安徽省高校省级自然科学研究项目(KJ2009A091)

作品数：18被引量：26H指数：3
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相关作者：李合琴何晓雄聂竹华都智储汉奇更多>>
相关机构：合肥工业大学中国电子科技集团公司中国电子科技集团公司第43研究所中国科学技术大学更多>>
相关期刊：《合肥工业大学学报（自然科学版）》《材料热处理学报》《真空与低温》《真空》更多>>
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相关领域：一般工业技术电子电信金属学及工艺电气工程更多>>
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硅基底的CVD扩磷工艺研究
《合肥工业大学学报（自然科学版）》2014年第2期192-195,共4页杨旭 何晓雄 胡冰冰 马志敏 
安徽省自然科学基金资助项目(11040606M63);安徽省高校省级自然科学研究重点资助项目(KJ2009A091)
文章利用化学气相沉积(CVD)扩磷的方法,在单晶硅基底上进行扩磷工艺研究。采用X射线光电子能谱分析扩磷硅基底,通过原子力显微镜观察扩磷时间和温度对硅基底表面形貌的影响,并利用半导体特性测试仪研究扩磷时间和温度对硅基底I-V特性的...
关键词：硅基底 扩磷工艺 表面形貌 化学气相沉积 CHEMICAL VAPOUR depo-sition(CVD) 
TiO_2/VO_2双层薄膜的制备及光电性能研究被引量：3
《合肥工业大学学报（自然科学版）》2012年第12期1659-1661,共3页吕晓庆 李合琴 周矗 崔跃 何蓓 刘涛 
国家973计划资助项目(2008CB717802);安徽省自然科学基金资助项目(090414182;11040606M63);安徽省高校自然科学基金资助项目(KJ2009A091);合肥工业大学国家级大学生创新性实验计划资助项目(101035914)
文章采用磁控溅射法在玻璃基底上分别制备VO2单层薄膜与TiO2/VO2双层薄膜,并在Ar气中进行退火。用X射线衍射仪、扫描电镜、紫外-可见光分光光度计、LCR测试仪对薄膜样品的晶体结构、表面形貌、可见光透过率、电阻-温度特性进行测试。结...
关键词：TIO2 VO2双层薄膜 相变温度 电阻温度曲线 可见光透过率 
LPCVD制备多晶Si薄膜的工艺和性能分析被引量：1
《合肥工业大学学报（自然科学版）》2012年第11期1496-1499,1540,共5页胡佳宝 何晓雄 杨旭 
安徽省自然科学基金资助项目(11040606M63);安徽省高校省级自然科学研究重点资助项目(KJ2009A091)
文章利用低压化学气相沉积法(LPCVD),在单晶Si衬底上制备多晶Si薄膜。利用原子力显微镜观察薄膜厚度和镀膜温度对多晶Si薄膜表面形貌的影响,并利用XRD研究退火温度对多晶Si薄膜结晶性能的影响。结果表明:镀膜温度越高、薄膜越厚,薄膜的...
关键词：多晶硅薄膜 低压化学气相沉积 表面形貌 X射线衍射 
一种多绕组磁场发生器的设计被引量：2
《合肥工业大学学报（自然科学版）》2012年第7期935-937,980,共4页韩亮 何晓雄 王智广 
安徽省高校省级自然科学研究重点资助项目(KJ2009A091);合肥工业大学自制仪器设备资助项目(2009HGXJ0652)
文章依据亥姆霍兹线圈原理提出了一种多绕组结构的磁场发生器设计方案,利用Maxwell软件对其进行模拟仿真分析,并制作了一套多绕组磁场发生器。通过对比实际测量数值与模拟仿真数值,证明了该设备能产生0～2T的磁场,在中心区域磁感应强度...
关键词：磁场发生器 亥姆霍兹线圈 有限元 电磁场 多绕组 
SiO_2/TiO_2减反膜系的制备和性能测试被引量：4
《合肥工业大学学报（自然科学版）》2012年第4期496-498,551,共4页王曦雯 何晓雄 胡佳宝 
安徽省自然科学基金资助项目(11040606M63);安徽省高校省级自然科学研究重点资助项目(KJ2009A091)
由于减反射薄膜的性能受制备工艺的影响很大,文章采用SiO2和TiO2作为低、高折射率膜料,采用磁控溅射法在玻璃基片上制备了多层减反射膜系,研究了制备工艺对薄膜性能的影响,从理论和实验2个方面得出了制备的多层减反射膜系在450～625nm...
