云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 国家自然科学基金(59971065)

国家自然科学基金(59971065): 作品数：11被引量：14H指数：2; 导出分析报告; 相关作者：张平谭俊蔡志海唐云李军伟更多>>; 相关机构：装甲兵工程学院中国机械工程学会北京工业大学更多>>; 相关期刊：《中国表面工程》《核技术》《材料保护》《真空》更多>>; 相关主题：立方氮化硼薄膜立方氮化硼离子束辅助沉积射频磁控溅射C-BN更多>>; 相关领域：金属学及工艺理学一般工业技术轻工技术与工程更多>>

硼缓冲注入层对氮化硼薄膜生长的影响: 《核技术》2006年第2期116-119,共4页谭俊蔡志海张平; 国家自然科学基金资助(59971065)项目; 采用射频磁控溅射法在注硼的硅和高速钢基体上沉积制备c-BN薄膜,采用红外光谱(Infrared spectra, IR)、X射线光电子能谱(X-ray photoelectron spectrum,XPS)和原子力显微镜(Atomic force microscopy,AFM) 等分析方法对沉积的薄膜进行了...; 关键词：立方氮化硼薄膜高速钢基体离子注入射频磁控溅射

立方氮化硼薄膜的形核与生长过程试验研究: 《中国表面工程》2005年第6期10-15,共6页蔡志海张平谭俊; 国家自然科学基金资助项目(59971065); 采用离子束辅助沉积法在硅片上成功制备了一定立方相含量的氮化硼薄膜,采用各种现代分析方法对沉积的薄膜进行了表征分析,包括傅立叶红外光谱(FTIR)、X射线光电子能谱(XPS)和原子力显微镜(AFM)等分析方法;并利用FTIR结果系统研究了衬底...; 关键词：c-BN薄膜离子束辅助沉积形核生长

The Adhesion Improvement of Cubic Boron Nitride Film on High Speed Steel Substrate Implanted by Boron Element: 《Journal of Shanghai Jiaotong university(Science)》2005年第4期387-391,396,共6页CAI Zhi-hai（蔡志海） ZHANG Ping（张平） TAN Jun（谭俊）; National Natural Science Foundation ofChina(No.59971065); Cubic boron nitride(c-BN) films were deposited on W6Mo5Cr4V2 high speed steel(HSS) substrate implanted with boron ion by RF-magnetron sputtering. The films were analyzed by the bending beam method, scratch test, XPS a...; 关键词：cubic boron nitride film high speed steel（HSS） ion implantation internal stress ADHESION

高质量立方氮化硼薄膜的射频磁控溅射制备及其性能表征被引量：1: 《材料保护》2005年第1期9-12,共4页蔡志海杜玉萍谭俊张平赵军军黄安平许仕龙严辉; 国家自然科学基金资助项目 (5 99710 6 5 ); 运用射频磁控溅射法在硅片上制备了立方氮化硼薄膜 ,并对射频功率、气体分压比及衬底偏压等参数对膜中立方氮化硼 (c -BN)含量的影响进行了研究。采用傅立叶红外光谱 (FTIR)、拉曼光谱、X射线光电子能谱 (XPS)和原子力显微镜 (AFM )对c ...; 关键词：立方氮化硼薄膜射频磁控溅射拉曼光谱分析

高速钢基体离子注氮对c-BN薄膜制备的影响研究: 《真空》2004年第5期19-23,共5页谭俊蔡志海张平唐云; 国家自然科学基金资助项目(59971065); 采用射频磁控溅射法在离子注氮的高速钢基体上沉积制备c-BN薄膜,主要研究离子注氮层对c-BN薄膜相结构和内应力的影响;采用各种现代分析方法对沉积的薄膜进行了表征分析,包括傅立叶红外光谱(FTIR)、X射线光电子能谱(XPS)和原子力显微镜(A...; 关键词：立方氮化硼薄膜高速钢基体离子注人射频磁控溅射

Influence of nitrogen implantation into HSS substrate on internal stress and adhesion strength of c-BN films: 《中国有色金属学会会刊：英文版》2004年第z1期286-290,共5页ZHANG Ping CAI Zhi-hai TAN Jun XIONG Wan-quan; Project (59971065) supported by the National Natural Science Foundation of China; Cubic boron nitride(c-BN) films were deposited on HSS substrate implanted with nitrogen ion by RF-magnetron sputtering. The films were analyzed by bending beam method, scratch test, XRD and AFM. The results show that ...; 关键词：CUBIC BORON NITRIDE film HSS ion IMPLANTATION internal stress ADHESION

离子束辅助沉积立方氮化硼的试验研究被引量：2: 《核技术》2003年第5期349-352,共4页谭俊张平蔡志海王晓晴唐云; 国家自然科学基金(59971065)资助; 运用离子束辅助沉积(IBAD)法在硅片上制备了立方氮化硼(c-BN)薄膜, 研究了辅助能量、辅助束流及辅助束中氮气含量等参数对膜中c-BN含量的影响。用红外光谱(FTIR)及X射线光电子能谱(XPS)分析技术对得到的c-BN膜进行了分析。结果表明: 合...; 关键词：立方氮化硼薄膜离子束辅助沉积 X射线光电子能谱分析红外光谱分析

辅助镀膜离子源及立方氮化硼薄膜的制备研究: 《装甲兵工程学院学报》2003年第1期18-21,共4页蔡志海谭俊唐云张平; 国家自然科学基金资助项目(59971065); 为选出合适的辅助离子源进行沉积制备c-BN薄膜,通过对高能和低能辅助镀膜离子源的重要性能进行比较研究之后,在单晶Si基体进行应用制备立方氮化硼薄膜,用红外光谱(FTIR)及光电子能谱(XPS)分析技术,对不同辅助离子源制备沉积的薄膜,进行...; 关键词：离子源离子束辅助沉积立方氮化硼薄膜

硼膜多步骤注N的镀层结构研究: 《中国表面工程》2002年第4期25-27,共3页唐云张平谭俊蔡志海; 国家自然科学基金资助项目(59971065); 用离子束溅射硼靶,在W6Mo5Cr4V2钢上沉积一层硼膜,再用反冲注入法注氮以形成氮化硼(BN),注入时采用逐次递减能量(即50 keV,30 keV,10 keV)的多步骤注入。用XPS分析膜的成分深度分布及元素的化学价态;用傅立叶红外(FTIR)反射谱分析膜的结...; 关键词：硼膜镀层离子注入氮化硼结构

立方氮化硼薄膜的制备与表征被引量：4: 《中国表面工程》2002年第2期16-20,共5页谭俊蔡志海张平唐云; 国家自然科学基金资助项目(59971065); 在对国内外立方氮化硼薄膜的制备工艺及其表征方法进行了综述的基础上,分析了立方氮化硼膜制备中存在的问题,即薄膜的内应力高,结合强度低,沉积温度高,沉积速率低,以及cBN中SP3键含量不稳定。并提出了今后的研究方向:①cBN膜成核生长机...; 关键词：立方氮化硼薄膜制备工艺表征 PVD CVD

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