国家自然科学基金(69976014)

作品数:11被引量:16H指数:2
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相关作者:张荣郑有炓沈波施毅毕朝霞更多>>
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相关期刊:《Acta Metallurgica Sinica(English Letters)》《Journal of Semiconductors》《Science China(Physics,Mechanics & Astronomy)》《高技术通讯》更多>>
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额外HCl和氮化对HVPE GaN生长的影响被引量:4
《Journal of Semiconductors》2003年第11期1171-1175,共5页修向前 张荣 李杰 卢佃清 毕朝霞 叶宇达 俞慧强 郑有炓 
国家重点基础研究发展规划 (No.G2 0 0 0 0 683 0 5 );国家高技术研究发展计划 (No.2 0 0 1AA3 11110);国家自然科学基金(批准号:699760 14;6980 60 0 6和699870 0 1)资助项目~~
在氢化物气相外延 (HVPE)生长 Ga N过程中 ,发现了一种在成核阶段向生长区添加额外 HCl来改善 Ga N外延薄膜质量的方法 ,并且讨论了额外 HCl和氮化对 Ga N形貌和质量的影响 .两种方法都可以大幅度地改善 Ga N的晶体质量和性质 ,但机理不...
关键词:氢化物气相外延(HVPE) GAN 氮化 额外HCl 
Synthesis of ZnAl_2O_4/α-Al_2O_3 complex substrates and growth of GaN films被引量:1
《Science China(Physics,Mechanics & Astronomy)》2003年第1期41-46,共6页毕朝霞 张荣 李卫平 王栩生 顾书林 沈波 施毅 刘治国 郑有炓 
Special Funds for Major State Basic Research Projects of China(Grant No.#G20000683);Distinguished Young Scientist Grant of China (Grant No.60025411);the National Natural Science Foundation of China(Grant Nos.69806006,69976014,69636010 and 69987001);the National High Technology Research & Development Project of China
With the solid phase reaction between pulsed-laser-deposited (PLD) ZnOfilm and α-Al2O3 substrate, ZnAl2O4/α-Al2O3 complex substrates were synthesized. X-ray diffraction (XRD) spectra show that as the reaction procee...
关键词:GaN  ZnAl2O4  MOCVD  X-ray diffraction  SCANNING electron microscope. 
ZnAl_2O_4/α-Al_2O_3复合衬底的制备和GaN薄膜的生长
《中国科学(A辑)》2002年第10期895-899,共5页毕朝霞 张荣 李卫平 王栩生 顾书林 沈波 施毅 刘治国 郑有炓 
国家重点基础研究规划(批准号:G20000683);国家杰出青年研究基金(批准号:60025411);国家自然科学基金(批准号:69976014;69636010;69806006;69987001);国家高技术研究计划(批准号:2001AA311110)资助项目
利用脉冲激光淀积法(PLD)在α-Al2O3衬底上淀积了ZnO薄膜,通过ZnO和α-Al2O3固相反应制备了具有ZnAl2O4覆盖层的α-A2O3衬底.X射线衍射谱(XRD)表明ZnAl2O4薄膜随反应时间由单一(111)取向转变为多晶取向,然后变为不完全的 (111)...
关键词:ZnAl2O4/α-Al2O3复合衬底 制备 GAN薄膜 MOCVD X射线衍射谱 半导体材料 两步生长工艺 氮化钙 
Si衬底上横向外延GaN材料的微结构和光学性质的研究
《高技术通讯》2002年第3期47-49,共3页汪峰 张荣 陈志忠 朱健民 顾书林 沈波 李卫平 施毅 郑有炓 
国家重点基础研究专项(G20000683);国家杰出青年科学研究基金(60025411);国家自然科学基金(69976014,69636010,69806006,69987001);863计划(863307123(05),8637150010220,8637150110031)资助项目
用氢化物气相外延 (HVPE)方法在Si(III)衬底上成功横向外延生长出晶体质量较好的GaN薄膜材料。透射电子显微镜 (TEM )的研究结果表明 ,横向外延区域GaN的位错密度明显减小。由于SiO2 掩膜腐蚀角的不同 (分别为 90°和 6 6°) ,导致了横...
关键词:微结构和光学性质 HVPE横向外延GaN Si(III)衬底 
侧向外延生长GaN的结构特性(英文)
《发光学报》2001年第S1期53-56,共4页张荣 顾书林 修向前 卢殿清 沈波 施毅 郑有炓 KUAN T S 
国家“8 6 3”基金资助项目 ( 2 0 0 0 0 6 83);国家自然科学基金资助项目 ( 6 9976 0 14 ,6 96 36 0 10 ,6 980 6 0 0 6 ,6 99870 0 1)~~
研究了在刻有图形的GaN“衬底”上用HVPE方法侧向外延生长 (ELO)GaN的结构特性。在SiO2 衬底上侧向外延生长GaN已经实现 ,并得到了平面的ELOGaN薄膜。采用扫描电子显微镜、透射电微镜和原子力显微镜技术研究了这种ELOGaN材料的结构和表...
