湖北省科技攻关计划(2002AA105A02)

作品数：30被引量：95H指数：5
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相关作者：汪建华王升高满卫东王传新马志斌更多>>
相关机构：武汉工程大学武汉化工学院中国科学院等离子体物理研究所湖北省等离子体化学与新材料重点实验室更多>>
相关期刊：《激光与光电子学进展》《辽宁石油化工大学学报》《金刚石与磨料磨具工程》《应用化工》更多>>
相关主题：金刚石薄膜化学气相沉积金刚石金刚石膜附着力更多>>
相关领域：理学一般工业技术化学工程金属学及工艺更多>>
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三步酸蚀去钴对金刚石薄膜附着力影响的研究被引量：3
《硬质合金》2008年第2期95-100,共6页邢文娟 汪建华 王传新 皮华滨 陈宁 
湖北省科技攻关计划支持项目(项目编号2002AA105A02);湖北省教育厅2004年创新团队支持项目
用热丝化学气相沉积(HFCVD)制备金刚石薄膜涂层之前,采用两步酸腐蚀和三步酸腐蚀对WC-Co硬质合金(YG6)基体表面进行去Co预处理。SEM形貌观察、X射线衍射谱和EDAX能谱分析都表明,与两步腐蚀方法相比,三步酸腐蚀处理表面去Co效果更加好,...
关键词：硬质合金 金刚石薄膜 三步酸蚀法 两步酸蚀法 附着力 
氧等离子体处理硬质合金表面对金刚石薄膜附着性能的影响
《人工晶体学报》2008年第3期689-693,698,共6页邢文娟 汪建华 王传新 皮华滨 余学超 
湖北省科技攻关计划(No.2002AA105A02);湖北省教育厅2004年创新团队项目
本文采用微波氧等离子体刻蚀硬质合金基体表面,再利用热的浓碱溶液清除硬质合金表面所形成的氧化物,通过扫描电镜(SEM)观察了试样表面情况,并通过X射线能谱(EDAX)分析了硬质合金表面各成分变化情况。经过预处理的试样采用热丝化学气相沉...
关键词：氧等离子体 金刚石薄膜 硬质合金刀具 附着性能 
热丝CVD法制备大面积金刚石厚膜被引量：2
《武汉工程大学学报》2008年第1期80-82,共3页熊军 汪建华 王传新 邢文娟 谢鹏 皮华滨 吴斌 
湖北省科技攻关计划(2002AA105A02);湖北省高等学校优秀中青年科技创新团队资助项目
采用热丝化学气相沉积(HFCVD)设备与工艺,在直径为90 mm的钨基体上,以丙酮为碳源,制备了(111)取向的大面积金刚石厚膜,厚膜平均厚度达到1.2 mm.用X-ray衍射、扫描电子显微镜(SEM)和拉曼光谱(Raman)对金刚石厚膜的织构、形貌和成分进行...
关键词：热丝化学气相沉积 金刚石厚膜 质量 纯度 
基片温度对金刚石厚膜生长的影响被引量：6
《武汉工程大学学报》2008年第1期83-86,共4页熊礼威 汪建华 满卫东 曹菊琴 谢鹏 
湖北省科技攻关计划(2002AA105A02);湖北省高等学校优秀中青年科技创新团队资助计划项目
采用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)法制备了Φ60 mm的金刚石厚膜,通过对沉积过程和结果的观察发现,由于所用沉积气压较高,基片不同区域温度不均匀,导致不同区域沉积的金刚石厚膜晶型差距较大.通过对不同区域的结果进行比较,发现850...
关键词：化学气相沉积 金刚石厚膜 微波等离子体 
微型硬质合金钻头上金刚石涂层研究被引量：6
《金刚石与磨料磨具工程》2007年第6期23-26,30,共5页邢文娟 王升高 陈宁 汪建华 王传新 吴雪梅 
湖北省科技攻关计划项目(2002AA105A02);湖北省教厅重点项目(2007)支持
WC-Co硬质合金钻头经过短时间酸腐蚀和微波等离子体硼氮化处理后,利用热丝CVD方法生长金刚石薄膜,并在电路板和玻璃板上进行了附着力测试。研究表明:钻头垂直于热丝放置,钻头端部为最高硬度的(111)面,有利于改善钻头切削加工性能;短时...
