中国工程物理研究院科技发展基金(2008A0403016)

作品数：12被引量：29H指数：4
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相关作者：高杨贾小慧王强柏鹭刘婷婷更多>>
相关机构：中国工程物理研究院电子工程研究所西南科技大学重庆大学中国工程物理研究院更多>>
相关期刊：《传感器与微系统》《半导体光电》《传感技术学报》《现代电子技术》更多>>
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Ka波段DMTL移相器用RFMEMS电容式并联开关研制(英文)被引量：2
《纳米技术与精密工程》2012年第6期491-496,共6页高杨 贾小慧 秦燃 官承秋 
中国工程物理研究院科技发展基金重点课题资助项目(2008A0403016,2010A0302013);西南科技大学制造过程测试技术省部共建教育部重点实验室开放课题资助项目(11ZXZK03)
本文设计并制作了一种用于Ka波段分布式MEMS传输线(DMTL)移相器的MEMS电容式并联开关.通过理论计算和工程经验,大致定义了开关的结构尺寸.采用HFSS软件建立了开关的三维电磁场模型并优化了关键结构参数.仿真表明:开关在Ka波段插入损耗小...
关键词：射频MEMS 电容式并联开关 移相器 驱动电压 
微机械梳齿谐振器的可靠性仿真
《半导体光电》2012年第1期34-38,共5页高杨 王强 秦燃 唐海林 
中国工程物理研究院科技发展基金重点课题(2008A0403016,2010A0302013)
针对微加工工艺引起的微机械梳齿谐振器可靠性问题进行了仿真分析。包括:深反应离子刻蚀工艺造成梳齿与弹性支撑梁侧壁倾斜对驱动力、谐振频率和谐振次数的影响;残余应力和杂质不均等因素在弹性支撑梁上产生的微裂纹对谐振器动力学的影...
关键词：微机械梳齿谐振器 微机械加工 有限元 寿命 可靠性 
硅基底和金刚石基底上沉积ZnO薄膜工艺研究被引量：7
《传感技术学报》2012年第1期25-28,共4页陈颖慧 高杨 席仕伟 赵兴海 
中国工程物理研究院科技发展基金重点课题(2008A0403016,2010A0302013)
采用射频磁控溅射方法分别在硅基底和金刚石基底上制备ZnO薄膜,研究了硅和金刚石衬底的不同对ZnO薄膜生长机理的影响,同时分析了氩氧比和退火温度这两个工艺参数对薄膜的晶格取向和表面形貌的影响。利用XRD和AFM对ZnO压电薄膜的性能进...
关键词：声表面波滤波器 ZNO薄膜 金刚石 射频磁控溅射 氩氧比 退火温度 
Ka波段五位分布式MEMS传输线移相器设计被引量：4
《半导体光电》2011年第2期204-207,275,共5页贾小慧 高杨 柏鹭 王强 
中国工程物理研究院科技发展基金重点课题(2008A0403016);四川省教育厅重大培育项目(07ZZ038);西南科技大学研究生教改项目(2007XJJG33);教育部访问学者基金项目
通过在共面波导上周期性地加载分布电容,外加驱动电压改变电容值,实现分布式MEMS移相器。首先给出了5位分布式MEMS移相器的总体结构图,分析了理论参数的设计方法。再采用HFSS建立单个微桥的三维电磁仿真模型,利用仿真得到的S参数拟合微...
关键词：射频微电子机械系统 分布式移相器 传输线 
悬臂梁接触式RF MEMS串联开关工艺设计被引量：2
《微纳电子技术》2011年第4期258-263,共6页柏鹭 高杨 郑英彬 贾小慧 王强 
中国工程物理研究院科技发展基金重点课题(2008A0403016,2010A0302013)
报道了一款用于X波段的悬臂梁接触式RF MEMS串联开关的微加工工艺设计。首先,介绍了该悬臂梁接触式MEMS串联开关的基本工作原理;然后,简单描述了其结构组成和尺寸参数;最后,对掩膜版和对位标记的设计做了相应介绍。工艺方案设计包括初...
