国家重点基础研究发展计划(G1999033103)

作品数：17被引量：65H指数：5
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相关期刊：《西安交通大学学报》《压电与声光》《微纳电子技术》《机械科学与技术》更多>>
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在纳米压入仪上进行悬臂梁法测量弹性模量的影响因素分析被引量：5
《稀有金属材料与工程》2005年第11期1842-1845,共4页朱强 蒋庄德 赵则祥 王海容 杨树明 
国家重点基础研究发展规划项目(G1999033103)
对在纳米压入仪上进行悬臂梁法测量弹性模量的主要影响因素进行了综合分析,主要包括加载系统悬置弹簧刚度、压头压入、梁沿截面宽度方向挠曲、梁支座附加挠曲等影响。在考虑这些因素的基础上,得到了悬臂梁的有效挠度,利用有效挠度与载...
关键词：悬臂梁法 微构件 弹性模量 MEMS 纳米压入仪 
微桥试验法评价薄膜力学性能的研究
《功能材料》2005年第11期1779-1781,1785,共4页周志敏 周勇 丁文 曹莹 陈吉安 杨春生 
国家重点基础研究发展计划(973计划)资助项目(G1999033103);国家自然科学基金资助项目(50275096;10402023);上海市纳米专项资助项目(0215nm4104;0352nm014);中国博士后基金资助项目(20040350476)
提出了弹性极限和小挠度极限的概念,对微桥在不同长度、厚度以及可能的弹性模量和残余应力范围内的变形行为进行了表征,提出基于弹性、小挠度极限来选择微桥尺度,并确定实验载荷及小挠度范围的方法,解决了微桥样品尺度以及载荷、挠度范...
关键词：微桥试验 力学性能 固态薄膜 
微构件弹性模量悬臂梁法测量的模糊建模及分析被引量：8
《西安交通大学学报》2005年第5期517-521,共5页朱强 蒋庄德 王海容 赵则祥 
国家重点基础研究发展规划资助项目(G1999033103)
在介绍悬臂梁法测量微构件弹性模量原理的基础上,分析了测量和评价过程的主要不确定因素,将模糊数学方法引入弹性模量的评价过程.在常规模型中,给予有关参数一定的变动范围,以隶属函数表示其取值分布情况,建立了基于模糊集的评价模型.其...
关键词：悬臂梁法 微构件 弹性模量 模糊模型 隶属函数 
采用概率法进行柔性铰链的设计和分析被引量：3
《机械科学与技术》2004年第11期1280-1283,共4页朱强 赵则祥 蒋庄德 
国家重点基础研究发展规划项目 (G19990 3 3 10 3 )资助
采用概率法对柔性铰链进行了设计 ,从柔性铰链转角刚度、转动中心偏移、最大应力 3个方面 ,分析了设计中值得注意的问题 ,着重讨论了蒙特卡诺模拟法在柔性铰链设计中的应用 ,建立了参数化模型 ,利用有限元仿真对柔性铰链的主要参数进行...
关键词：柔性铰链 随机变量 蒙特卡诺模拟 有限元 
硅基纳机电探针及其敏感和执行特性
《Journal of Semiconductors》2004年第7期863-868,共6页杨尊先 李昕欣 王跃林 鲍海飞 刘民 陆德仁 
国家重点基础研究发展规划 ( No.G19990 3 3 10 3 );上海市纳米专项课题 ( No.0 111NM0 77)资助项目~~
阐述了集成纳机电探针实现超高密度存储的工作原理 ,并对所设计的结构进行了力学理论计算和有限元模拟 .采用硅基微纳机械加工工艺 ,将压阻敏感器和电热纳米针尖一体集成到硅悬臂梁上 ,实现器件制作 .对加热电阻进行温度标定 ,得到了加...
关键词：悬臂梁-针尖探针 纳机电系统技术 压阻敏感 电热纳米针尖 数据存储技术 PACC 0670M 
压阻式高量程微加速度计的冲击校准被引量：7
《传感器技术》2003年第11期78-80,共3页郇勇 张泰华 杨业敏 王钻开 陆德仁 
国家自然科学基金资助项目(10102021)和(10172086);中国科学院知识创新工程重要方向项目(KJCX2-SW-L2);973项目(G1999033103)的共同资助
采用体硅微机械加工技术和扩散技术,制作压阻式高量程微加速度计,设计量程为50000gn。芯片材料为单晶硅,采用双列扁平陶瓷封装。为了测量其动态灵敏度,使用Hopkinson杆在约40000gn的加速度水平下进行了冲击校准。在电桥电压为6.33V的情...
关键词：微电子机械系统 微加速度计 Hopkinmn杆 校准 扩散技术 芯片结构 
纳米压入法测量中初始接触点判断问题研究
《微纳电子技术》2003年第7期200-203,共4页杨树明 朱强 赵则祥 蒋庄德 
国家重点基础研究发展规划 (G19990 3 3 10 3 )
对于纳米压入法 ,在加载过程中 ,压头尖与试样表面的初始接触点必须判断准确 ,初始接触点判断的精度将对测量结果产生很大的影响。本文利用西安交通大学精密工程研究所研制的微力微位移测试仪 ,对初始接触点判断的相关问题进行了深入研...
关键词：纳米压入法 电容测微仪 接触点 力学性能 力学性能参数 
微机械悬桥法研究氮化硅薄膜力学性能被引量：4
《功能材料与器件学报》2003年第2期133-138,共6页宗登刚 王钻开 陆德仁 王聪和 陈刚 
国家973重点基础研究发展规划项目(G1999033103);香港理工大学智能材料中心"MechanicalpropertiesofMicro-cantileversandMicroelectromechanicalPiezoelectricAcousticMicrophones"项目(1.11.37.A310)
利用高精密纳米压入仪检测微机械悬桥的载荷-挠度曲线,来研究低应力LPCVD氮化硅薄膜的力学特性。通过大挠度理论分析,得到考虑了衬底变形对挠度有贡献的微桥挠度解析表达式。对于在加卸载过程中表现出完全弹性的微桥,利用最小二乘法对...
关键词：氮化硅薄膜 力学性能 微机械悬桥 纳米压入仪 杨氏模量 残余应力 弯曲强度 
基片温度对Cr薄膜微结构和力学性能的影响被引量：1
《电子显微学报》2002年第5期639-640,共2页劳技军 韩增虎 胡晓萍 李戈扬 杨春生 
973计划资助项目 (No .G19990 3 3 10 3 )
关键词：基片温度 Cr薄膜 微结构 力学性能 铬薄膜 生长速率 磁控溅射 电子显微分析 
高量程加速度计的力学性能分析被引量：10
《机械强度》2002年第4期515-517,共3页王钻开 宗登刚 陆德仁 
国家 973资助项目 (G1 9990 331 0 3)资助~~
提出一种计算加速度计灵敏度和频率的改进方法。该方法在计算微结构的灵敏度和频率时考虑质量块的变形及梁的质量。得到的结果表明 ,当梁与质量块的厚度比变得较大时 ,梁的上表面的最大拉应力值不再等于最大压应力值。该方法计算得到的...
关键词：高量程加速度计 静态测试 加速度传感器 微电子机械系统 灵敏度 频率 
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