国家高技术研究发展计划(2003AA404150)

作品数：10被引量：11H指数：2
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MEMS器件中电极制作工艺的研究被引量：5
《微细加工技术》2005年第3期53-56,共4页张清涛 李艳秋 
中国科学院"引进国外杰出人才基金"2001年资助项目(20011215);国家863MEMS重大专项基金资助项目(2003AA404150)
研究了常用的国产BP212正型紫外光刻胶和光学曝光机在利用剥离工艺制备电极中的适用性。结果表明,采用国产的光刻胶和曝光设备完全可以得到实用性的带有凹面的光刻胶剖面和线条均匀性达到微米级的金属线条,简化了lift-off工艺,降低了成...
关键词：光刻胶 剥离工艺 电极 
Pb(Sc_(1/2)Ta_(1/2))O_3铁电薄膜的制备及性能研究
《压电与声光》2005年第2期142-144,159,共4页刘梅冬 曾亦可 邓传益 姜胜林 李元昕 李艳秋 刘少波 
国家"八六三"计划先进制造与自动化技术领域资助项目(2003AA404150);国家"八六三"计划新材料领域资助项目(2002AA325080);国家自然科学基金重大研究计划资助项目(90201028)
用Pb(CH3COO)2·3H2O、Sc(CH3COO)3·xH2O和C10H25O.5Ta为原材料,乙二醇甲醚为溶剂,用改进的溶胶-凝胶(Sol-Gel)法在Pt/Ti/SO2/Si基片上成功地制备出ABO3钙钛矿型结构Pb(Sc1/2Ta1/2)O3(PST)铁电薄膜。该薄膜是研制铁电微型致冷器和非致...
关键词：铁电薄膜 Pb(Sc1/2Ta1/2)O3 溶胶-凝胶 铁电性 热释电性 
极紫外光刻真空工件台技术研究被引量：1
《微细加工技术》2005年第1期32-37,共6页朱涛 李艳秋 
中国科学院"引进国外杰出人才基金"2001年资助项目(20011215);国家863MEMS重大专项基金资助项目(2003AA404150)
在极紫外光刻系统中,真空工件台的运行精度、速度、加速度以及动态定位和扫描同步性能是影响整机成像质量、套刻精度和产率的重要因素。结合极紫外光刻机的工作原理和发展现状,论述了极紫外光刻机真空工件台系统的特征、组成及其关键技术。
关键词：极紫外光刻机 工件台 真空 控制 
微型MEMS致冷器的研究新动向
《压电与声光》2005年第1期30-33,共4页刘少波 李艳秋 刘梅冬 曾亦可 
国家"八六三"计划基金资助项目(2003AA404150);中科院"引进国外杰出人才基金"2001年基金资助项目
微机电系统(MEMS)与超大规模集成电路(ULIC)进一步微型化与集成化,急需微型冷却系统对其芯片等进行局部冷却。因此,基于硅微机械加工工艺的微型致冷器被提上研究日程,并有望发展成为无压缩机、无机械部件的新型致冷器。着重介绍了微型M...
关键词：微型MEMS致冷器 pn结热电薄膜 铁电薄膜 电生热效应 塞贝克效应 
O.9Pb(Mg1/3Nb2/3)O3-O.1PbTiO3功能铁电薄膜的制备及其电性能研究
《中国机械工程》2005年第z1期359-362,共4页张清涛 李艳秋 尚永红 刘少波 
中国科学院"引进国外杰出人才基金"2001年资助项目(20011215);国家863高技术研究发展计划资助项目(2003AA404150)
利用溶胶凝胶(sol-gel)技术制备Pb(Mg1/3Nb2/3)O3-PbTiO3(PMNT)铁电薄膜,研究了不同的溶剂对溶胶的配制和溶胶稳定性的影响,得到了可以长期稳定放置的溶胶;采用热重分析和差热分析的方法研究了凝胶的热解过程,确定了420℃为溶胶的热解温...
