云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- SU-8

SU-8: 作品数：107被引量：206H指数：7; 导出分析报告; 相关领域：电子电信更多>>; 相关作者：张斌珍张大明陈长鸣丁桂甫赵建龙更多>>; 相关机构：上海交通大学中国科学院大连理工大学吉林大学更多>>; 相关期刊：更多>>; 相关基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划国家高技术研究发展计划吉林省科技发展计划基金更多>>

Fabrication of optical fiber sensor based on double-layer SU-8 diaphragm and the partial discharge detection被引量：3: 《Optoelectronics Letters》2015年第1期61-64,共4页商娅娜倪晴燕丁丁陈娜王廷云; supported by the National Basic Research Program of China(No.2012CB723405);the Science and Technology Commission of Shanghai Municipality(Nos.13510500300,14DZ1201403 and 14511105602); In this paper, a partial discharge detection system is proposed using an optical fiber Fabry-Perot(FP) interferometric sensor, which is fabricated by photolithography. SU-8 photoresist is employed due to its low Young...; 关键词：envelope chromatic modulator wideband photonic receiver filtering impulse optics narrow

一种可移动超分辨成像系统的制备及其性质研究被引量：4: 《应用光学》2014年第3期427-431,共5页刘帅叶燃曹玲玲; 教育部博士点基金(20093207110012);国家重点基础研究发展计划(973计划)(2012CB 921801); 基于浸没透镜设计了一种超分辨成像系统,利用SU-8光刻胶和直径为4.87μm的微球实现纳米级别的超分辨成像。介绍微球成像放大率的求解方法,并通过软件模拟了超分辨成像系统的焦距。通过改变SU-8胶的厚度(从3.4μm到0),系统的放大率也随...; 关键词：光学设计超分辨微球浸没透镜 SU-8

基于SU-8的高质量平面微透镜阵列压印新方法被引量：3: 《微纳电子技术》2013年第4期242-247,共6页范新磊张斌珍李向红张勇; 国家重点基础研究发展计划资助项目(2012CB723401); 提出一种采用紫外光刻工艺及压印快速制造平面微透镜阵列的新技术。首先采用光刻工艺制作出平面圆柱形阵列,然后用热熔法将圆柱形阵列转化为微透镜阵列。以此微透镜阵列为母板,通过聚二甲基硅氧烷(PDMS)复制出和母板相反的模具,利用毛...; 关键词：仿生复眼压印热熔聚二甲基硅氧烷(PDMS) 微透镜阵列

利用水溶性纳米线制备微纳流体系统(英文): 《纳米技术与精密工程》2011年第5期392-396,共5页许胜勇吴修栋庄虔伟薛炯微孙伟强; 国家自然科学基金资助项目(10774002);国家重点基础研究发展计划(973计划)资助项目(2006CB932401); 在本课题的研究中,提出了一种利用水溶性钼酸钠铵纳米线和纳米探针系统来制备微纳流体系统的方法.借助这种方法可制备长度、直径以及横截面可控的的纳米通道.对于选用SU-8和聚二甲基硅氧烷(PDMS)两种材料组合而成的微纳流体系统而言,氧...; 关键词：微纳流体纳米线 PDMS SU-8

基于SU-8厚胶光刻工艺的微电铸铸层尺寸精度控制新方法被引量：4: 《机械工程学报》2011年第3期179-185,共7页刘冲李苗苗施维枝杜立群王立鼎; 国家科技支撑研究发展计划(863计划;2006BAF04B13);国家重点基础研究发展计划(973计划;2007CB714502);国家自然科学基金(20890024;50575036)资助项目; 以SU-8胶为微电铸母模制作镍模具时,胶模的热溶胀性使胶模变形,导致铸层线宽缩小,这是影响微电铸铸层尺寸精度的主要因素。针对密集蛇形沟道图形的镍模具微电铸工艺,以200.0μm厚SU-8胶为胶模,研究微电铸铸层尺寸精度的控制方法,提出基...; 关键词：微电铸 SU-8胶热溶胀性隔离带尺寸精度

