国家重点基础研究发展计划(61363)

作品数：13被引量：17H指数：2
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相关机构：电子科技大学四川师范大学四川大学南京电子器件研究所更多>>
相关期刊：《电子元件与材料》《压电与声光》《物理学报》《真空科学与技术学报》更多>>
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Al_2O_3/AlGaN/GaN MOSH结构的制备和性能研究被引量：1
《压电与声光》2011年第4期634-636,646,共4页王水力 朱俊 郝兰众 张鹰 
国家重点基础研究发展计划("九七三"计划)基金资助项目(61363)
采用激光脉冲沉积法(PLD)在AlGaN/GaN半导体异质结构衬底上沉积Al2O3栅介质层,并对该异质结构的电学性能进行研究。结果表明,Al2O3栅介质层改善了异质结构的界面质量,增强了器件结构的抗击穿电场强度。研究了沉积氧分压对异质结构性能...
关键词：ALGAN/GAN 激光脉冲沉积法(PLD) AL2O3 C-V模拟 二维电子气 
MgO缓冲层对PZT/AlGaN/GaN异质结构电学性能的影响被引量：2
《功能材料》2011年第6期992-995,共4页张菲 朱俊 罗文博 郝兰众 李言荣 
国家重点基础研究发展计划(973计划)资助项目(61363)
采用脉冲激光沉积(PLD)技术,以MgO作为缓冲层,在AlGaN/GaN半导体异质结构上沉积了Pb(Zr0.52T0.48)O3(PZT)铁电薄膜,从而形成金属-铁电-介质-半导体结构(MFIS)。XRD扫描结果表明,通过MgO缓冲层对界面结构的优化,实现了PZT薄膜沿(111)面...
关键词：脉冲激光沉积 PZT MGO C-V I-V 
MgO缓冲层上钡铁氧体(BaFe_(12)O_(19))薄膜的制备与性能研究被引量：1
《功能材料》2010年第7期1130-1133,共4页丁关凤 朱俊 王水力 张菲 罗文博 
国家重点基础研究发展计划(973计划)资助项目(61363);国家自然科学基金资助项目(50772019)
采用脉冲激光沉积(PLD)技术在(0006)取向的蓝宝石基片上,通过MgO缓冲层诱导生长了BaFe12O19(BaM)薄膜,研究了沉积温度对BaM薄膜的晶体结构和磁性能的影响规律。X射线衍射(XRD)分析结果表明,在激光脉冲频率6Hz、激光能量180mJ、MgO缓冲...
关键词：脉冲激光沉积(PLD) BaM薄膜 MgO缓冲层 面外磁性能 
以TiO_2为缓冲层在GaN上外延生长PZT铁电薄膜被引量：2
《真空科学与技术学报》2010年第5期492-495,共4页李理 朱俊 罗文博 
国家重点基础研究发展计划"973"(61363);国家自然科学基金项目(50772019)
采用脉冲激光沉积技术在(0001)取向的GaN基片上以TiO2为缓冲层外延生长了PZT(111)单晶薄膜。X射线衍射分析表明PZT(111)衍射峰的摇摆曲线半高宽为0.4°,说明薄膜结晶性能良好。PZT薄膜疲劳特性测试结果表明,在经过107次翻转后PZT薄膜的...
关键词：脉冲激光沉积 PZT TIO2 缓冲层 GAN 
脉冲激光沉积法在GaN基片上制备c轴取向LiNbO_3薄膜被引量：1
《真空科学与技术学报》2010年第5期496-499,共4页廖秀尉 朱俊 罗文博 郝兰众 
国家重点基础研究发展计划"973"(61363);国家自然科学基金资助项目(50772019)
采用LiNbO3单晶靶材，以激光脉冲沉积方法在六方GaN（0001）基片上沉积制备c轴取向的LiNb03薄膜。利用x射线衍射仪（XRD）、扫描电子显微镜（SEM）和原子力显微镜（ARM）研究了沉积温度和氧气压强对生长的薄膜的相组成、外延关系、表面...
