压阻式压力传感器

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SiC压阻式压力传感器欧姆接触制备工艺及性能研究
《实验流体力学》2024年第6期93-98,共6页杨健 许姣 赵晨曦 郝文昌 尹玉刚 张世名 
SiC压阻式压力传感器是解决飞行器表面高温脉动压力原位测量的重要测试工具,为了提高传感器性能、降低敏感芯片金属—半导体接触阻抗,本文对n型4H–SiC欧姆接触的制备工艺及性能进行了研究。采用离子注入工艺对SiC基片进行了磷(P)离子注...
关键词：离子注入 欧姆接触 真空退火工艺 压力传感器 4H–SiC 
MEMS压阻式压力传感器梁−膜−三岛膜结构设计与优化
《电子科技大学学报》2024年第6期852-861,共10页郭威 李辉 罗登玲 刘细辉 邹力 李绍荣 郭小伟 唐普英 
传统的压阻式压力传感器虽然灵敏度高但非线性度也高。针对该问题,设计了一种以敏感膜片为梁−膜−三岛结构的新型压阻式压力传感器,通过在敏感膜片上设计3个方岛结构来提高传感器的线性度和抗过载能力;同时,利用敏感膜片上设计的短窄梁...
关键词：MEMS 压力传感器 有限元仿真 设计与优化 
发明与专利
《传感器世界》2024年第9期44-45,共2页
一种MEMS压阻式压力传感器及其制备方法申请号:202410867038.2【申请日】2024.07.01【公开号】CN118392382A【公开日】2024.07.26【分类号】G01L9/06;G01L1/18【申请人】东南大学【发明人】兰之康;黄晓东;侯赛雅;张鹏飞;张佳【摘要】本...
关键词：压阻式压力传感器 分类号 黄晓东 东南大学 MEMS 发明人 申请人 
硅压阻式压力传感器耐冲击设计改进被引量：1
《自动化与仪表》2024年第8期74-77,共4页王臻 王伟 王言徐 刘俊琴 
在液压伺服系统中,压力传感器是重要的测量器件,其中硅压阻式压力传感器应用最为广泛。由于压力传感器会遇到压力冲击的恶劣环境,强烈的压力冲击会造成压力敏感芯体的波纹膜片凹陷,甚至撕裂,最终导致传感器的失效。为了解决该问题,该文...
关键词：硅压阻压力传感器 阻尼设计 仿真 
硅压阻式压力传感器引线键合工艺研究
《电子产品世界》2024年第8期16-19,共4页薄久旺 金琦 吕宏辉 于程程 李悦铭 
硅压阻式压力传感器具有高精度、高灵敏度、稳定性好等优点,广泛应用于航空、汽车、船舶等行业。在硅压阻式压力传感器的封装过程中,引线键合为关键过程,引线形态对传感器性能具有关键作用。根据引线键合机制,通过研究弧高(loop)、转折...
关键词：引线键合 引线形态 工艺参数 
基于数字信号处理的压阻式压力传感器温度补偿
《信息记录材料》2024年第7期200-202,共3页秦晓芳 张岩 
压阻式压力传感器是一种常用的传感器,它可以测量压力或力等物理量。然而,由于温度变化等因素的影响,压阻式压力传感器的输出可能会产生误差,需要进行温度补偿来提高准确性和稳定性。因此,本文提出基于数字信号处理的压阻式压力传感器...
关键词：压阻式压力传感器 传感器原理 数字信号处理 温度补偿 
压阻式压力传感器硅电阻条浅槽刻蚀的研究
《舰船电子工程》2024年第4期199-202,共4页王天靖 梁庭 雷程 王婧 冀鹏飞 
MEMS压阻式压力传感器的电阻条刻蚀效果对传感器的性能及高温环境下工作寿命起着至关重要的作用。采用SPTS深硅刻蚀机以SF6为刻蚀气体,C4F8为保护气体进行刻蚀实验。通过改变刻蚀气体通入时长、保护气体通入时长以及射频功率进行参数匹...
关键词：压力传感器 电阻条 深硅刻蚀 刻蚀 刻蚀速率 均匀性 
多层结构柔性压力传感织物的设计与性能
《纺织科技进展》2024年第2期14-17,22,共5页陈奕汛 吴倩 李倩 王进美 
陕西省教育厅科学研究计划项目(22JK0395)。
智能可穿戴技术因其能够实时交互穿戴者与环境之间的信息而具有巨大发展潜力,在柔性可穿戴设备中,柔性压力传感器是用于压力检测的关键器件。使用导电材料MWCNTs与PEDOT:PSS制备3种不同的传感器敏感层,以镍铜织物作为传感器的上下电极,...
关键词：柔性压力传感器 压阻式压力传感器 MWCNTS PEDOT:PSS 多层结构 
硅基MEMS梁-复合膜-岛压阻式压力传感器设计研究被引量：1
《压电与声光》2024年第1期118-123,共6页江浩 黄晶 袁宇鹏 李春洋 苗晋威 李光贤 
国家重点研发计划(2022YFB3206500)。
针对微机电系统(MEMS)压力传感器灵敏度与非线性度难以兼顾的问题,提出了一种梁-复合膜-岛压力传感结构,运用有限元仿真软件优化整体结构尺寸以得到最大纵横应力差、挠度,并设计压阻条压敏电阻掺杂类型、掺杂浓度、结构尺寸及分布位置...
关键词：压阻式压力传感器 压敏电阻 高灵敏度 微压 
MEMS高温压阻式压力传感器闭环控制方法被引量：2
《机械与电子》2023年第12期27-30,37,共5页杨恩龙 殷展 魏毅 杨清海 
国家电网有限公司科技项目(SGSHJD00BGJS2101991)。
为提高MEMS高温压阻式压力传感器的整体性能,提出一种MEMS高温压阻式压力传感器闭环控制方法。明确MEMS高温压阻式压力传感器在工作过程中产生的变谐效应,分析了静电驱动和电容检测。根据分析结果设计出闭环控制策略,在闭环控制过程中...
关键词：MEMS高温压阻式压力传感器 变谐效应分析 二元差值算法 误差补偿 闭环控制 
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