天津市自然科学基金(043604911)

作品数：13被引量：88H指数：6
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相关作者：耿新华赵颖薛俊明孙建张德坤更多>>
相关机构：南开大学光电信息技术科学教育部重点实验室河北省信息产业厅中北大学更多>>
相关期刊：《Journal of Semiconductors》《太阳能学报》《兵工学报》《物理学报》更多>>
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ITO薄膜的厚度对其光电性能的影响被引量：15
《人工晶体学报》2008年第1期147-150,共4页李林娜 薛俊明 赵亚洲 李养贤 耿新华 赵颖 
天津市科技发展计划项目(06YFGZGX02100);天津市自然科学基金项目(043604911);国家“973”重点基础研究项目(2006CB202602和2006CB202603)
氧化铟锡(indium-tin oxide,ITO)具有在可见光范围内高度透明的特性和优良的电学特性,通常当作透明电极,被广泛应用于太阳电池和发光元器件上。本研究中用电阻加热反应蒸发的方法制备ITO薄膜,测试了膜的厚度、电阻率、可见光透过率、载...
关键词：ITO薄膜 电阻蒸发法 载流子浓度 霍尔迁移率 
用VHF-PECVD技术研制大面积均匀硅基薄膜被引量：2
《太阳能学报》2007年第11期1227-1232,共6页薛俊明 侯国付 王凯杰 孙建 任慧志 张德坤 赵颖 耿新华 
国家重点基础研究发展规划"973"(No.2006CB202602;2006CB202603);天津市科技发展计划项目(06YFGZGX02100);天津市自然科学基金项目(No.043604911)
首先对电极表面VHF频段电场分布进行了详细的物理分析,认为当激发频率在VHF频段时驻波和损耗波对电场均匀性分布影响很大,而通过选择不同的电源馈入方式可减小其影响。采用中心馈入法,对馈线和电极的连接方式进行了仔细研究,然后就工作...
关键词：VHF-PECVD 硅基薄膜 大面积均匀性 电源馈入方式 
绒面ZnO薄膜的生长及其在太阳电池前电极的应用被引量：11
《Journal of Semiconductors》2007年第7期1072-1077,共6页陈新亮 薛俊明 孙建 赵颖 耿新华 
天津市自然科学基金(批准号:043604911);国家重点基础研究发展规划(批准号:2006CB202602;2006CB202603)资助项目~~
研究了MOCVD技术制备的不同B2H6掺杂流量下ZnO薄膜的微观结构和光电性能变化.XRD和SEM的研究结果表明,ZnO薄膜具有（110）峰择优取向的绒面结构特征.当B2H6流量为10sccm时,在6cm×6cm面积玻璃衬底上生长出厚度为1000nm,方块电阻为~12Ω/...
关键词：MOCVD 绒面ZnO薄膜 B掺杂 前电极 太阳电池 
反应压力对MOCVD法沉积ZnO薄膜性质的影响被引量：7
《光电子．激光》2007年第7期763-766,共4页陈新亮 薛俊明 张德坤 孙健 任慧志 赵颖 耿新华 
国家重点基础研究发展规划"973"资助项目(2006CB202602;2006CB202603);天津市自然科学基金资助项目(043604911);天津市科技攻关资助项目(043186511)
研究了反应压力对金属有机化学气相沉积(MOCVD)技术制备未掺杂ZnO薄膜的微观结构和光电特性影响。X射线衍射(XRD)和扫描电子镜(SEM)的研究结果表明,随着反应压力的降低,ZnO薄膜(002)择优峰的强度呈现相对减弱趋势,并且出现了较强的(110)...
关键词：金属有机化学气相沉积(MOCVD) ZNO薄膜 透明导电氧化物(TCO) 太阳电池 
衬底温度对MOCVD法沉积ZnO透明导电薄膜的影响被引量：14
《物理学报》2007年第3期1563-1567,共5页陈新亮 薛俊明 张德坤 孙建 任慧志 赵颖 耿新华 
天津市自然科学基金(批准号:043604911);天津市科技攻关项目(批准号:043186511)资助的课题.~~
研究了衬底温度对MOCVD技术制备的ZnO薄膜的微观结构和光电特性影响.XRD和SEM的研究结果表明,衬底温度对ZnO薄膜的微观结构有显著影响,明显的形貌转变温度大约发生在175℃,低于175℃,薄膜呈镜面结构,晶粒为球状,高于177℃的较高温度范围...
