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国家自然科学基金(50572007): 作品数：13被引量：43H指数：4; 导出分析报告; 相关作者：吕反修唐伟忠王耀华郭会斌贺琦更多>>; 相关机构：北京科技大学北京有色金属研究总院更多>>; 相关期刊：《材料热处理学报》《功能材料》《金属热处理》《人工晶体学报》更多>>; 相关主题：红外透过率金刚石CVD金刚石膜HFO2薄膜化学气相沉积更多>>; 相关领域：理学金属学及工艺电子电信一般工业技术更多>>

直流电弧等离子体CVD金刚石膜中氢杂质研究: 《人工晶体学报》2010年第1期48-51,56,共5页郭世斌姜春生吕反修唐伟忠李成明; 国家自然科学基金(No.50572007);博士点基金资助项目(20040008018); 运用傅里叶红外光谱(FT-IR)和核反应分析(NRA)对直流电弧等离子体制备的金刚石膜中的氢杂质进行了研究,并通过添加少量空气到反应气体的实验分析了氢杂质的变化。研究结果发现:红外光谱只能检测金刚石膜中的成键氢,其含量随着氮渗入量...; 关键词：CVD 金刚石膜氢杂质 FT—IR 核反应分析

化学气相沉积金刚石膜工具研究进展及产业化趋势被引量：3: 《航空制造技术》2009年第13期84-87,共4页吕反修; 国家自然科学基金项目(50572007和50872010)资助; 20多年来,CVD金刚石厚膜焊接工具和薄膜涂层工具的研究都已取得了十分显著的进展,关键性的技术问题已经基本解决,相关产品已经得到实际应用,近年来在国内外均已出现CVD金刚石工具产业,并已经形成了一定的市场规模。; 关键词：涂层工具化学气相沉积产业化金刚石膜金刚石厚膜金刚石工具焊接工具相关产品

光学级金刚石自支撑膜及其镀制Y_2O_3增透膜后的高温抗氧化性被引量：4: 《材料热处理学报》2009年第3期1-5,共5页郭会斌吕反修李成明黑立富王耀华; 国家自然科学基金(50572007);教育部博士点基金(20040008018); 为了提高金刚石膜的红外透过率和高温抗氧化性能,采用纯钇(Y)金属靶,使用直流反应磁控溅射法在光学级金刚石自支撑膜表面制备了Y2O3薄膜。对比研究了光学级金刚石自支撑膜和Y2O3/Diamond/Y2O3复合窗口的高温抗氧化性能,及氧化前后样品...; 关键词：化学气相沉积(CVD) 金刚石自支撑膜 Y2O3薄膜抗氧化性能

Particle erosion of infrared materials: 《Journal of University of Science and Technology Beijing》2008年第6期758-763,共6页Qi He Fanxiu Lv Fenglei Zhang Huibin Guo Junjun Wei; supported by the National Natural Science Foundation of China (No.50572007); Erosion test of some infrared （IR） optical crystals （Ge, ZnS, MgF2, and quartz） was conducted with a number of different erodents （glass bead, and angular SiC, SiO2, Al2O3） by a homemade gas-blasting erosion tes...; 关键词：solid particle erosion infrared optical materials erosion mechanism infrared transmittance

CVD金刚石膜新兴研究方向及市场现状与趋势被引量：11: 《金属热处理》2008年第11期1-5,共5页吕反修; 国家自然科学基金项目(50572007); CVD金刚石膜研究已经持续了30余年,但仍然充满活力,新的研究方向不断出现。纳米(和超纳米)金刚石膜、金刚石膜MEMs(微机电系统)和NEMs(纳机电系统)应用、大尺寸CVD金刚石单晶、金刚石膜电化学应用和生物医学应用是当前CVD金刚石膜的研...; 关键词：CVD(化学气相沉积)金刚石膜新兴研究方向市场发展趋势

反应磁控溅射法制备HfO_2金刚石红外增透膜被引量：4: 《人工晶体学报》2008年第6期1355-1360,共6页郭会斌王凤英贺琦魏俊俊王耀华吕反修; 国家自然科学基金(No.50572007);教育部博士点基金(No.20040008018); 采用纯铪(Hf)金属靶,在氧+氩反应气氛中进行了HfO2薄膜直流反应磁控溅射沉积。首先在单晶硅片上沉积薄膜,研究工艺参数改变对薄膜的影响,然后选择较优的工艺在金刚石表面沉积符合光学厚度的薄膜,达到增透减反射效果。利用X射线光电子能...; 关键词：HFO2薄膜反应磁控溅射法红外透过率增透

反应磁控溅射法制备Y_2O_3金刚石红外减反膜被引量：3: 《金刚石与磨料磨具工程》2008年第3期10-14,18,共6页郭会斌魏俊俊王耀华贺琦吕反修唐伟忠; 国家自然科学基金(项目编号:50572007);教育部博士点基金(项目编号:20040008018)资助项目; 采用纯钇（Y）金属靶,在氧＋氩反应气氛中进行了Y2O3薄膜直流反应磁控溅射沉积。研究了工艺参数改变对薄膜的影响,选择较优的工艺在金刚石表面沉积符合光学厚度的薄膜,达到增透减反射效果。利用X射线光电子能谱（XPS）和扫描电子显微镜...; 关键词：Y2O3薄膜反应磁控溅射法红外透过率减反射

HfO2薄膜反应磁控溅射沉积工艺的研究被引量：3: 《人工晶体学报》2008年第1期70-75,共6页贺琦王宏斌张树玉吕反修杨海苏小平; 国家自然科学基金(No.50572007);教育部高等学校博士学科点专项科研基金(No.20040008018)项目; 采用纯铪(Hf)金属靶,在氧和氩反应气氛中进行了HfO2薄膜反应磁控溅射沉积,研究了电源功率、O2/Ar比例和工作气压对薄膜组成及薄膜沉积过程的影响。对制备的HfO2薄膜进行了退火处理,利用X射线衍射仪(GIXRD)、红外波谱仪(FT-IR)和场发射...; 关键词：HFO2薄膜反应磁控溅射沉积红外透过率

直流电弧等离子体喷射在金刚石膜制备和产业化中的应用被引量：11: 《金属热处理》2008年第1期43-48,共6页吕反修唐伟忠李成明宋建华黑立富; 国家自然科学基金项目(50572007); 综述了北京科技大学在直流电弧等离子体喷射CVD金刚石膜沉积系统研制和改进及大面积高质量(包括光学级)金刚石自支撑膜沉积的研究进展和产业化状况。用同样技术研发出了可用于复杂形状硬质合金工具金刚石膜涂层工具批量生产的强电流直...; 关键词：直流电弧等离子体喷射金刚石自支撑膜金刚石膜涂层硬质合金工具产业化

自支撑金刚石膜冲蚀磨损研究被引量：1: 《金刚石与磨料磨具工程》2007年第4期8-12,共5页贺琦张凤雷魏俊俊郭会斌吕反修; 国家自然科学基金资助项目(No.50572007);教育部高等学校博士点基金(No.20040008018)资助项目; 在研制的高压气动冲蚀磨损实验系统中对自支撑金刚石膜(抛光和未抛光)的冲蚀磨损进行了研究。比较了冲蚀磨料(SiO2,Al2O3,SiC和玻璃珠)、冲蚀角度、冲蚀速度,以及冲蚀时间对冲蚀磨损率的影响。利用扫描电子显微镜(SEM)观察了冲蚀磨损后...; 关键词：自支撑金刚石膜冲蚀磨损冲蚀机理冲蚀磨损率红外透过率

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