关键词：减反射薄膜 磁控溅射 制备工艺 薄膜性能 
不锈钢基Al_2O_3/SiC双层薄膜的制备和性能被引量：1
《真空》2012年第1期48-51,共4页武大伟 李合琴 刘丹 刘涛 李金龙 
国家"973"项目(2008CB717802);安徽省自然科学基金(090414182;11040606M63);安徽省高校自然科学基金(KJ2009A091)
用磁控溅射法在奥氏体不锈钢上分别制备了SiC单层膜和Al2O3/SiC双层膜,研究了溅射气压,溅射功率以及退火温度对性能的影响。对比了二者的结构、硬度以及耐腐蚀性。结果表明,Al2O3缓冲层降低了SiC薄膜与奥氏体不锈钢基底的热失配和晶格失...
关键词：Al2O3缓冲层 Al2O3/SiC薄膜 硬度 耐腐蚀性 
奥氏体不锈钢上功能梯度SiC薄膜的制备和性能被引量：4
《材料热处理学报》2012年第1期150-154,共5页李合琴 都智 储汉奇 聂竹华 
国家"973"计划项目(2008CB717802);安徽省自然科学基金(11040606M63);安徽省高校自然科学基金(KJ2009A091)
用磁控溅射法在奥氏体不锈钢基片上制备了SiC单层膜和Ti/TiN双层膜以及Ti/TiN/SiC功能梯度薄膜。采用XRD和显微硬度计对薄膜的结晶质量和硬度进行表征;用AFM和SEM对薄膜的表面和截面形貌进行了表征。结果表明:Ti/TiN双层膜在氩氮流量比...
关键词：功能梯度薄膜 SIC薄膜 奥氏体不锈钢 制备 Ti/TiN 显微硬度计 不锈钢基片 结晶质量 
氧氩比对磁控溅射ZnO薄膜结构及光致发光性能的影响被引量：2
《理化检验（物理分册）》2011年第12期763-766,共4页刘丹 李合琴 刘涛 武大伟 
国家"973"计划资助项目(2008CB717802);安徽省自然科学基金资助项目(090414182;11040606M63);安徽省高校自然科学基金资助项目(KJ2009A091)
采用射频反应磁控溅射法以不同的氧氩比在玻璃衬底上制备了ZnO薄膜,并对薄膜进行了退火处理;利用X射线衍射仪(XRD)和原子力显微镜(AFM)分别对薄膜的物相组成和表面形貌进行了分析,利用荧光分光光度计对ZnO薄膜的室温光致发光(PL)谱进行...
关键词：ZNO薄膜 射频反应磁控溅射 光致发光 
TiO_2缓冲层对掺钨氧化钒热敏智能玻璃的制备及性能影响被引量：4
《真空》2011年第6期21-24,共4页刘涛 李合琴 刘丹 武大伟 吕晓庆 宋泽润 
国家"973"项目(2008CB717802);安徽省自然科学基金(090414182;11040606M63);安徽省高校自然科学基金(KJ2009A091)
用直流磁控溅射法在玻璃基片上先沉积TiO2缓冲层,再用直流/射频反应磁控共溅射法制备掺钨VOX薄膜,然后在氮气中退火。用X射线衍射、原子力显微镜、紫外可见光分光光度计、红外光谱仪等对薄膜的结构、表面形貌、光透过率等进行测试分析...
关键词：掺钨VOx薄膜 TiO2缓冲层 直流/射频反应磁控共溅射 光透过率 
直流/射频反应磁控溅射法制备W掺杂VO_X薄膜的工艺和性能被引量：1
《真空》2011年第4期65-68,共4页聂竹华 李合琴 都智 储汉奇 宋泽润 
国家"973"项目(2008CB717802);安徽省自然科学基金(090414182);安徽省高校自然科学基金(KJ2009A091)
用直流/射频反应磁控共溅射法分别在玻璃和单晶硅片基底上制备VOX薄膜和W掺杂VOX薄膜,经退火后,对薄膜进行电阻-温度特性、XRD、表面形貌等测试。结果表明:当溅射气压为1.5 Pa、氧氩比为0.8:25 sccm、V靶采用100 W直流电源、W靶10 W射...
关键词：直流 射频磁控共溅射 VOx薄膜 W掺杂 相变温度 基底 
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