国家教育部博士点基金(20091301110002)

作品数:21被引量:35H指数:4
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紫光对外延掺锰铁酸铋薄膜物性的影响被引量:1
《人工晶体学报》2014年第4期898-902,共5页彭增伟 姜庆华 朱慧娟 王晋峰 刘保亭 
中央高校基本科研业务费专项资金(13MS106);国家自然科学基金(11074063;11374086);高等学校博士点基金(20091301110002);河北省应用基础研究计划重点项目(10963525D)
采用溶胶-凝胶的方法在(001)取向的SrRuO3/SrTiO3(SRO/STO)异质结上制备了外延BiFe0.95Mn0.05O3(BFMO)薄膜,并以氧化铟锡(ITO)作为上电极构架了ITO/BFMO/SRO型电容器。研究表明,BFMO薄膜为良好的外延生长,当波长为404 nm的紫光入射到电...
关键词:溶胶-凝胶 外延BiFe0 95Mn0 05O3薄膜 漏电流密度 
硅基外延SrRuO_3/PbZr_(0.5)Ti_(0.5)O_3/SrRuO_3电容器的结构和性能研究
《人工晶体学报》2013年第3期428-431,451,共5页朱慧娟 刘保亭 代秀红 郭建新 周阳 
国家自然科学基金(11074063);河北省应用基础研究计划重点项目(10963525D);高等学校博士点基金(20091301110002);河北省自然科学基金(E2011201092)
传统的方法很难直接在硅衬底上制备外延的氧化物铁电电容器,本实验采用生长在硅衬底上的外延SrTiO3为模板,直接生长了SrRuO3/PbZr0.5Ti0.5O3/SrRuO3电容器异质结,并对其结构及性能进行了研究。X射线衍射表明所制备的SrRuO3/PbZr0.5Ti0.5...
关键词:硅衬底 外延生长 SrRu03 PbZro5Ti0503 SrRu03异质结 
保持温度对偏轴磁控溅射法制备BiFeO_3薄膜结构和性能的影响
《人工晶体学报》2013年第2期246-250,共5页郝彦磊 刘保亭 彭增伟 贾冬梅 朱慧娟 张宪贵 
国家自然科学基金(11074063);河北省应用基础研究计划重点项目(10963525D);高等学校博士点基金(20091301110002)
本文采用偏轴磁控溅射方法在Pt/TiO2/SiO2/Si(111)基片上制备了多晶BiFeO3(BFO)薄膜,并构架了Pt/BFO/Pt异质结电容器。利用X射线衍射(XRD)、铁电测试仪等手段研究了保持温度对BFO薄膜结构和性能的影响。XRD图谱表明制备的BFO薄膜均为多...
关键词:偏轴磁控溅射 保持温度 XRD BIFEO3 
含Ni-Nb阻挡层的硅基Pb(Zr_(0.4),Ti_(0.6))O_3电容器的制备及铁电性能研究被引量:1
《人工晶体学报》2013年第2期282-285,共4页赵庆勋 齐晨光 贾冬梅 付跃举 郭建新 刘保亭 
国家自然科学基金(11074063);河北省应用基础研究计划重点项目(10963525D);高等学校博士点基金(20091301110002);河北省自然科学基金(E2011201092)
采用Ni-Nb薄膜作为导电阻挡层,以La0.5Sr0.5CoO3(LSCO)为底电极,构建了LSCO/Pb(Zr0.4,Ti0.6)O3(PZT)/LSCO异质结电容器。使用X射线衍射仪和铁电测试仪对其进行结构表征和性能测试。实验发现:Ni-Nb薄膜为非晶结构,PZT薄膜结晶状况良好。L...
关键词:Ni-Nb阻挡层 Pb(Zr0.4 Ti0.6)O3 La0.5Sr0.5CoO3 
(La_(0.5)Sr_(0.5))CoO_3为电极的Pb(Zr_(0.4)Ti_(0.6))O_3和Pb(Zr_(0.2)Ti_(0.8))O_3铁电电容器结构及电学性能被引量:1
《人工晶体学报》2013年第1期129-133,共5页贾冬梅 刘保亭 彭增伟 郝彦磊 朱慧娟 张宪贵 
国家自然科学基金(11074063);河北省应用基础研究计划重点项目(10963525D);高等学校博士点基金(20091301110002)
分别采用磁控溅射法和溶胶-凝胶法(Sol-gel)制备了(La0.5Sr0.5)CoO3(LSCO)和Pb(Zr1-xTix)O3(PZT)薄膜,在Pt(111)/Ti/SiO2/Si基片上构架了LSCO/Pb(Zr0.4Ti0.6)O3(PZT(40/60))/LSCO和LSCO/Pb(Zr0.2Ti0.8)O3(PZT(20/80))/LSCO铁电电容器,...
