压电效应

作品数：897被引量：2241H指数：19
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石英单晶微机械陀螺仪研究进展
《微纳电子技术》2024年第11期17-30,共14页孙卓 孙立涛 窦广彬 
国家重点研发计划(2023YFB3208901)。
对Z切、ST切、AT切三种切割方式的石英单晶微机械陀螺仪的基本工作原理进行了阐述,梳理了不同类型陀螺仪的发展历程,重点介绍了三种石英单晶微机械陀螺仪的设计结构、性能特点及其应用场景,并从灵敏度、动态范围、稳定性、抗冲击性及工...
关键词：石英 微机械陀螺仪 压电效应 Z切音叉微机械陀螺仪 ST切表面声波微机械陀螺仪 AT切厚度剪切振动陀螺仪 微电子机械系统(MEMS) 
压电式触觉传感器的优化与应用的研究进展被引量：5
《微纳电子技术》2023年第2期165-174,共10页王俊博 高国伟 
国家自然科学基金联合基金重点项目(U20A20167);国家自然科学基金项目(62071054)。
对有机、无机压电材料在压电性能和机械性能上的优劣进行了简单阐述。对压电材料的改进与制备工艺进行了评述,包括掺杂钛酸钡纳米粒子的聚偏二氟乙烯纤维的制备方法、含不同体积分数锆钛酸铅的聚二甲基硅氧烷复合薄膜的制备方法、可3D...
关键词：压电材料 触觉传感器 柔性 压电效应 锆钛酸铅 聚偏二氟乙烯 
一体化仿生结构压电MEMS水声传感器被引量：1
《微纳电子技术》2022年第1期50-57,共8页石树正 耿文平 毕开西 李芬 丑修建 
国家重点研发计划资助项目(2019YFF0301802);国家自然科学基金资助项目(51975541);山西省重点研发项目(20201101015);2019年度河北省自然科学基金资助项目(F2019404029);河北省“三三三人才工程”资助项目(A202101021)。
为了实现水声传感器的低能耗、高灵敏度以及低成本批量制造,设计并制备了一种四螺旋梁集成拾振微球的一体化仿生压电微电子机械系统(MEMS)水声传感器。根据水母耳石触觉结构和水母身体回弹发电原理对该传感器进行仿生结构设计,并通过建...
关键词：微电子机械系统(MEMS) 水声传感器 仿生结构 压电效应 异质集成 
基于Si弹性层优化的悬臂梁式微压电驱动器被引量：1
《微纳电子技术》2021年第2期131-136,共6页王保志 董璇 张成功 王欢 李以贵 
国家自然科学基金资助项目(51035005);上海市科技兴农重点攻关项目(沪农科创字(2018)第3-3号);上海市“联盟计划”资助项目(LM201929)。
基于压电材料的逆压电效应,设计并制备了悬臂梁式微压电驱动器,通过电能到机械能的转换,完成装置的位移输出任务。基于悬臂梁式微压电驱动器的设计和仿真,得出该微驱动器Si弹性层的最佳厚度为0.12 mm,仿真结果显示压电层与弹性层厚度比...
关键词：微驱动器 压电材料 逆压电效应 悬臂梁 Si弹性层 共晶键合 
基于四螺旋梁-质量块的MEMS压电能量采集器被引量：6
《微纳电子技术》2018年第1期32-37,62,共7页高翔 石树正 徐方良 何剑 穆继亮 杨玉华 丑修建 
国家自然科学基金资助项目(51422510,51675493,61471326);山西省青年科技研究基金资助项目(201601D021064)
设计了一种四螺旋悬臂梁-质量块结构的压电能量采集器,将环境振动能转换为电能。采用有限元分析软件（COMSOL Multiphysics）建立结构模型,仿真结构固有频率,计算不同振动频率下器件的位移、应力、应变和电势以及不同加速度下的电压输出...
关键词：微电子机械系统(MEMS) 压电效应 锆钛酸铅(PZT) 能量采集器 COMSOL 
基于压电效应的MEMS振动式微能源器件被引量：7
《微纳电子技术》2014年第2期110-114,共5页陈婷婷 关新锋 杨杰 郭涛 丑修建 
国家自然科学基金资助项目(51075374)
设计了一种硅基压电功能材料的四悬臂梁-中心质量块结构MEMS振动式微能源器件,可将环境振动能量有效转化为电能。采用溶胶-凝胶法制备硅基锆钛酸铅(PbZr0.53Ti0.47O3,PZT)压电功能薄膜,经干/湿法刻蚀和溅射沉积等MEMS工艺实现器件功能...
关键词：微机电系统(MEMS) 振动 压电转换 微能源 输出电压 
薄膜压电系数测量方法的研究进展被引量：4
《微纳电子技术》2014年第1期59-65,共7页董佳丽 相文峰 赵昆 岳义 贺卓 赵嵩卿 
国家自然科学基金资助项目(11004251);中国石油大学(北京)科研启动基金资助项目(01JB0021);北京市青年英才计划资助项目
基于国内外对于薄膜压电系数的研究成果,系统地综述了薄膜压电系数的测量方法,如正向压力法、圆片弯曲法、激光干涉法、悬臂梁法和显微镜法等,并对这些方法的基本原理、测试表征、应用状况及存在的问题进行了详细的分析,同时比较了这些...
关键词：压电系数 压电薄膜 测试方法 正压电效应 逆压电效应 
压电能量收集器件基于有限元仿真比较和研究被引量：1
《微纳电子技术》2012年第4期248-253,共6页朱伦 朱志炜 张卫 吴东平 
上海高校特聘教授(东方学者)岗位计划资助项目
利用压电材料制作的器件采集环境中的振动能量,并转化为电能的微尺度器件正日益受到广泛关注。通过有限元仿真分析,研究了新颖的垂直式纳米线阵列结构(VING)和常见的压电悬臂梁结构的能量收集性能。在更贴近实际情况的低频条件下计算了7...
关键词：能量收集 压电效应 有限元分析 垂直式纳米线阵列(VING) 悬臂梁 谐振频率 
石英微机械陀螺的研究进展被引量：5
《微纳电子技术》2012年第3期173-180,共8页关冉 张卫平 陈文元 张弓 成宇翔 
教育部新世纪优秀人才支持计划资助项目(NCET-10-0583);航天支撑基金资助项目(11GFZ-JJ02-005);微米/纳米加工技术重点实验室基金资助项目(9140C790405110C7904);上海交通大学研究生创新基金资助项目(Z-340-014)
首先介绍了石英微机械陀螺基于压电效应和科氏加速度的工作原理,回顾了石英微机械陀螺的发展历程,并且介绍了石英微机械陀螺的国内外发展现状。然后,针对石英微机械陀螺不同的结构进行了分类,并且对于不同结构的石英微机械陀螺的具体加...
关键词：石英 微机械陀螺 压电效应 科氏加速度效应 微电子机械系统(MEMS) 
微泵的结构与流体分析被引量：2
《微纳电子技术》2004年第5期41-44,共4页贾建援 黄新波 康春霞 
利用扩散阀/喷嘴的流体特性设计了一种无活动阀压电式微泵;应用小挠度弹性弯曲理论,导出圆形压电复合层薄板的弹性曲面微分方程和复合层薄板的中性面位置方程;应用压电理论导出压电薄膜的边缘电场分布;应用微流体力学理论导出微泵单次...
关键词：微泵 结构 流体分析 扩散阀 微泵 压电效应 流量 
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