关键词：微电子机械系统(MEMS) 悬臂梁 开关 X波段 工艺流程 
用于X波段移相器的RF MEMS开关设计被引量：6
《微纳电子技术》2010年第12期762-769,共8页柏鹭 高杨 贾小慧 王强 
中国工程物理研究院科技发展基金重点课题(2008A0403016);四川省教育厅重大培育项目(07ZZ038);西南科技大学研究生教改项目(2007XJJG33);教育部访问学者基金(无编号)
针对某片上集成开关线式MEMS移相器设计了一款串联接触式悬臂梁开关。该移相器要求结构紧凑,工作频段为X波段,工作电压低于27V。利用Ansoft HFSS软件仿真分析了开关关键结构参数对电磁性能的影响,包括传输线断开间距d,接触金属与传输线...
关键词：微电子机械系统(MEMS) 悬臂梁 X波段 移相器 开关 
DRIE工艺误差对MEMS梳齿谐振器频率的影响被引量：4
《微纳电子技术》2010年第12期776-780,共5页王强 高杨 贾小慧 柏鹭 
中国工程物理研究院科技发展基金重点课题(2008A0403016);四川省教育厅重大培育项目(07ZZ038);西南科技大学研究生教改项目(2007XJJG33);教育部访问学者基金项目(无编号)
针对深反应离子刻蚀(DRIE)工艺加工高深宽比梳齿电容存在侧壁倾斜角的情况,分析了该倾斜角对梳齿谐振器频率的影响。为了使设计的梳齿谐振器频率符合应用要求,推导出了梳齿谐振器在正负侧壁倾斜角θ下的谐振频率计算公式。利用ANSYS Wor...
关键词：微电子机械系统(MEMS) 梳齿谐振器 深反应离子刻蚀 高深宽比 倾斜角 谐振频率 
微通道尺寸对开通道电渗泵性能的影响
《微纳电子技术》2010年第11期684-688,共5页高杨 白竹川 刘婷婷 袁明权 
中国工程物理研究院科技发展基金重点课题(2008A0403016);四川省教育厅重大培育项目"硅基微型电渗泵三维阵列流动传热分析及优化设计"(07ZZ038);教育部访问学者基金;西南科技大学研究生教改项目(2007XJJG33)
开通道电渗泵的结构简单,性能优越,制作工艺满足标准MEMS微加工工艺,是实现微泵片上集成应用的重要途径之一,可应用于微电子机械系统中作为液压致动元件。开通道电渗泵的压力流量性能与微通道的尺寸参数有直接关系。首先理论分析了微通...
关键词：微电子机械系统 微流体 电渗泵 微通道 开通道 
X波段MEMS分布式移相器开关机电性能研究被引量：1
《现代电子技术》2010年第13期1-3,共3页张晓升 鲍景富 杜亦佳 李仁锋 
预研基金项目(9140A230604);中国工程物理研究院科技发展基金重点项目(2008A0403016)
介绍一种应用于X波段MEMS分布式移相器的新型单元开关。MEMS分布式移相器具有高品质因数、低插损、低功耗和高隔离度的优点,但由于传统MEMS开关采用固支梁结构,弹性系数过大,下拉电压过高,无法与传统电子系统相兼容,大大限制了其应用和...
关键词：X波段 射频微机电 分布式移相器 机电耦合性能 
声表面波谐振器传播状态的ANSYS仿真被引量：3
《微纳电子技术》2009年第12期739-743,749,共6页陈营端 高杨 白竹川 刘婷婷 
中国工程物理研究院科技发展基金重点课题(2008A0403016);教育部访问学者基金资助项目(无编号)
为描述声表面波的传播状态,利用ANSYS软件对声表面波(SAW)谐振器进行了仿真。在对声表面波产生机理和SAW谐振器工作原理分析的基础上,建立了SAW谐振器仿真模型,讨论了网格划分不同对仿真结果精度的影响,得出了在每个SAW波长尺寸内划分30...
关键词：RF MEMS SAW谐振器 叉指换能器(IDT) ANSYS软件 建模与仿真 
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