王逸群

作品数:9被引量:7H指数:2
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供职机构:中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所更多>>
发文主题:表面等离激元键合激光器电子束原子更多>>
发文领域:电子电信理学机械工程自动化与计算机技术更多>>
发文期刊:《半导体光电》《飞控与探测》《科学技术与工程》《微纳电子技术》更多>>
所获基金:国家自然科学基金苏州市科技发展计划北京市自然科学基金更多>>
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小尺度物体内部多磁源反演技术
《科学技术与工程》2024年第25期10808-10814,共7页荀宇洁 姜春宇 王逸群 张宝顺 曾中明 吴东岷 
为解决对小尺度物体内部多个磁场源反演能力差的问题,提出了小尺度物体内部多磁源反演技术。利用原子磁强计采集磁源信号,基于弱磁理论反演磁源分布,引入分布源模型、高斯-赛德尔迭代算法优化求解过程,开展正反演模型验证。同时,采用点...
关键词:磁源分布 磁源反演系统 分布源模型 高斯-赛德尔迭代算法 去卷积 
紧凑型横向变焦系统关键器件的设计方法与功能验证
《飞控与探测》2020年第6期76-83,共8页张勇飞 贾丹阳 杨大海 王逸群 
变焦系统可实现连续的光学变焦,可对不同景深的目标实现连续成像,在焦深延拓和光学检测等领域中具有广泛的应用和发展潜力。提出了一种紧凑型可实现连续变焦功能的扁平化位相衍射元件,并设计分析和验证了横向调制相位型变焦衍射元件的...
关键词:变焦系统 横向变焦 衍射元件 空间光调制器 
基于相关滤波器的嵌入式动态目标跟踪系统设计被引量:1
《飞控与探测》2020年第3期72-78,共7页张艳 刘阳 王杜林 王逸群 
针对空间非合作运动目标监控,提出了一种基于嵌入式技术的动态目标实时检测与跟踪方法,并完成了跟踪系统的研制设计和测试。该视觉目标跟踪系统以嵌入式处理器为控制器,通过相机模组获取实时视频图像,图像经过视觉检测与跟踪算法程序分...
关键词:目标跟踪 主动视觉 图像处理 相关滤波 嵌入式系统 
高深宽比石英结构的NLD刻蚀
《微纳电子技术》2017年第9期645-649,共5页吴亚宁 张伟 王逸群 黄健 缪小虎 王进 金晓盛 
国家自然科学基金青年科学基金资助项目(11304356)
基于磁中性环路放电(NLD)等离子体刻蚀机的原理,研究了Ar和C_4F_8混合气体氛围下,射频(RF)天线功率、偏置电源功率、气压和C4F8体积流量等工艺参数对NLD刻蚀石英的影响,最终获取优化的工艺参数,用于高深宽比石英结构的制备。结果表明,随...
关键词:磁中性环路放电(NLD)等离子体 Ar+C4F8 石英 高深宽比 刻蚀 
在晶元级Si衬底上制备高深宽比SiO_2周期图形(英文)
《纳米技术与精密工程》2016年第6期395-401,共7页戚永乐 张瑞英 仇伯仓 王逸群 王庶民 
funded by the National Natural Science Foundation(51202284);the Suzhou City Project(SYG201301);Jiangsu Project(BE2016083);State Key Laboratory of Functional Materials for Informatics,Shanghai Institute of Microsystem and Information Technology,Chinese Academy of Sciences;Key Laboratory of Nanodevices and Applications,Suzhou Institute of Nano-Tech and Nano-Bionics,Chinese Academy of Sciences
本文主要介绍了通过步进式光刻、反相剥离和F基等离子体刻蚀工艺在晶元级Si衬底上制备SiO_2图形的过程,在6 in(15.24 cm)Si衬底上实现了均匀的周期分别为1.0μm和1.6μm、深宽比分别为2.3和1.4的SiO_2周期性掩膜.尤其在周期为1μm的条件...
关键词:图形衬底 异质外延 高深宽比 
低功耗芯片级原子钟物理系统热分析被引量:1
《微纳电子技术》2015年第6期377-383,401,共8页朱启发 韩军 王逸群 张宝顺 郭立建 
国家自然科学基金资助项目(61204011;61107026)
对一种基于玻璃隔热桥结构芯片级原子钟物理系统进行了热学分析。通过理论方法对真空下无封装外壳物理系统各个导热路径进行了分析,同时用有限元方法分析了镀金涂层对其功耗的影响,并且进行了实验验证。实验表明:无封装外壳情况下,在工...
关键词:原子钟 物理系统 微机电系统(MEMS) 有限元方法 低功耗 金涂层 热分析 
退火对Ge掺杂SiO2薄膜的影响
《半导体光电》2013年第3期445-447,451,共4页汪加兴 韩军 邢艳辉 邓旭光 王逸群 邢政 姜春宇 方运 
北京市自然科学基金项目(4102003,4112006);国家自然科学基金项目(61204011)
用等离子体增强化学气相淀积制备了Ge掺杂SiO2薄膜,并对薄膜进行了不同温度的退火处理。采用棱镜耦合仪、原子力显微镜和傅里叶变换红外光谱分析技术研究了不同退火温度对Ge掺杂SiO2薄膜性质的影响。通过1 100℃退火处理后,正的折射率...
关键词:等离子体增强化学气相淀积 折射率 退火 
亚波长结构纳米孔的近场光学测试被引量:3
《光电子.激光》2010年第7期963-965,共3页李海军 时文华 查强 王媛 王逸群 邢政 张宝顺 
苏州市科技发展资助项目(ZXG0712)
利用微纳加工工艺制作了亚波长结构纳米孔,应用近场光学显微镜(NFOM)对样品进行了近场光学性质的测试,获得了样品的近场光强分布,测得其近场光斑直径约为120 nm,测试结果证明了环形周期性结构对中心纳米孔的增透和聚焦作用,为环形亚波...
关键词:近场光学显微镜(NFOM) 纳米孔 环形结构 近场光斑 
表面等离子体近场光刻制作二维纳米阵列被引量:2
《微纳电子技术》2010年第1期60-63,共4页李海军 林文魁 张晓东 王逸群 曾春红 赵德胜 王敏锐 张宝顺 
苏州市科技发展计划(ZXG0712)
重点介绍了采用表面等离子体增强效应的近场光刻制作亚微米结构的二维点阵图形的技术。在研究亚波长纳米孔阵列超透射现象基本原理的基础上,应用有限差分时域(FDTD)算法数值模拟了周期性孔阵列的电场强度分布,讨论了纳米孔阵列所激发的...
关键词:表面等离子体 近场光刻 纳米孔阵列 二维纳米阵列 金膜 
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