埋层

作品数:118被引量:155H指数:5
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具有n^(+)埋层和L型场板的Si/SiC异质结沟槽LDMOS器件
《半导体技术》2025年第2期134-140,共7页康怡 刘东 卢山 鲁啸龙 胡夏融 
四川省科技计划项目(2021YFQ0051)。
Si/4H-SiC异质结构能够同时结合Si材料的成熟工艺和SiC材料的宽禁带特性,在功率器件设计中具有巨大潜力。提出了一种具有n+埋层和L型场板的Si/SiC异质结沟槽横向双扩散金属氧化物半导体(LDMOS)器件。位于Si/SiC异质结界面SiC侧的重掺杂n...
关键词:横向双扩散金属氧化物半导体(LDMOS) Si/4H-SiC异质结 n^(+)埋层 L型场板 功率品质因数 
新型基区结构高反压功率晶体管的优化
《半导体技术》2019年第3期177-184,共8页杨宝平 江昆 黄锋 
国家自然科学基金资助项目(31660482);湖北省教育厅科学技术研究项目(B2018187)
依据电参数指标要求,针对高压-高增益硅功率晶体管基区结构和终端结构进行优化研究。提出了一种可用于改善集电极-发射极击穿电压(V_((BR)CEO))和电流放大倍数(β)矛盾关系的带埋层的新型基区结构,并针对埋层基区结构对高压-高增益硅功...
关键词:高增益 功率晶体管 埋层基区 终端保护 击穿电压 
600V高性能新型槽栅内透明IGBT的仿真被引量:1
《半导体技术》2014年第12期908-916,共9页苏洪源 胡冬青 刘钺杨 贾云鹏 李蕊 匡勇 屈静 
国家自然科学基金资助项目(61176071);教育部博士点学科专项科研基金资助项目(20111103120016);国家电网公司科技项目(SGRI-WD-71-13-006)
载流子存储层(CSL)可以改善IGBT导通态载流子分布,降低通态电压,但影响器件阻断能力。为了平衡载流子存储层对器件阻断能力的影响,在器件n-漂移区中CSL层处近哑元胞侧设计了p型埋层(p BL),利用电荷平衡的理念改善电场分布,并借助ISE-TAC...
关键词:p型埋层载流子存储层内透明集电极绝缘栅双极晶体管(CSL-pBL-ITC-IGBT) 哑元胞 载流子存储层 p型埋层 槽栅 
锗硅HBT BiCMOS工艺中的p-i-n开关二极管设计
《半导体技术》2012年第4期271-275,共5页刘冬华 胡君 钱文生 陈帆 陈雄斌 段文婷 
国家科技02重大专项资助项目(2009ZX02303)
介绍了一种集成在BiCMOS工艺的p-i-n开关二极管的器件。它由在STI下面的n型赝埋层作为p-i-n的n区,锗硅npn异质结双极型晶体管的重掺杂外基区作为p-i-n的p区。同时新开发了穿过场氧的深接触孔工艺用于赝埋层的直接引出,并采用p-i-n注入...
关键词:P-I-N二极管 锗硅异质结双极型晶体管 双极互补金属氧化物半导体 赝埋层 工艺和器件仿真 
用阶梯状掺杂埋层对超浅结进行C-V剖面分析(英文)
《半导体技术》2010年第1期39-42,89,共5页徐翠芹 Popadic Milos Nanver L.K. 茹国平 
Shanghai-Applied Materials Research Development Fund(07SA06)
研究了应用双边C-V法测量超浅结(如p+-n结)的掺杂分布。推导了在已知p+-n结的电容-电压(C-VR)关系、n区掺杂、以及热平衡下n区耗尽层宽度(xn0)的情况下计算p区掺杂浓度分布的公式。xn0是计算p区掺杂分布所需的一个关键参数,通过将n区掺...
关键词:双边结 电容-电压 超浅结 
用于制造微波多芯片组件的LTCC技术被引量:9
《半导体技术》2008年第5期378-380,共3页边国辉 方一波 吴小帅 
低温共烧陶瓷(LTCC)是实现微波多芯片组件(MMCM)的一种理想的组装技术,具有高集成密度、多种电路功能和高可靠性等技术优势。介绍了国内外应用于微波组件的LTCC技术发展现状,概述了LTCC的制造工艺流程,分析了其关键工艺难点,对LTCC基板...
关键词:低温共烧陶瓷 通孔 埋层电阻 微波互联 
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