研究进展
《有色金属加工》2024年第1期32-37,共6页阚金锋 吕成伟 马放 齐石磊 张旭 
文章通过分析准分子激光器用电极的腐蚀机理,重点介绍了铜合金电极在材料设计、组织调控和结构优化等方面的研究进展,并最终指出了准分子激光器用铜电极的改进方向。
关键词：铜合金电极 准分子激光器 腐蚀机理 氟腐蚀行为 
准分子激光器预电离过程影响分析
《物理学报》2023年第19期119-125,共7页王倩 范元媛 赵江山 刘斌 亓岩 颜博霞 王延伟 周密 韩哲 崔惠绒 
国家自然科学基金(批准号:12074405);中国科学院青年创新促进会(批准号:2020121)资助的课题。
准分子激光器由于其短波长、高重频、大能量在国民经济生产中具有重要作用.在准分子激光器应用场景及输出特性中,光束质量及能量稳定性是高端准分子光源的指标,而预电离过程发展得充分与否是准分子激光系统能否输出高光束质量、能量稳...
关键词：准分子激光器 流体模型 预电离 电子密度 
单模NH3分子激光器中混沌运动特性分析
《河南科技》2023年第12期4-8,共5页康杰 雷腾飞 丁紫阳 李连荣 孙为云 
山东省自然科学基金项目“分数阶时滞电力系统的混沌机理分析与控制研究”(ZR2017PA008)。
【目的】考查单模NH3分子激光器系统双参数变化下的复杂度(C_(0)),研究该系统周期与混沌运动关系,为激光混沌在加密及光纤通信中的应用研究提供理论依据。【方法】以Lorenz-Haken系统为研究对象,建立单模NH3分子激光器系统混沌吸引子相...
关键词：单模NH3分子激光器系统 LYAPUNOV指数 复杂度 混沌 
系列深紫外准分子激光器
《中国科学院院刊》2023年第S01期70-70,共1页
主要技术与性能指标,输出激光波长:193 nm、248 nm、308 nm、351 nm,最大激光脉冲能量:800 mJ(@248 nm),激光脉冲宽度:约25 ns,脉冲能量稳定性:<1%。主要应用,半导体光刻、低温多晶硅退火、脉冲薄膜沉积、光纤光栅刻蚀、紫外精细打标。
关键词：半导体光刻 低温多晶硅 激光波长 脉冲能量 光纤光栅 深紫外准分子激光 打标 薄膜沉积 
高成品率和平整度的GaN基Micro LED芯片激光剥离工艺的研究
《人工晶体学报》2023年第5期805-811,共7页岳龙 徐俞 王建峰 徐科 
国家自然科学基金面上项目(62174173)。
使用波长248 nm的准分子激光器实现了GaN基微型发光二极管(Micro LED)的大面积激光剥离(LLO)。分离器件所需要的临界激光能量密度为800~835 mJ·cm^(-2),分离的器件完好无损,分离表面光滑,残余应力为0.0714 GPa,均方根粗糙度仅为0.597 ...
关键词：GAN 微型发光二极管 激光剥离 准分子激光器 成品率 平整度 
低抖动准分子激光放大器光源的研究被引量：1
《红外与激光工程》2023年第3期162-168,共7页王怡哲 喻学昊 刘墨林 朱能伟 游利兵 方晓东 
国家自然科学基金面上项目(62175167);广东省重点建设学科科研能力提升项目(2021ZDJS112);深圳市基础研究重点项目(JCYJ20210324120207021)。
为了获得低抖动的准分子激光放大器光源,设计了一种以氢闸流管作为高压开关的低抖动准分子激光放大器系统。利用抖动小于4 ns的闸流管触发电路来触发导通氢闸流管,从外部触发信号到准分子光信号之间有一定的延时时间。研究了以氢闸流管...
关键词：准分子激光器 低抖动 放大器 温漂 
大功率准分子激光器气体流场数值分析
《中国激光》2022年第21期54-61,共8页杨礼昭 方晓东 游利兵 
国家自然科学基金(41627803);深圳市科技计划资助项目(JCYJ20210324120207021,KQTD20170331115422184);深圳技术大学新引进高端人才财政补助科研启动项目(2020101);中国科学院核心关键技术攻关项目(ZKYXG-2018-04)。
准分子激光器作为放电激励的气体激光器,其激光介质气体在主放电电极间辉光放电产生激光的同时,也在放电区域产生气态和固态的放电产物以及大量的热。通常在激光腔内放置横流风机,以维持放电区域气体的流动和更新,从而保证激光器以重复...
关键词：激光器 准分子激光器 气体循环系统 流场 数值分析 
基于嵌入式技术的准分子激光器智能控制系统被引量：2
《激光杂志》2021年第10期181-185,共5页龚玮玮 张进 张丽伟 
江西省教育厅科技项目(No.180990);江西省教育厅科学技术研究项目(No.GJJ181000)。
传统准分子激光器智能控制系统的性能受到控制精度的影响,以提高准分子激光器智能控制系统的性能为目的,提出了基于嵌入式技术的准分子激光器智能控制系统。在嵌入式技术的基础上,通过准分子激光器MCU主控模块设计、控制信号调理电路设...
关键词：嵌入式技术 准分子激光器 智能控制 主控模块 调理电路 
门控循环网络辨识准分子激光器能量模型被引量：3
《中国激光》2021年第9期28-37,共10页冯泽斌 周翊 江锐 韩晓泉 徐向宇 刘斌 
国家科技重大专项(2013ZX022020)。
准分子激光器的放电过程是一个复杂的非线性过程,从而导致基于放电动力学建立的激光器放电能量模型的精度很难达到仿真研究和控制算法设计的需求。通过深度学习的方法,利用门控循环网络辨识准分子激光器放电能量模型。首先基于准分子激...
关键词：激光器 门控循环单元网络 准分子激光器 模型辨识 
纳秒级高功率准分子激光器驱动系统研制
《电子器件》2021年第3期569-574,共6页温立彬 蔡立民 吴涛 何永春 
国网内蒙古东部电力有限公司科技项目(SGMDXA00YWJS1900462)。
采用反激升压电路与双向半桥驱动电路级联构成双级驱动电路,研制了一种纳秒级、高功率准分子激光器驱动系统。反激升压电路工作在DCM的条件下,保证输出稳定高压。双向半桥驱动电路采用输出电压信号与理想波形查找表比较,控制高低边开关...
关键词：电子电路 准分子激光器 反激升压电路 双向半桥驱动电路 纳秒级 
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