国家自然科学基金(50275127)

作品数：8被引量：25H指数：3
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扇形梳齿驱动式微机械隧道陀螺仪的初步研究被引量：1
《厦门大学学报（自然科学版）》2006年第3期355-359,共5页王凌云 刘益芳 孙道恒 
国家自然科学基金(50275127);福建省自然科学基金(A0110003);福建省科技计划重点项目(2002H022)资助
设计了一种扇形梳齿驱动式隧道陀螺仪,意在取代现有的平板驱动方式,以此来提高陀螺仪的灵敏度.从扇形梳齿驱动的工作原理出发,推导了该型陀螺仪的运动方程,分析了结构参数与其灵敏度的内在联系.在此基础上,对陀螺仪设计中与陀螺仪性能...
关键词：微机械陀螺仪 梳齿驱动电极 隧道传感器 
基于隧道效应振动梁式陀螺仪自检电极设计
《传感器与微系统》2006年第5期61-63,66,共4页王凌云 陈义华 孙道恒 
国家自然科学基金资助项目(50275127);福建省自然科学基金资助项目(A0110003);福建省科技计划重点资助项目(2002H022)
在微机电系统内建立自检系统是提高系统运行可靠性、安全性的重要手段之一。陀螺仪中的Coriolis力和其他惯性力存在一定的差别,即使在恒定的角速度输入下,Coriolis力也是一种动态变化的力。通过一对平板电极,其中,一个平板电极的边缘按...
关键词：遂道效应 可靠性 自检 陀螺仪 平板电极 
利用微电铸制作镍悬臂梁被引量：1
《厦门大学学报（自然科学版）》2005年第5期658-660,共3页刘益芳 崔宏巍 吕文龙 孙道恒 杨防祖 
国家自然科学基金(50275127)资助
为了设计出导电的Ni微变截面悬臂梁,采用了基于成熟的电镀技术的微电铸工艺.在分析悬臂梁的变截面结构和搭建微电铸试验平台之后,设计了整个工艺流程,利用近紫外线厚胶光刻、Ni微电铸、去除牺牲层等工艺实现了悬臂梁的制作.工艺实验结...
关键词：悬臂梁 微电铸 铸层 
小波变换在MEMS降阶建模中的研究被引量：1
《厦门大学学报（自然科学版）》2005年第B06期298-301,共4页张玉德 孙道恒 
国家自然科学基金项目(50275127)资助
获得系统的宏模型是MEMS系统级建模与仿真的关键.提出将小波变换的方法应用于MEMS降阶建模.介绍了小波变换的理论基础,提出了运用小波变换的方法对MEMS进行多尺度降阶建模的基本思想和算法的基本原理.针对最常见的静力学问题,建立了有...
关键词：MEMS 小波变换 降阶模型 建模与仿真 计算复杂度 理论基础 方法应用 力学问题 基本原理 基本思想 计算时间 系统级 宏模型 解方程 有限元 多尺度 大幅度 大系统 阶次 提取 算法 
变截面梁的微电镀研究
《中国机械工程》2005年第z1期404-406,共3页刘益芳 吕文龙 孙道恒 
国家自然科学基金资助项目(50275127);福建省自然科学基金资助项目(A0110003);福建省科技计划资助项目(2002H022)
介绍了微电镀原理和设计了微电镀平台,设计了悬臂梁的微电镀工艺流程.为了提高镍微电镀镀层的均匀性和降低镀层的内应力,以及如何解决表面积差异悬殊的镀层厚度的一致性问题,研究了不同电镀参数下的悬臂梁的电镀效果.实验结果表明,脉冲...
关键词：悬臂梁 变截面 微电镀 一致性 
小波分析在平面四杆机构轨迹综合中的应用研究被引量：11
《机械工程学报》2004年第8期34-39,共6页王成志 纪跃波 孙道恒 
国家自然科学基金资助项目(50275127)。
将小波多分辨分析理论应用于提取连杆轨迹特征参数并以此构造连杆曲线图谱库,建立了相应的轨迹评价和轨迹复演模型。所提取的特征参数保留了相对斜率角曲线的仅与所取基点有关,与轨迹曲线方位及缩放比例无关的特性。本法减少了图谱数据...
关键词：平面四杆机构 连杆曲线 机构综合 小波分析 图谱数据库 
基于Krylov子空间法的MEMS降阶建模与仿真被引量：5
《机械工程学报》2004年第5期58-61,共4页孙道恒 马海阳 李文望 
国家自然科学基金(50275127)
获得系统的宏模型是MEMS系统级建模与仿真的关键。将Krylov子空间理论与方法应用于MEMS降阶建模,介绍了Krylov子空间的理论基础,针对MEMS中常见的静电—结构耦合系统,建立了有限元动力学方程,运用修正Arnoldi算法得到降阶模型。算例表明...
关键词：MEMS 子空间 宏模型 耦合 有限元 
光开关中静电驱动的微悬臂梁耦合分析被引量：6
《光学仪器》2003年第3期17-20,共4页马海阳 王艳华 王明亮 孙道恒 
国家自然科学基金项目 ( 5 0 2 75 12 7)
采用顺序耦合法 ,对光开关中的、静电驱动的悬臂梁进行分析 ,得出了悬臂梁的动态响应特性 ,并指出了空气阻尼对器件性能的影响 。
关键词：悬臂梁 微机械传感器 静电驱动 光开关 顺序耦合 动态响应 空气阻尼 
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