P型ZNO薄膜

作品数:50被引量:140H指数:7
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相关机构:浙江大学重庆师范大学中国科学院大连理工大学更多>>
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p型ZnO薄膜的研究进展
《材料导报》2015年第23期12-17,共6页文俊伟 王小平 王丽军 李剑 刘凌鸿 于颖 
上海市教委重点创新项目(14ZZ137);沪江基金(B14004);上海理工大学国家级项目培育基金项目(14XPM04)
ZnO材料以其优良的光电特性和相对低廉的成本而倍受人们的青睐,但是要获得高质量的p型ZnO薄膜难度极大,这已成为阻碍ZnO基光电器件走向实用化的主要障碍。综述了p型ZnO薄膜掺杂面临的困难、p型ZnO掺杂理论进展及实现p型ZnO薄膜的各种掺...
关键词:ZNO薄膜 制备工艺 掺杂 p型电导 
扩散掺杂的p型ZnO薄膜的光学性质研究被引量:1
《光谱学与光谱分析》2015年第7期1787-1790,共4页陈芳 房丹 王双鹏 方铉 唐吉龙 赵海峰 方芳 楚学影 李金华 王菲 王晓华 刘国军 马晓辉 魏志鹏 
国家自然科学基金项目(61076039,61204065,61205193,61307045,61404009,61474010);高等学校博士学科点专项科研基金项目(20112216120005);吉林省科技发展计划项目(20121816,201201116);高功率半导体激光国家重点实验室基金项目(9140C310104110C3101,9140C310102130C31107,9140C3101024C310004,9140C310101120C031115)资助
采用原子层沉积技术(atomic layer deposition)在InP衬底上生长ZnO薄膜,并在不同温度下(500和700℃)进行热退火处理,将P掺杂进入ZnO,得到p型ZnO薄膜。样品的光学特性通过光致发光光谱(photoluminescence,PL)来测定,得出热退火温度是影响...
关键词:扩散掺杂 P型ZNO P掺杂 原子层沉积 光致发光 
退火处理对P型ZnO薄膜光电性能影响的研究被引量:3
《中国非金属矿工业导刊》2014年第6期15-17,共3页吴炳南 高立华 高松华 
2012年度省级大学生创新创业训练计划项目(编号:ZL1217/CS(sj));福建省自然科学基金资助项目(编号:2012J01016)
ZnO薄膜为重要的第三代半导体材料,因其优异的光电性能在微电子行业及光电方面诸多领域备受关注,ZnO薄膜的P型掺杂是实现ZnO基光电器件的关键。本文利用射频磁控溅射法通过N-Al共掺技术,在普通玻璃衬底上成功生长出P型ZnO透明导电薄膜...
关键词:ZNO薄膜 P型 退火处理 光电性能 
硼对氮掺杂的p型ZnO薄膜的影响被引量:2
《发光学报》2014年第7期795-799,共5页赵鹏程 张振中 姚斌 李炳辉 王双鹏 姜明明 赵东旭 单崇新 刘雷 申德振 
国家"973"计划(2011CB302002;2011CB302005);国家自然科学基金(11134009;11074248;11104265)资助项目
利用分子束外延设备在蓝宝石衬底上生长了B/N共掺的p型ZnO薄膜,对比了B/N共掺和N单掺杂样品的物理学性能。通过X射线光电子能谱测试证明了在薄膜中存在有B和B—N键。B/N共掺样品的空穴浓度比单一N掺杂样品高近两个量级。且ZnO∶(B,N)薄...
关键词:ZNO B/N共掺 P型掺杂 
Properties of p-type ZnO thin films with different orientations
《Optoelectronics Letters》2014年第2期111-114,共4页戴丽萍 王姝娅 钟志亲 张国俊 
supported by the National Natural Science Foundation of China(No.61204088);the Fundamental Research Funds for the Central Universities(No.ZYGX2011J029)
The stable properties of N-doped p-type ZnO thin films with preferential nonpolar(100) plane orientation relative to polar(002) plane orientation are investigated. The two kinds of oriented thin films are fabricated b...
