谭振新

作品数:7被引量:6H指数:2
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供职机构:中北大学更多>>
发文主题:微加速度计HEMTGAAS灵敏度高电子迁移率晶体管更多>>
发文领域:电子电信自动化与计算机技术理学电气工程更多>>
发文期刊:《固体电子学研究与进展》《仪表技术与传感器》《传感技术学报》《测试技术学报》更多>>
所获基金:国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
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沟道角度对微加速度计性能的影响被引量:1
《仪表技术与传感器》2012年第1期10-12,共3页史伟莉 薛晨阳 谭振新 刘俊 张斌珍 张文栋 
国家自然科学基金资助(50730009,50535030);国家重点基础研究发展计划资助(2008CB317104)
通过设计与悬臂梁呈不同角度的沟道,对GaAs基金属半导体场效应晶体管(MESFET)的微加速度计的输出特性进行了初步测试研究。设计了GaAs MESFET的材料层结构并采用四梁固支结构。通过表面浅工艺加工出GaAs MES-FET微加速度计。将敏感单元G...
关键词:金属半导体场效应晶体管 沟道角度 灵敏度 
GaAs基共振遂穿二极管的材料结构研究被引量:1
《固体电子学研究与进展》2011年第2期136-140,共5页王杰 张斌珍 刘君 唐建军 谭振新 贾晓娟 高杰 
国家自然基金重点资助项目(50730009)
用分子束外延技术在半绝缘GaAs衬底上生长了三种不同材料结构的RTD。主要针对阱结构进行了对比设计,然后对设计结构进行了常温下的I-V特性测试,测试结果中器件的PVCR值最高达到了6,VP降低到了0.41V。同时常温下测试了其中一种设计结构...
关键词:共振隧穿二极管 I-V特性 砷化镓 发射极 
偏压对HEMT嵌入式微加速度计电学参数的温度特性影响被引量:2
《仪表技术与传感器》2011年第1期15-17,共3页谭振新 薛晨阳 史伟莉 胡全忠 刘俊 张斌珍 
国家自然基金重点项目资助(50730009)
研究了HEMT嵌入式微加速度计在不同偏压下的温度效应。研究结果表明由于选择的偏压不同,输出电流的温度系数大小不同。其主要原因是漏极电流的温度效应由迁移率的温度系数和阈值电压的温度系数共同决定,两种效应一正一负,根据选择偏压大...
关键词:场效应晶体管 温度系数 偏压调制 
基于MESFET的GaAs基微加速度计的设计与性能测试
《测试技术学报》2010年第5期405-409,共5页谭振新 薛晨阳 侯婷婷 贾晓娟 史伟莉 刘俊 张文栋 
国家自然科学基金重点资助项目(50730009)
利用金属-半导体结型场效应晶体管(MESFET)作为微加速度计的敏感单元,设计一种4梁-质量块微加速度计结构.通过ANSYS分析软件进行仿真,敏感单位放置于悬臂梁根部的应力最大处,以获得最大的灵敏度.将封装好的微加速度计结构,利用惠斯通电...
关键词:MESFET GAAS 灵敏度 线性度 微加速度计 
GaAs/AlGaAs薄膜压阻特性研究
《中北大学学报(自然科学版)》2010年第3期291-294,共4页李秋柱 刘国文 谭振新 
为了探索新的微机电转换方法,提出一种GaAs/AlGaAs压阻薄膜结构.该结构采用分子束外延生长技术(MBE),在半绝缘GaAs衬底(001)方向上生长GaAs/Al0.4Ga0.6As半导体薄膜制备而成.利用表面微机械工艺和体微机械工艺,加工制作了基于GaAs/Al0.4...
关键词:GAAS/ALGAAS 薄膜 压阻特性 微加速度计 应变因子 
一种基于微结构的GaAs HEMT的压阻系数被引量:1
《固体电子学研究与进展》2010年第3期358-361,共4页侯婷婷 薛晨阳 刘国文 贾晓娟 谭振新 张斌珍 刘俊 
国家自然科学基金资助项目(50730009;50535030);国家重点基础研究发展计划资助项目(2008CB317104)
GaAs HEMT(高电子迁移率晶体管)位于微结构悬臂梁根部附近的最大应力处。介绍了GaAs HEMT和微结构的设计加工,并通过实验研究了GaAs HEMT在平行于HEMT生长方向(Z方向)单轴应力作用下的力电耦合特性。测试结果表明:GaAs HEMT不同偏压下...
关键词:砷化镓高电子迁移率晶体管 力电耦合 压阻系数 
GaAs基PHEMT加速度传感器的研究被引量:2
《传感技术学报》2010年第2期188-191,共4页贾晓娟 张斌珍 刘俊 薛晨阳 侯婷婷 谭振新 王杰 
国家自然基金重点项目资助(50730009)“e指数半导体器件嵌入式微纳机械结构高灵敏传感器基础研究”;纳米晶体管嵌入式传感结构加工工艺及其性能研究(2008CB317104)
PHEMT结构一种高电子迁移率晶体管,以其高频和低噪声等方面的优越性,成为当今微电子领域中最活跃的研究主题之一。将其良好的力敏特性应用在加速度计方面更是成为前沿的研究方向。基于GaAs基PHEMT结构压阻效应,设计加工出一种悬臂梁式...
关键词:微加速度计 PHEMT 动态测试 灵敏度 GAAS 
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