福建省自然科学基金(A0110003)

作品数：10被引量：17H指数：3
导出分析报告
相关作者：孙道恒王明亮王凌云陈义华吕文龙更多>>
相关机构：厦门大学厦门理工学院厦门鹭江大学更多>>
相关期刊：《中国机械工程》《泉州师范学院学报》《传感器与微系统》《厦门大学学报（自然科学版）》更多>>
相关主题：微机械微电铸悬臂梁电子隧道效应惯性传感器更多>>
相关领域：自动化与计算机技术航空宇航科学技术电子电信化学工程更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-10
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
扇形梳齿驱动式微机械隧道陀螺仪的初步研究被引量：1
《厦门大学学报（自然科学版）》2006年第3期355-359,共5页王凌云 刘益芳 孙道恒 
国家自然科学基金(50275127);福建省自然科学基金(A0110003);福建省科技计划重点项目(2002H022)资助
设计了一种扇形梳齿驱动式隧道陀螺仪,意在取代现有的平板驱动方式,以此来提高陀螺仪的灵敏度.从扇形梳齿驱动的工作原理出发,推导了该型陀螺仪的运动方程,分析了结构参数与其灵敏度的内在联系.在此基础上,对陀螺仪设计中与陀螺仪性能...
关键词：微机械陀螺仪 梳齿驱动电极 隧道传感器 
基于隧道效应振动梁式陀螺仪自检电极设计
《传感器与微系统》2006年第5期61-63,66,共4页王凌云 陈义华 孙道恒 
国家自然科学基金资助项目(50275127);福建省自然科学基金资助项目(A0110003);福建省科技计划重点资助项目(2002H022)
在微机电系统内建立自检系统是提高系统运行可靠性、安全性的重要手段之一。陀螺仪中的Coriolis力和其他惯性力存在一定的差别,即使在恒定的角速度输入下,Coriolis力也是一种动态变化的力。通过一对平板电极,其中,一个平板电极的边缘按...
关键词：遂道效应 可靠性 自检 陀螺仪 平板电极 
微电铸及其在MEMS中的应用被引量：4
《厦门大学学报（自然科学版）》2005年第B06期316-318,共3页吕文龙 陈义华 孙道恒 
福建省自然科学基金(A0110003);福建省科技计划重点项目(2002H022)资助
研究了微电铸在MEMS结构层制造工艺中的可行性并搭建了微电铸实验系统,通过对不同Watts镍电解液的成分实验得到了一组性能较好的成分配比.通过晶种层材料的实验得出TiCu作为晶种层材料的优点.利用微电铸的方法制作出微机械隧道陀螺仪中...
关键词：微电铸 应用 MEMS结构 实验系统 制造工艺 成分配比 镍电解液 脉冲电铸 设计要求 悬臂梁 结构层 陀螺仪 微机械 材料 晶种 驱动 方波 
悬臂梁式微机械隧道陀螺的结构设计与性能分析被引量：4
《传感器技术》2005年第2期48-50,共3页李文望 孙道恒 
福建省自然科学基金资助项目(A0110003);福建省教育厅B类科研项目(JB03283)
介绍了电子隧道效应在微机械陀螺仪中的应用,根据电子隧道效应的特点与要求提出了隧道陀螺仪的结构方案,利用ANSYS进行系统模态分析、静电-结构的耦合场分析及系统的性能分析。讨论了系统的机械灵敏度及隧道电流与隧道电极间隙的关系。
关键词：微机械 隧道陀螺仪 电子隧道效应 耦合场分析 
变截面梁的微电镀研究
《中国机械工程》2005年第z1期404-406,共3页刘益芳 吕文龙 孙道恒 
国家自然科学基金资助项目(50275127);福建省自然科学基金资助项目(A0110003);福建省科技计划资助项目(2002H022)
介绍了微电镀原理和设计了微电镀平台,设计了悬臂梁的微电镀工艺流程.为了提高镍微电镀镀层的均匀性和降低镀层的内应力,以及如何解决表面积差异悬殊的镀层厚度的一致性问题,研究了不同电镀参数下的悬臂梁的电镀效果.实验结果表明,脉冲...
关键词：悬臂梁 变截面 微电镀 一致性 
表面微加工中镍的微电铸被引量：1
《中国机械工程》2005年第z1期407-409,共3页吕文龙 陈义华 孙道恒 
福建省自然科学基金资助项目(A0110003);福建省科技计划重点项目(2002H022)
介绍了微电铸工艺的基本原理以及脉冲电铸的特点.搭键了电铸实验系统,通过对Watts镍电解液的成分实验得到了一种性能较好的成分配比.利用微电铸的方法制作出微机械隧道陀螺仪中的悬臂梁、挡板、驱动电极等MEMS结构,得到了一组较有价值...
关键词：微电铸 脉冲 表面微加工 镍 
微机械隧道陀螺仪中微弱信号的检测技术被引量：6
《厦门大学学报（自然科学版）》2004年第2期199-202,共4页郑剑铭 王凌云 王明亮 孙道恒 
福建省自然科学基金(A0110003);福建省科技计划重点项目(2002H022)资助
针对微机械隧道陀螺仪输出信号的特点,设计出陀螺仪隧道电流的检测及校准电路.同时从理论上对电路进行误差分析,并对电路的实际安装技术进行了讨论.最后通过实际电路验证了该设计的可行性.
关键词：微机械隧道陀螺仪 隧道电流 微弱信号 检测 惯性传感器 扫描隧道显微镜 
微尖的两种制作工艺
《传感器技术》2004年第2期74-76,79,共4页王明亮 王艳华 郑剑铭 孙道恒 
福建省自然科学基金(A0110003);福建省科技计划重点项目(2002H022)
描述各向异性腐蚀结合键合和各向异性腐蚀结合电镀来制作微尖的方法,利用这两种方法制作出了针尖直径小于25nm的金字塔形微尖,通过实验证明:这是两种有良好可控性和工艺要求不高的制作方法。微尖的成功制作为传感器微型化提供了一种很...
关键词：微尖 制作工艺 各向异性 电镀 传感器微型化 
硅尖的制备及在传感器技术中的应用被引量：1
《传感器技术》2003年第6期58-61,共4页王艳华 王明亮 孙道恒 马海阳 
福建省自然科学基金(A0110003);福建省科技计划重点项目(2002H022)
介绍了硅尖的制备及其在传感器技术中的应用。硅尖的制备方法可与现代IC工艺兼容且易削尖,故比其它材料微尖更实用。硅尖的应用随着制备工艺的改进与其它相关技术的进步必将得到新的开发。
关键词：硅尖 刻蚀 微加工技术 传感器 
电子隧道效应在微机械振动陀螺中的应用被引量：1
《泉州师范学院学报》2001年第6期29-32,共4页李文望 孙道恒 
福建省自然科学基金 (A0 110 0 0 3) .
简介微机械振动陀螺的工作原理和电子隧道效应原理 ,电子隧道效应在敏感微小位移的变化有极高的灵敏度 ,已成功地应用在加速度计、红外探测器、磁强针等微传感器上 .本文提出把电子隧道效应应用到微机械振动陀螺的输出检测 ,并分析了输...
关键词：微机械陀螺 电子隧道效应 结构设计 振动位移 输出检测 角振动 线振动 
全选清除导出
共1页<1>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部