关键词:Pb(Zr1-xTix)O3 铁电电容器 溶胶-凝胶 矫顽场 脉宽依赖性 疲劳特性 
不同电极对外延BiFeO_3薄膜铁电性能的影响被引量:4
《人工晶体学报》2012年第6期1561-1565,共5页马继奎 赵庆勋 彭增伟 陈明敬 史金超 刘保亭 
国家自然科学基金(60876055;11074063);高等学校博士点基金(20091301110002);河北省自然科学基金(E2009000207;E2008000620;08B010)
采用磁控溅射的方法在SrRuO3/SrTiO3(001)衬底上外延生长BiFeO3薄膜,研究以不同金属或氧化物做顶电极时的铁电、铁磁性质和漏电流及其导电机制。X射线衍射图谱和Φ扫描图结果显示BiFeO3薄膜沿c轴外延生长,以Pt、Al做顶电极的薄膜剩余极...
关键词:BIFEO3 磁控溅射 铁电性 外延生长 
用于Cu互连的Ta/Ti-Al集成薄膜的结构和阻挡性能被引量:2
《功能材料》2012年第4期462-464,共3页任国强 邢金柱 李晓红 郭建新 代秀红 杨保柱 赵庆勋 
国家自然科学基金资助项目(60876055);河北省自然科学基金资助项目(E2009000207;E2011201092);河北省应用基础研究计划重点资助项目(10963525D);高等学校博士点基金资助项目(20091301110002)
应用射频磁控溅射法在(001)Si衬底上制备了Cu(120nm)/Ta(5nm)/Ti-Al(5nm)/Si异质结,借助原子力显微镜(AFM)、X射线衍射(XRD)和四探针测试仪(FPP)等方法研究了Ta(5nm)/Ti-Al(5nm)集成薄膜用作Cu和Si之间阻挡层的结构和性能。研究发现,Cu/...
关键词:CU互连 阻挡层 Ta/Ti-Al 射频磁控溅射 
以Ni-Al为底电极的P(VDF-TrFE)铁电电容器的结构与性能
《功能材料与器件学报》2012年第1期82-86,共5页闫会芳 赵庆勋 付跃举 刘卓佳 张婷 郭建新 任国强 刘保亭 
国家自然科学基金(60876055;11074063);河北省自然科学基金项目(E2009000207;E2011201092);河北省应用基础研究计划重点项目(10963525D);高等学校博士点基金(20091301110002)
应用磁控溅射法制备Ni-Al和Pt薄膜,溶胶-凝胶法制备P(VDF-TrFE)铁电共聚物薄膜,在SiO2/Si(001)衬底上首次构架了Pt/P(VDF-TrFE)/Ni-Al异质结电容器。X射线衍射(XRD)结果表明:Ni-Al薄膜为非晶结构,P(VDF-TrFE)薄膜具有较好的结晶质量。...
关键词:P(VDF-TrFE) 铁电薄膜 非晶Ni-Al 溶胶-凝胶 
Pb过量对以Ti-Al为阻挡层的硅基铁电电容器极化翻转性能的影响被引量:1
《人工晶体学报》2011年第6期1552-1556,共5页刘卓佳 刘保亭 彭增伟 代秀红 闫会芳 付跃举 赵庆勋 
国家自然科学基金(60876055;11074063)资助项目;河北省应用基础研究计划重点项目(10963525D);高等学校博士点基金(20091301110002)
以射频磁控溅射法生长的La0.5Sr0.5CoO3(LSCO)为电极,采用溶胶-凝胶法在以Ti-Al为导电阻挡层的Si基片上生长了用不同Pb过量前驱体溶液(溶胶)制备的LSCO/Pb(Zr0.4Ti0.6)O3(PZT)/LSCO电容器,以此构造了Pt/LSCO/PZT/LSCO/Ti-Al/Si异质结。P...
关键词:Pb过量 铁电电容器 PZT 极化翻转 溶胶-凝胶 
含铜铁电电容器SrRuO_3/Pb(Zr_(0.4)Ti_(0.6))O_3/SrRuO_3/Ni-Al/Cu/Ni-Al/SiO_2/Si异质结的研究被引量:1
《物理学报》2011年第11期650-658,共9页陈剑辉 刘保亭 赵庆勋 崔永亮 赵冬月 郭哲 
国家自然科学基金(批准号:60876055;11074063);河北省自然科学基金(批准号:E2008000620;E2009000207);河北省应用基础研究计划重点基础研究(批准号:10963525D);高等学校博士点基金(批准号:20091301110002)资助的课题~~
应用磁控溅射法以Ni-Al同时作为Cu与SiO2/Si,Cu与SRO薄膜之间的阻挡层材料,将Cu与SiO2/Si衬底和氧化物薄膜电极隔离,避免它们在高温氧气氛中发生化学反应和互扩散,实现了Cu薄膜与氧化物铁电电容器的集成.采用X射线衍射仪(XRD)和原子力...
关键词:Cu PZT 铁电电容器 NI-AL 
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