微电铸

作品数：74被引量：212H指数：8
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相关机构：大连理工大学上海交通大学中国科学院合肥工业大学更多>>
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MEMS微结构电沉积层均匀性的有限元模拟被引量：9
《微细加工技术》2008年第5期45-49,共5页汤俊 汪红 刘瑞 毛胜平 李雪萍 王志民 丁桂甫 
国家高技术研究发展计划(863)资助项目(2006AA4Z326;2006AA04Z308)
利用有限元软件ANSYS对MEMS微电铸Ni工艺进行电场模拟,研究了光刻胶厚度、线宽以及片内辅助电极参数对微结构表面电场分布均匀性的影响。根据模拟结果,利用微电铸试验研究了微结构单元尺寸以及辅助极距离和大小对于微结构层厚度均匀性...
关键词：微电铸 厚度均匀性 MEMS 有限元 
一种封装后释放的准LIGA加工工艺研究
《微细加工技术》2008年第3期40-45,共6页陆松涛 俞正寅 庞洁 沈时强 杨恒 
国家自然科学基金资助项目(60406009)
研究了一种准LIGA加工工艺。该工艺利用无氰电铸制作金结构层,采用PECVD制作的无定形硅作为牺牲层,利用二氟化氙(XeF2)干法腐蚀对材料选择性好的特点,采用先部分封装然后腐蚀牺牲层释放结构的工艺流程,避免了封装工艺对可动敏感结构造...
关键词：微机电系统 准LIGA 微电铸 
微电铸技术及其工艺优化进展研究被引量：18
《微细加工技术》2006年第6期1-5,27,共6页李冠男 黄成军 罗磊 郭旻 于中尧 于军 
国家863计划基金资助项目(2002AA2Z2011)
随着微机电系统(MEMS)和微影微电铸微模铸(LIGA)两种技术的发展,微电铸工艺正逐渐展现着其独特的魅力和发展潜力。然而,现有工艺中存在的缺陷也严重阻碍了其进一步发展。因此,对微电铸工艺进行深入研究,突破其工艺瓶颈,将对微加工工艺...
关键词：微电铸工艺 微影微电铸微模铸 微机电系统 选择性射流电铸 
基于UV-LIGA技术的微注塑金属模具的工艺研究被引量：5
《微细加工技术》2006年第5期51-54,共4页杜立群 秦江 刘海军 刘冲 于同敏 
国家高科技研究发展计划(863项目)资助(2002AA4044602004AA404260)
介绍了一种新颖的微注塑模具的制作方法———无背板生长法,它是利用负性厚SU-8光刻胶,通过低成本的UV-LIGA表面微加工工艺,直接在金属基板上电铸镍图形而制作完成的。讨论了SU-8胶与基底的结合特性以及几种去除SU-8胶的有效方法,所制...
关键词：微电铸 UV-LIGA工艺 SU-8光刻胶 微注塑模具 
平面微电机定子线圈制作工艺研究被引量：5
《微细加工技术》2006年第3期27-31,共5页杨杰伟 吴一辉 王淑荣 张平 
国家自然科学基金资助项目(60574089);中国科学院创新项目资助
为了在平面微电机有限大尺寸的定子上制作高深宽比结构的绕组线圈,对高深宽比微结构的制作工艺进行了研究,综合比较各方面因素,从中找出了成品率高、可重复性好、工艺步骤尽量简单的平面线圈制作工艺,即在硅沟槽里通过微电铸得到高深宽...
关键词：微电机 高深宽比 平面线圈 深刻蚀 微电铸 
DEM技术研究被引量：19
《微细加工技术》1998年第4期1-6,共6页陈迪 张大成 丁桂甫 赵小林 章吉良 杨春生 蔡炳初 武国英 
首次提出用ＤＥＭ（Ｄｅｅｐｅｔｃｈｉｎｇ，Ｅｌｅｃｔｒｏｆｏｒｍｉｎｇ，Ｍｉｃｒｏｒｅｐｌｉｃａｔｉｏｎ）技术进行非硅材料三维微机械加工，该技术吸收了体硅微加工技术和ＬＩＧＡ技术的优点，解决了ＬＩＧＡ技术的光源问题。...
关键词：DEM技术 深层刻蚀 微电铸 微复制 LIGA技术 
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