国家自然科学基金(60676047)

作品数：13被引量：22H指数：3
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相关机构：华东师范大学上海集成电路研发中心上海交通大学同济大学更多>>
相关期刊：《微纳电子技术》《电子器件》《微波学报》《传感技术学报》更多>>
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静电式RF MEMS开关的可靠性被引量：6
《微纳电子技术》2010年第11期701-707,共7页张永华 曹如平 赖宗声 
国家自然科学基金资助项目(60676047)
MEMS开关是最常见的RF MEMS控制元件,是RF结构中一个关键的MEMS器件。长期可靠性是目前制约MEMS开关商业化进程中的一个主要问题。主要综述了静电式RF MEMS开关可靠性的新进展。欧姆式开关通常由于黏附或接触电阻的增大而失效,电容式开...
关键词：射频微电子机械系统(RF MEMS) 开关 可靠性 欧姆接触 介质充电 
HDP介质淀积引起的等离子充电损伤机制研究被引量：1
《电子器件》2009年第3期526-528,共3页王鹏 卜皎 刘玉伟 曹刚 石艳玲 刘春玲 李菲 孙玲玲 
国家自然科学基金资助(60676047,60606010);上海市科委资助(075007033,08706200802)
高密度等离子体化学气相淀积(HDP CVD),具有卓越的填孔能力和可靠的电学特性等诸多优点,因此它被广泛应用于超大规模集成电路制造工艺中。本文研究了金属层间介质(IMD)的HDP CVD过程对栅氧化膜的等离子充电损伤。研究表明在HDP淀积结束...
关键词：等离子体充电损伤 高密度等离子体化学气相淀积(HDP CVD) 栅氧化膜 光电导 
一种MEMS复合牺牲层工艺的研究被引量：1
《电子工艺技术》2009年第3期125-127,136,共4页王超 张永华 郭兴龙 欧阳炜霞 赖宗声 
国家自然科学基金项目(项目编号:60676047);上海应用材料研究与发展基金项目资助(项目编号:06SA11);上海重点学科建设项目资助(项目编号:B411)
以MEMS滤波器中的MEMS开关牺牲层的工艺为例,通过同时运用聚酰亚胺和正胶作为牺牲层材料的方法,避免了牺牲层单独使用聚酰亚胺做材料难于去除,或单独使用光刻胶做材料,叠层旋涂光刻胶时会出现龟裂的缺点。改善了牺牲层固化和刻蚀的效果...
关键词：射频微机械开关 牺牲层 聚酰亚胺 正胶 刻蚀 
金属线宽与间距渐变的片上螺旋电感设计规则研究被引量：2
《电子器件》2008年第4期1116-1119,共4页刘婧 石艳玲 曹福全 唐深群 陈大为 黄浩 叶红波 王勇 薛琳艳 
国家自然科学基金资助(60676047,60606010);上海市科委项目资助(075007033、04QMX1419);上海-应用材料研究与发展基金等项目资助(0522)
在分析片上螺旋电感的磁场分布及射频损耗机制的基础上,研究了电感的金属线宽及线圈间距的变化对电感性能的影响,在大量数值分析基础上提出了金属线宽与间距之和不变,而金属线宽与间距之比从外圈到内圈逐渐减小的渐变型片上螺旋电感,并...
关键词：片上螺旋电感 欧姆损耗 磁场损耗 渐变结构 品质因子 
无线通讯用硅基微小天线
《中国科学（E辑）》2008年第8期1348-1352,共5页郭兴龙 金妍 刘蕾 欧阳炜霞 赖宗声 
国家自然科学基金(60676047);上海应用材料研究与发展基金(06SA11)资助项目
采用微电子加工工艺在高电阻率硅片上设计和制备了微小天线,并对其进行了仿真和测试,模拟和测试结果比较吻合,测试得到天线为水平和垂直双向辐射,天线的增益约为2.5dBi,谐振频率约为3GHz,能够满足通讯系统中天线系统的要求,并且文章对...