关键词：Pb(Mg1/3Nb2/3)O3-PbTiO3(PMNT) 溶胶凝胶 铁电薄膜 钙钛矿相 
多级MEMS铁电制冷器有限元分析
《中国机械工程》2005年第z1期260-262,共3页尚永红 李艳秋 张清涛 刘少波 
国家863高技术研究发展计划资助重大项目(2003AA404150);中国科学院引进国外杰出人才基金资助项目(20011215)
在试验的基础上,利用有限元方法建立数学模型,从理论上对多级MEMS铁电制冷器在不同工况下的温度场进行了研究.数值计算结果表明,所有制冷片同时工作时温降比交替工作时要大,在同工况下,层间加压有时间差有利于减弱温度波动,这对研究MEM...
关键词：MEMS 铁电制冷 微型制冷器 PMNT 有限元法 
非制冷型热释电薄膜红外探测器的制备及应用被引量：2
《激光与红外》2004年第1期14-17,共4页刘少波 李艳秋 
国家自然科学基金重大研究计划资助项目(90201028);国家"863"计划资助项目(2003AA404150)。
介绍了室温非制冷型热释电薄膜红外探测器的原理和优势。从热释电材料的选择及器件的结构设计等方面阐述了热释电薄膜红外探测器的制备技术和研究动向,并归纳了器件的主要应用领域。
关键词：热释电 薄膜 红外探测器 非制冷 性能参数 
热释电薄膜单片式非致冷红外焦平面阵列的研究被引量：2
《微纳电子技术》2003年第11期9-12,共4页刘少波 李艳秋 刘梅冬 
中国科学院"引进国外杰出人才基金"2001年资助项目;国家自然科学基金重大研究计划资助项目(90201028);国家"863"计划资助项目(2003AA404150)
采用改进的溶胶-凝胶(sol-gel)技术,在Pt/Ti/SiO2/Si3N4/SiO2/Si基片上研制出具有优良热释电性能的BST,PLT和PZT铁电薄膜,它们是制备单片式非致冷红外焦平面阵列的优选探测材料。解决了制备热释电薄膜单片式非致冷红外焦平面阵列的关键...
关键词：单片式 非致冷红外焦平面阵列 热释电 铁电薄膜 sol-gel技术 刻蚀 
新型MEMS微致冷器可行性研究
《微细加工技术》2003年第4期51-56,共6页李艳秋 刘少波 刘梅冬 曾亦可 
中国科学院"引进国外杰出人才基金"2001年资助项目(20011215);国家863MEMS重大专项基金资助项目(2003AA404150)
MEMS的高能量密度驱动和IC高度集成使MEMS器件产生较强的热效应,影响了MEMS器件的稳定性和寿命。传统的致冷器与待致冷器件是相对独立的器件,无法满足MEMS器件局部有效致冷和系统集成的要求。介绍了一种新型铁电薄/厚膜MEMS微致冷器的...
关键词：MEMS 微型致冷器 铁电薄膜 电热效应 Seeback效应 
0-3型(Ba_(1-x-y)Sr_xPb_y)(Mn,Ti)O_3铁电厚膜的制备与表征被引量：1
《微细加工技术》2003年第3期31-36,共6页刘少波 李艳秋 刘梅冬 曾亦可 
国家863计划资助项目(2003AA404150)
铁电纳米超细粉体的合成与分散技术是成功制备0-3型铁电厚膜的关键和难点之一。采用Sol-Gel技术可制备呈球形软团聚、钙钛矿相结构完整的30nm～70nmMPBST超细粉体,以及致密无裂纹、表面光洁和铁电性能优良(Pr=3.8μC/cm2)的0-3型铁电厚...
关键词：0-3型铁电厚膜 Sol-Gel技术 铁电纳米超细粉体 合成温度 均匀性 晶相结构 
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