关键词：LiNbO3薄膜 C轴取向 脉冲激光沉积 XRD 
脉冲激光沉积法在蓝宝石衬底上制备a轴取向YSZ薄膜被引量：1
《真空科学与技术学报》2010年第2期144-148,共5页经晶 朱俊 罗文博 张鹰 李言荣 
国家重大基础研究发展计划"973"(61363);国家自科学基金(No.50772019)资助项目
采用脉冲激光沉积方法,通过金红石相TiO2(200)纳米诱导层在蓝宝石衬底上生长了(200)取向的萤石相钇稳定氧化锆(YSZ)薄膜。通过反射式高能电子衍射对薄膜生长过程进行原位监测;用XRD分析进行后位的薄膜结构表征;使用原子力显微镜来观测...
关键词：YSZ薄膜 外延生长 脉冲激光沉积 反射式高能电子衍射 
介电/半导体功能集成薄膜的制备和特性调控
《功能材料》2009年第8期1240-1244,共5页何子均 肖定全 朱建国 
国家自然科学基金面上资助项目(50572066);重大国际合作资助项目(50410179);国家基础研究计划资助项目(61363);教育部博士点基金资助项目(20080610020)
介电/半导体功能集成薄膜,主要是指将具有电、磁、声、光、热等功能特性的介电功能材料(主要是氧化物类介电功能材料)与硅、砷化镓或氮化镓等典型半导体类功能材料,以单层薄膜或多层薄膜的形式生长(甚至外延生长)在一起而形成的人工新材...
关键词：介电/半导体薄膜 功能集成薄膜与器件 集成铁电薄膜 极性氧化物 GAN 
脉冲激光沉积制备NiO(111)外延薄膜及其结构研究被引量：2
《电子元件与材料》2009年第7期36-38,共3页贝力 朱俊 赵丹 郑润华 李言荣 
"973"计划资助项目(No.61363)
采用脉冲激光沉积法(PLD)在具有六方纤锌矿结构的蓝宝石衬底上制备了NiO外延薄膜,研究了沉积温度、氧分压对薄膜结构和形貌的影响。在650℃、20Pa氧分压的条件下制得了高结晶质量的单晶NiO薄膜。高能电子衍射分析发现,该NiO薄膜沿Al2O3...
关键词：NiO薄膜 激光脉冲沉积法 外延匹配 蓝宝石衬底 
脉冲激光沉积法制备Pt薄膜的研究
《功能材料》2009年第6期922-925,共4页李理 朱俊 李扬权 经晶 周文 罗文博 李言荣 
国家重点基础研究发展计划(973计划)资助项目(61363);国家自然科学基金资助项目(50772019)
采用脉冲激光沉积技术在(0001)取向的蓝宝石基片上外延生长了Pt单晶薄膜,研究了沉积温度和激光能量对Pt薄膜的晶体结构,表面形貌及电学性能的影响规律。X射线衍射(XRD)分析结果表明,在沉积温度650℃、激光脉冲频率1Hz和激光能量280mJ的...
关键词：脉冲激光沉积(PLD) Pt薄膜 电学性能 表面形貌 蓝宝石衬底 
AlN在α-Al_2O_3(0001)表面吸附过程的理论研究被引量：1
《真空科学与技术学报》2009年第5期484-488,共5页余毅 冯玉芳 黄平 杨春 
国家国防973基金(No.61363);四川省青年科技基金(No.07ZQ026-021)资助课题
采用基于密度泛函理论的平面波超软赝势法,对α-Al2O3(0001)表面吸附AlN进行了动力学模拟计算,研究了AlN分子在a-Al2O3(0001)表面吸附成键过程、吸附能量与成键方位。计算表明吸附过程经历了物理吸附、化学吸附与稳定态形成的过程,其化...
关键词：a-Al2O3(0001)表面 ALN薄膜 密度泛函理论 吸附 
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