关键词：微小天线 高电阻率硅片 IC工艺 
高压MOSFET直流特性宏模型的建立与参数优化
《Journal of Semiconductors》2008年第8期1561-1565,共5页许佳宜 石艳玲 任铮 胡少坚 万星拱 丁艳芳 赖宗声 
国家自然科学基金(批准号:60676047;60606010);上海市科委启明星计划(批准号:075007033;04QMX1419;07QB14018);上海-应用材料研究与发展基金(批准号:0522)资助项目~~
分析了SPICE BSIM3模型对高压双扩散漏MOSFET(HV double diffuse drain MOSFET)模拟过程中产生的较大偏差,有针对性地提出一种由nMOSFET,MESFET,二极管等常规SPICE器件组成的高压晶体管宏模型.该宏模型结构简单、使用方便,能准确描述HV...
关键词：高压双扩散漏MOS晶体管 MESFET 尺寸可缩放宏模型 SPICE模型 
MEMS集成滤波器技术被引量：4
《传感器与微系统》2008年第7期5-8,共4页张永华 欧阳炜霞 刘蕾 郭兴龙 赖宗声 王硕 
国家自然科学基金资助项目(60676047);上海市应用材料研究发展基金资助项目(06SA11)
滤波器是频率转换系统(如,调谐电路、接收器)的基本构成模块。借助于MEMS技术实现的滤波器不仅带来插入损耗、功耗、线性等性能的改善,也有利于将整个通信前端集成到单一芯片上。综述了MEMS可调滤波器的研究进展。与单一利用MEMS电容的...
关键词：微电子机械系统 开关 变容器 可调滤波器 可重构滤波器 
基于共平面波导的可调低通滤波器的设计和制作
《传感技术学报》2008年第6期1020-1024,共5页刘蕾 郭兴龙 欧阳炜霞 赖宗声 
国家自然科学基金资助(60676047);上海-应用材料研究与发展基金项目资助(06SA11)
介绍了一种使用多触点MEMS开关实现的新型可调微波MEMS低通滤波器,应用MEMS制作工艺在石英衬底上实现滤波器结构.滤波器基于慢波共平面波导周期性结构,具有尺寸小、插损低、可与单片微波集成电路工艺兼容等优点。滤波器截止频率的大小...
关键词：微机械系统(MEMS) 可调滤波器 共平面波导(CPW)结构 多触点MEMS开关 
基于MEMS技术的微波滤波器研究进展被引量：4
《微纳电子技术》2008年第4期214-218,234,共6页欧阳炜霞 张永华 王超 郭兴龙 赖宗声 
国家自然科学基金(60676047);上海-应用材料研究发展基金(06SA11)
基于MEMS技术的滤波器是现行RF结构中一个关键的MEMS器件。与传统的采用金属矩形或圆柱波导以及半导体元件制作的滤波器相比,MEMS滤波器具有低损耗、高隔离度、线性好、体积小、易于集成等优点。对利用MEMS技术制作的滤波器做了分类总结...
关键词：MEMS技术 硅体微加工 UGA技术 微波滤波器 可调滤波器 
新型RF MEMS开关的动态表征
《华东师范大学学报（自然科学版）》2007年第5期118-122,140,共6页张永华 刘蕾 丁桂甫 蔡炳初 赖宗声 
国家863计划(2003AA404140);信息产业部电科院预研(41308050116);国家自然科学基金(60676047);上海-应用材料研究发展基金(06SA11);上海交通大学优秀博士学位论文基金
一种基于UV-LIGA加工技术的双稳态电磁型RF MEMS开关,由于其结构使用了永磁体单元而使得开关在维持"开"或"关"态时不需要功耗,从而实现低功耗的电磁驱动.利用非接触式Wyko NT1 100光学轮廓仪所附带的动态测量系统(DMEMS),对开关的动态...
关键词：微电子机械系统 射频开关 双稳态 动态测量 
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