关键词:P型ZNO薄膜 取向薄膜 性质 稳定性能 非极性 后热处理 结构计算 电场模型 
N-In共掺p型ZnO薄膜的结构和电学特性研究被引量:5
《重庆师范大学学报(自然科学版)》2013年第3期115-120,共6页赵永红 孔春阳 秦国平 李万俊 阮海波 孟祥丹 卞萍 徐庆 张萍 
国家自然科学基金(No.11074314,50942021);重庆市自然科学基金(No.CSTC.2011BA4031,KJ120608);重庆师范大学青年基金(No.09XLS04)
采用射频磁控溅射技术在石英衬底上制备ZnO∶In薄膜,以N离子注入的方式进行N掺杂,通过优化退火条件成功实现了ZnO∶In-N薄膜的p型转变。研究发现:在590℃退火20min获得性能良好的p-ZnO∶In-N薄膜,其空穴浓度、迁移率和电阻率分别为(1.01...
关键词:ZnO∶In-N薄膜 离子注入 P型掺杂 稳定性 第一性原理 
超声喷雾热解法制备稀磁掺杂ZnO薄膜的研究被引量:3
《人工晶体学报》2013年第4期659-663,共5页王礼慧 张灿云 徐家跃 曲红旭 刘晟杰 
上海应用技术学院大学生科技创新项目资助(DJ2010-51)
近年来,基于ZnO稀磁半导体在自旋电子器件方面的潜在应用价值,过渡金属掺杂的ZnO材料被广泛研究。但由于p型ZnO材料的制备非常困难,获得具有室温以上居里温度的Mn掺杂p型ZnO基稀磁半导体仍然是个难题。在N-In共掺杂成功实现ZnO薄膜p型...
关键词:超声喷雾热解法 稀磁掺杂 P型ZNO薄膜 
退火对ZnMnO:N薄膜p型转变的影响
《科技视界》2012年第25期149-149,195,共2页南貌 
采用射频磁控溅射法在石英玻璃衬底上制备出具有高结晶质量的ZnO:Mn薄膜,经N离子注入和退火处理,成功实现了ZnMnO:N薄膜的p型转变。
关键词:射频磁控溅射 Mn-N共掺杂 离子注入 P型ZNO薄膜 退火 
p-ZnO薄膜及其异质结的光电性质被引量:4
《人工晶体学报》2012年第3期636-641,共6页朱慧群 李毅 丁瑞钦 王忆 黄洁芳 张锐华 
国家高技术研究发展计划(863)(2006AA03Z348);上海市教育委员会科研创新重点项目(10ZZ94);上海领军人才培养计划;广东省自然科学基金(10152902001000025);江门市自然科学和基础科学领域科技攻关计划项目(江科[2009]38号);五邑大学重点科研项目资助
采用射频磁控溅射法,在不同的Ar∶O2条件下,以高掺磷n型Si衬底为磷掺杂源制备了p型ZnO薄膜和p-ZnO/n-Si异质结。对ZnO∶P薄膜进行了光致发光谱(PL)、霍尔参数、I-V特性、扫描电镜(SEM)和X射线衍射谱(XRD)等测试。结果表明,获得的ZnO∶P...
关键词:磁控溅射 P型ZNO薄膜 磷掺杂 异质结 
N-X共掺p型ZnO薄膜的研究进展被引量:3
《材料导报》2011年第23期49-54,共6页李万俊 孔春阳 秦国平 阮海波 杨天勇 梁薇薇 孟祥丹 赵永红 
重庆市自然科学基金(AC40304)
获得高质量稳定的p型ZnO薄膜是实现ZnO基光电器件化的关键。目前,国际上公认Ⅴ族元素中的N替代O位(NO)是实现p型ZnO较理想的掺杂途径。但p-ZnO∶N薄膜的导电性能会随着时间、光照、温度条件发生变化,稳定性不足。大量的理论和实验研究表...
关键词:P型ZNO薄膜 N—X共掺 稳定性 
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