刘川

作品数：9被引量：56H指数：5
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供职机构：哈尔滨工业大学航天学院更多>>
发文主题：工件台光刻机直线电机高动态自抗扰更多>>
发文领域：自动化与计算机技术航空宇航科学技术电子电信更多>>
发文期刊：《哈尔滨工业大学学报》《电机与控制学报》《上海交通大学学报》《中南大学学报（自然科学版）》更多>>
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光刻机工件台宏微电机的非线性复合控制被引量：2
《哈尔滨工程大学学报》2015年第12期1620-1625,共6页孙永倩 陈德运 刘川 
针对光刻机工件台长行程直线电机宏动和平面电机高精密微动的耦合运动特点,提出一种宏动跟踪微动的变增益非线性复合控制方法,实现系统高动态纳米级精度的跟踪定位。宏动长行程直线电机采用零相位跟踪前馈控制和双环控制,实现系统无静...
关键词：光刻机 直线电机 平面电机 推力耦合 非线性复合控制 
光刻机工件台直线电机的完全跟踪控制被引量：9
《中南大学学报（自然科学版）》2015年第9期3238-3244,共7页陈兴林 刘川 耿长青 徐加彦 
国家科技重大专项(2009ZX02207)~~
提出一种将完全跟踪控制(PTC)和扩张状态观测器(ESO)相结合的复合控制方法以提高宏动直线电机的跟踪性能。利用多速率采样系统的特性构建宏动系统状态传递函数矩阵的精确逆矩阵,以避免传统的近似逆模型和插值带来的限制,从而实现完全跟...
关键词：完全跟踪控制 扩张状态观测器 精密伺服 光刻机 工件台 
基于ZPET-FF和ESO的直线伺服鲁棒跟踪控制被引量：2
《上海交通大学学报》2014年第5期679-684,共6页陈兴林 刘川 周乃新 王斌 
国家科技重大专项资助项目(2009ZX02207)
提出一种将零相位误差跟踪和前馈(ZPET-FF)与扩张状态观测器(ESO)相结合的重复控制方法,以提高宏动台直线电机伺服系统的跟踪性能.以ZPET-FF作为前馈跟踪控制器,将信号估计器估计的跟踪误差和系统的实时误差作为其输入信号,将控制器对...
关键词：光刻机 工件台 掩模台 零相位误差跟踪控制器 扩张状态观测器 
基于ZPETC-FF和DOB的精密运动平台控制被引量：9
《哈尔滨工业大学学报》2014年第1期1-6,共6页陈兴林 刘川 周乃新 王斌 
国家科技重大专项资助项目(2009ZX02207)
光刻机的工件台和掩模台采用长行程直线电机宏动跟随平面电机高精密微动的复合运动方式,实现系统高动态纳米级精度的跟踪定位.为减小平面电机的运动范围和加速度,必须提高直线电机精密运动平台的跟踪精度.提出一种零相位误差跟踪控制器...
关键词：光刻机 工件台 零相位跟踪控制 干扰观测器 高动态精密伺服 
精密运动平台线性自抗扰控制被引量：3
《中南大学学报（自然科学版）》2013年第8期3210-3215,共6页陈兴林 刘川 武志鹏 
国家科技重大专项资助项目(2009ZX02207)
基于高动态精密伺服运动平台系统模型提出一种线性自抗扰控制方法。该方法的控制器通过扩张状态观测器观测系统的动态变化,补偿系统中的未建模动态和各种扰动,为减小系统的动态跟踪误差,再运用前馈对系统的跟踪误差进行补偿。在此复合...
关键词：自抗扰 前馈补偿 高动态精密伺服 
精密运动平台宏微控制系统的设计被引量：9
《中南大学学报（自然科学版）》2013年第6期2318-2323,共6页陈兴林 刘川 刘杨 张旭 王伟峰 
国家科技重大专项项目(2009ZX02207)
基于高动态精密伺服运动双台系统模型提出一种非线性宏微控制方法。该方法采用长行程直线电机宏动跟随音圈电机高精密微动的驱动方式,并引入扩张状态观测器。系统在定位误差较大时,采用近似时间最优控制律的轻阻尼宏动台,以允许的最大...
关键词：双台 直线电机 音圈电机 状态观测器 非线性 
双工件台光刻机换台过程的轨迹规划及控制被引量：2
《哈尔滨工业大学学报》2013年第3期7-13,共7页武志鹏 陈兴林 李欣 姜晓明 刘川 
国家科技重大专项资助项目(2009ZX02207)
为减小双工件台光刻机的换台时间,提出了一种改进5阶S轨迹和时间-冲击最小控制算法.分析了双驱双桥换台策略,曝光位和预对准位的两个工件台依次执行5个点对点运动完成换台过程.在常规数值积分S轨迹设计方法中,增加了减小冲击的优化项,...
关键词：双工件台 时间-冲击最小 S轨迹 双驱双桥 
直线电机的线性自抗扰控制被引量：16
《电机与控制学报》2013年第1期71-76,共6页刘川 朱非甲 马伟 陈兴林 
国家科技重大专项资助项目(2009ZX02207)
光刻机的工件台是高动态精密伺服运动平台,它要求在系统高速运动的同时,采用长行程直线电机宏动跟随音圈电机高精密微动的驱动方式,实现系统纳米级的精确定位及跟踪。为减小微动电机的运动范围和加速度,必须提高直线电机的跟踪精度。针...
关键词：光刻机 工件台 直线电机 线性自抗扰 前馈补偿 高动态精密伺服 
光刻机工件台宏微系统的滑模变结构控制被引量：8
《光电工程》2011年第9期50-54,共5页武志鹏 陈兴林 刘川 
国家科技重大专项资助项目(2009ZX02207)
为提高光刻机工件台的跟踪精度和响应速度,采用了以直线电机和音圈电机为执行器的宏微控制结构。微动台完成高精度小行程运动,宏动台实现大行程运动同时保证音圈电机不出现位移饱和。通过滑模变结构方法设计控制器以提高控制系统的鲁棒...
关键词：宏微控制 最优积分滑模面 滑模控制 工件台 
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