关键词:GAN 侧向外延生长 氢化汽相外延 
Pb(Zr<sub>0.53</sub>Ti<sub>0.47</sub>)O<sub>3</sub>/Al<sub>x</sub>Ga<sub>1-x</sub>N/GaN异质结构的电容-电压特征(英文)被引量:1
《发光学报》2001年第S1期57-60,共4页沈波 李卫平 周玉刚 毕朝霞 张荣 郑泽伟 刘杰 周慧梅 施毅 刘治国 郑有炓 Someya T Arakawa Y 
国家自然科学基金资助项目 ( 6 980 6 0 0 6 ,6 9976 0 14和 6 99870 0 1) ;国家重点基础研究项目专项支持 (G2 0 0 0 0 6 83) ;国家高技术研究和发展项目;日本科学促进协会前沿研究项目 (JSPS RFTF96P0 0 2 0 1)~~
通过在调制掺杂Al0 2 2 Ga0 78N/GaN异质结构上淀积Pb(Zr0 53 Ti0 4 7)O3 (PZT)铁电薄膜 ,我们发展了一种基于AlxGa1-xN/GaN异质结构的金属 铁电 半导体 (MFS)结构。在高频电容 电压 (C V)特性测量中 ,发现Al0 2 2 Ga0 78N/GaN...
关键词:C-V特性 Pb(ZrTi)O3 铁电薄膜 ALXGA1-XN/GAN 
Al<sub>x</sub>Ga<sub>1-x</sub>N/GaN异质结二维电子气磁输运性质研究(英文)
《发光学报》2001年第S1期67-70,共4页郑泽伟 沈波 刘杰 周慧梅 钱悦 张荣 施毅 郑有炓 蒋春萍 郭少令 郑国珍 褚君浩 Someya T Arakawa Y 
国家自然科学基金资助项目 ( 6 980 6 0 0 6 ,6 9976 0 14和 6 99870 0 1) ;国家高技术研究和发展计划项目;日本科学促进协会前沿研究项目 (JSPS RFTF96P0 0 2 0 1)~~
在 1 5K低温和 0~ 9T的高磁场下研究了AlGaG/GaN异质结二维电子气的磁输运性质。实验结果在 4块样品中都观察到了Shubnikov daHass振荡的双周期行为。表明异质结的三角势阱中有两个子带被电子占据。通过电子子带占据时电子浓度分配的...
关键词:磁传输特性 二维电子气 AlxG1-xN/GaN 
LASER LIFT-OFF OF GaN THIN FILMS FROM SAPPHIRE SUBSTRATES被引量:10
《Acta Metallurgica Sinica(English Letters)》2001年第6期448-452,共5页J. Xu, R. Zhang, Y.P. Wang, X.Q. Xiu, S.L. Gu, B. Shen, Y. Shi, Z.G. Liu and Y.D. Zheng (Department of Physics and National Laboratory of Solid State Microstructures, Nanjing University, Nanjing 210093, China) 
supported by Special Funds for Major Stale Basic Research Project G20000683;863 Hi-tech Research Project,Distinguished Young Scientist Grant(60025411);National Nature Science Foundation of China(69976014,69636010,69806006,69987001);benefited from using the laser device of the Pulsed Laser Deposition laboratory in Nanjing University.
Gallium Nitride film was successfully separated from sapphire substrate by laser radiation. The absorption of the 248 nm radiation by the GaN at the interface results in rapid thermal decomposition of interfacial laye...
关键词:Gallium compounds Laser beam effects Nitrides SAPPHIRE SEPARATION 
侧向外延生长GaN的结构特性(英文)
《发光学报》2001年第z1期53-56,共4页张荣 顾书林 修向前 卢殿清 沈波 施毅 郑有炓 KUAN T S 
国家"8 6 3"基金资助项目 ( 2 0 0 0 0 6 83);国家自然科学基金资助项目 ( 6 9976 0 14 ,6 96 36 0 10 ,6 980 6 0 0 6 ,6 99870 0 1)~~
研究了在刻有图形的GaN“衬底”上用HVPE方法侧向外延生长 (ELO)GaN的结构特性。在SiO2 衬底上侧向外延生长GaN已经实现 ,并得到了平面的ELOGaN薄膜。采用扫描电子显微镜、透射电微镜和原子力显微镜技术研究了这种ELOGaN材料的结构和表...
关键词:GAN 侧向外延生长 氢化汽相外延 
Pb(Zr_(0.53)Ti_(0.47))O_3/Al_xGa_(1-x)N/GaN异质结构的电容-电压特征(英文)
《发光学报》2001年第z1期57-60,共4页沈波 李卫平 周玉刚 毕朝霞 张荣 郑泽伟 刘杰 周慧梅 施毅 刘治国 郑有炓 Someya T Arakawa Y 
国家自然科学基金资助项目 ( 6 980 6 0 0 6 ,6 9976 0 14和 6 99870 0 1) ;国家重点基础研究项目专项支持 (G2 0 0 0 0 6 83) ;国家高技术研究和发展项目;日本科学促进协会前沿研究项目 (JSPS RFTF96P0 0 2 0 1)~~
通过在调制掺杂Al0 2 2 Ga0 78N/GaN异质结构上淀积Pb(Zr0 53 Ti0 4 7)O3 (PZT)铁电薄膜 ,我们发展了一种基于AlxGa1-xN/GaN异质结构的金属 铁电 半导体 (MFS)结构。在高频电容 电压 (C V)特性测量中 ,发现Al0 2 2 Ga0 78N/GaN...
关键词:C-V特性 Pb(ZrTi)O3 铁电薄膜 ALXGA1-XN/GAN 
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