一种基于QCM的液相混合微芯片的制作与应用: 《功能材料与器件学报》2010年第2期153-157,共5页朱德峰许宝建程建功金庆辉赵建龙徐元森; 973项目2007CB714502;973项目2007CB93600;上海市科委项目No.0752nm021;上海市科委项目0852nm00400;上海市科委项目08110700200;上海市科委项目08540705800; 生物定量检测中,生物样品是否均匀混合的研究意义重要。石英晶体微质量天平(QCM)因其振幅谐振机理,而具备优异的超声混合性能。本文结合微电子机械系统(MEMS)工艺,利用双面曝光、QCM预支撑和120℃长时间烘胶等改进方法,制备了尺寸可控...; 关键词：QCM SU-8 PDMS 混合谐振

用于PDMS微芯片塑性成型的SU-8模具制作工艺的优化被引量：3: 《功能材料与器件学报》2008年第3期639-644,共6页陆振华许宝建金庆辉赵建龙; 国家重点基础研究发展规划项目(973计划)(No.2005CB724305);上海市科技攻关计划项目(No.051111019);上海市科委纳米专项(No.0652nm016);上海-AM基金(No.0510); PDMS是制作微流控芯片的主要材料。PDMS芯片制作的主要方法是模塑法,模塑法要求有良好的塑性成型模具。SU-8以其良好的微加工特性,目前已广泛应用于微机械结构的制作,也用于PDMS塑性成型的模具。本文根据模具的特殊性,如平整、无裂纹、...; 关键词：PDMS 塑性成型 SU-8模具黏附性

SU-8紫外深度光刻的误差及修正(英文)被引量：4: 《光学精密工程》2007年第12期1926-1931,共6页郑津津陈有梅周洪军田杨超刘刚李晓光沈连婠; Supported by NSF of China (No 60473133;No 10575097);the ' Hundred Talented' Projects from ACS,the 973 Project (No 2006CB303102);the SRFDP (No 20060358050),and the 111 Projects; 在深紫外LIGA加工中,制作高精度大高宽比的微器件是很困难的。难点在于SU-8光刻胶对紫外光的吸收系数随着波长变短而很快变大,而且其穿透深度也相应迅速变小;同时由于紫外光的衍射效应,获得高精度的大高宽比结构并不容易。本文深入研究...; 关键词：SU-8光刻胶紫外深度光刻掩模图形转移误差修正

SU-8微针执行器的研究: 《微纳电子技术》2003年第7期474-476,共3页秦宁赵湛陈绍凤夏善红; 863计划 (2 0 0 2AA40 42 3 0 );国家自然科学基金 (2 0 2 990 3 0 );973计划 (B19990 3 3 10 2 )资助项目; 设计和采用MEMS工艺技术制作了一种由电磁驱动的微量取样执行器。执行器的结构包括微针、通道、反应室、电极以及永磁微阵列等。通过外部磁场可以实现双向线性驱动。本文主要介绍了利用SU 8光刻胶材料 ,采用多级曝光实现 3D结构的工艺技...; 关键词：SU-8光刻胶材料微针执行器电磁驱动微量取样执行器 MEMS

SU-8的紫外深度光刻模拟被引量：8: 《真空科学与技术》2002年第6期417-420,共4页田学红刘刚田扬超张新夷; 国家重点基础研究发展规划课题资助 (No G19990 3 3 10 9); 在微电子机械系统 (MEMS)中 ,大高宽比微结构被广泛应用。由于紫外光衍射效应比较大 ,通过紫外光刻获得高精度的大高度微结构并不容易。本文主要研究了衍射效应对深紫外光刻精度的影响 ,并与实验结果进行了比较 ,理论模拟结果和实验比...; 关键词：SU-8 非涅耳衍射紫外光刻 MEMS 光刻胶光刻精度

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