关键词：金刚石薄膜 硼氮化处理 硬质合金钻头 附着力 
热丝化学气相沉积法制备金刚石薄膜的生长取向及内应力研究
《材料导报》2007年第S2期305-308,共4页邢文娟 汪建华 王传新 
湖北省科技攻关计划支持(项目编号2002AA105A02);湖北省教育厅2004年创新团队项目支持
采用热丝化学气相沉积法在YG6硬质合金基体上制备出了金刚石薄膜,研究了基片与热丝间的距离以及负偏压对金刚石薄膜的生长取向和内应力的影响。采用扫描电子显微镜对沉积得到的金刚石薄膜的生长取向进行了表征,利用激光Raman光谱对金刚...
关键词：热丝化学气相沉积 金刚石薄膜 薄膜生长取向 内应力 
铁刻蚀CVD金刚石膜辅助机械抛光
《硬质合金》2007年第4期207-210,共4页邢文娟 汪建华 满卫东 严朝辉 谢鹏 
湖北省科技攻关计划(2002AA105A02);湖北省高等学校优秀中青年科技创新团队资助项目
采用直流溅射方法在化学气相沉积(CVD)金刚石膜表面镀上一层铁薄膜,在氢等离子体条件下利用铁对金刚石膜的快速刻蚀实现初抛光,然后再进行机械抛光,提高抛光效率。
关键词：CVD 金刚石膜 微波等离子体 刻蚀 抛光 
CVD金刚石厚膜的机械抛光研究被引量：17
《金刚石与磨料磨具工程》2007年第3期32-35,共4页严朝辉 汪建华 满卫东 熊军 
湖北省科技攻关计划项目(2002AA105A02);湖北省高等学校优秀中青年科技创新团队资助计划项目
化学气相沉积(CVD)制备的金刚石膜表面粗糙且厚薄不均匀,在许多情况下不能直接使用,必须对其进行抛光。本文研究了不同型号的金刚石微粉对CVD金刚石厚膜研磨的影响,通过对研磨结果的比较分析,优化出一种高质量高效率的抛光方法,即先采用...
关键词：CVD金刚石膜 研磨 抛光 
射频溅射法生长ZnO薄膜的参数研究被引量：3
《微纳电子技术》2007年第5期250-253,共4页耿茜 汪建华 王升高 
湖北省科技攻关计划(2002AA105A02)
以ZnO陶瓷为溅射靶材,通入纯氩气,使用射频溅射法在玻璃基片上制备ZnO薄膜,研究了气体压强、基片温度、溅射功率等对薄膜性质的影响。通过XRD及原子力显微镜(AFM)等检测得出制备C轴(002)ZAO薄膜的最佳工艺条件为:溅射压强0.4Pa;溅射功率...
关键词：ZnO陶瓷靶材 薄膜 射频 X射线衍射分析 原子力显微镜 
激光切割CVD金刚石厚膜的工艺研究被引量：2
《工具技术》2007年第4期21-23,共3页熊军 汪建华 王传新 严朝辉 王亚 
湖北省科技攻关计划项目(项目编号:2002AA105A02);湖北省高等学校优秀中青年科技创新团队资助项目
本文利用Nd:YAG激光器对0.4mm厚的CVD金刚石膜进行切割,用扫描电子显微镜(SEM)研究了激光脉冲能量、脉冲宽度和脉冲频率等工艺参数对金刚石厚膜切割的影响。研究结果表明,在脉冲电流高于200A和减小脉冲电流至150A、脉冲宽度为2ms时能一...
关键词：激光 切割 CVD金刚石厚膜 
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