关键词：MOCVD ZNO薄膜 透明导电氧化物 太阳电池 
电阻蒸发铝薄膜结构及其对非晶硅太阳电池性能的影响被引量：2
《人工晶体学报》2007年第1期152-156,共5页孙建 薛俊明 侯国付 王锐 张德坤 赵颖 耿新华 
天津市科技发展计划项目(No.06YFGZGX02100);国家973计划项目(2006CB2026022006CB202603);天津市自然科学基金(No.043604911)
本文首先采用电阻蒸发法制备了不同厚度的Al薄膜,并选择了两个典型厚度的Al薄膜制备工艺来制备非晶硅太阳电池的Al背电极,研究了Al背电极厚度对电池性能的影响。结果表明,Al背电极的厚度由800nm减薄到70nm时,电池的Voc平均值由0.826V增...
关键词：电阻蒸发 Al背电极 非晶硅太阳电池 
生长速率对反应蒸发制备ITO薄膜光电性能的影响被引量：11
《光电子．激光》2007年第1期24-26,29,共4页李林娜 孙建 薛俊明 李养贤 赵颖 耿新华 
国家"973"重点基础研究资助项目(G2000028202;G2000028203);天津市科技发展计划资助项目(06YFG2GX021007;天津市自然科学基金资助项目(043604911)
用电阻加热反应蒸发的方法制备氧化铟锡(ITO)薄膜,测试了膜的电阻率、可见光透过率、载流子浓度和迁移率,讨论生长速率对薄膜光电性能的影响。并在衬底温度为160℃、反应压强为1.4×10-1Pa的条件下,制得可见光范围平均透过率为93%、电...
关键词：氧化铟锡(ITO)薄膜 电阻率 载流子浓度 迁移率 透过率 
中频脉冲磁控溅射制备ZnO:Al透明导电薄膜被引量：6
《光电子．激光》2006年第12期1427-1431,共5页黄宇 孙建 薛俊明 马铁华 熊强 赵颖 耿新华 
国家"973"重点基础研究资助项目(G2000028202);天津市自然科学基金资助项目(043604911);天津市科技发展计划资助项目(06YFGX02100)
采用中频磁控溅射工艺，以2％的Al掺杂的Zn（纯度99．99％）金属材料为靶材制备平面及绒面透明导电ZnO：Al（ZAO）薄膜，系统研究了衬底温度、工作气压和溅射功率等对平面ZAO结构和光电特性的影响，并对湿法腐蚀制备绒面ZAO薄膜进行了...
关键词：中频磁控溅射 ZnO:Al(ZAO)薄膜 衬底温度 
薄膜厚度对MOCVD法沉积ZnO透明导电薄膜的影响被引量：3
《人工晶体学报》2006年第6期1313-1317,共5页陈新亮 薛俊明 孙建 任慧志 张德坤 赵颖 耿新华 
天津市自然科学基金项目(No.043604911);天津市科技攻关项目(No.043186511)
本文研究了薄膜厚度对MOCVD技术制备未掺杂ZnO薄膜的微观结构和电学特性影响。XRD和SEM的研究结果表明，随着薄膜厚度的增加，ZnO薄膜（110）峰趋于择优取向，且晶粒逐渐长大，薄膜从球状和细长棒状演变为具有类金字塔绒面结构特征的Zn...
关键词：MOCVD ZNO薄膜 透明导电氧化物 太阳电池 
衬底温度对中频磁控溅射ZnO∶Al透明导电薄膜性能的影响被引量：1
《兵工学报》2006年第5期891-894,共4页黄宇 熊强 薛俊明 马铁华 孙建 赵颖 耿新华 
国家重点基础研究发展规划项目(G2000028200);天津市自然科学基金资助项目(043604911)
ZnO：Al（ZAO）薄膜的光学、电学以及结构特性与衬底温度有关，以掺杂质量2％Al的Zn（纯度99．99％）金属材料做靶，采用中频磁控溅射技术研究衬底温度对ZnO透明导电薄膜性能的影响，获得适合太阳电池的高效能薄膜，薄膜厚度700nm左右...
关键词：凝聚态物理学 中频磁控溅射 ZnO:Al(ZAO)薄膜 衬底温度 载流子浓度 霍尔迁移率 
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