国家科技重大专项(2009ZX02012)

作品数：15被引量：65H指数：4
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相关作者：徐方曲道奎黄玉钏邹风山李学威更多>>
相关机构：中国科学院中国科学院研究生院沈阳新松机器人自动化股份有限公司东北大学更多>>
相关期刊：《计算机仿真》《组合机床与自动化加工技术》《电气传动》《中国机械工程》更多>>
相关主题：运动学真空动力学晶圆偏心更多>>
相关领域：自动化与计算机技术机械工程金属学及工艺电气工程更多>>
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肖像机器人运动学建模与路径规划被引量：1
《机械设计与制造》2016年第1期235-237,242,共4页余晓兰 牛玉会 郝明 姜芳芳 
国家科技重大专项IC装备机械手及晶圆传输系统系列产品研发与产业化(2009ZX02012);沈阳市工业科技攻关项目(F12-010-2-00);全国教育科学规划重点课题(DBC2012039);重庆市资助课题(113296)
针肖像机器人绘画问题,为探讨和研究肖像机器人运动学和插值方法,利用各关节连杆的相对关系得到了正、反运动学描述。首先,规定了Home初始位,同时利用MDH法建立了坐标系,分析了其结构及连杆参数。然后,利用MATLAB数学工具箱验证了运动...
关键词：肖像机器人 双三次插值 运动学 MATLAB工具箱 
单臂SCARA真空手运动学建模与仿真被引量：12
《机械设计与制造》2014年第8期183-185,共3页赵彬 刘振宇 邹风山 蒋哲文 
国家高技术研究发展863计划(2012AA041405);国家科技重大专项IC装备机械手及晶圆传输系统系列产品研发与产业化(2009ZX02012);沈阳市工业科技攻关项目(No.F12-010-2-00)
由于SCARA机器人水平运动方向上柔性高,而垂直运动方向刚度强,被广泛应用于搬运作业。针对单臂SCARA真空手运动学建模问题,建立了基于robot工具箱的机械臂仿真实验平台。单臂SCARA机器人具有3个自由度,可实现水平、圆周和垂直运动。首...
关键词：真空手 单臂SCARA 仿真平台 运动学 Robot工具箱 
FROG-LEG型真空机械手的动力学建模与仿真被引量：1
《中国机械工程》2014年第4期471-475,490,共6页黄玉钏 曲道奎 徐方 
国家重大科技专项(2009ZX02012)
根据FROG-LEG型真空机械手的结构特点,提出了其等效的串联结构运动学模型,并求出了运动学的正反解。将FROG-LEG型真空机械手动力学问题分为水平和垂直两个方向进行讨论,用牛顿-欧拉法求出了两个方向的动力学方程。最后利用MATLAB机器人...
关键词：真空机械手 运动学 牛顿-欧拉法 动力学仿真 
预对准机与机械手相对坐标系标定
《机械设计与制造》2013年第7期185-187,共3页李学威 冯亚磊 张鹏 栾显晔 张金果 
国家科技重大专项/IC装备机械手及硅片传输系统系列产品研发与产业化(2009ZX02012)
在对预对准机建模仿真的基础上,根据晶圆预对准的误差精度分析结果,利用误差转化的方法将预对准机自身误差转化成预对准机与机械手相对坐标系误差,从而实现预对准机自身与相对坐标系的综合标定。针对预对准机与机械手相对坐标系的标定...
关键词：晶圆预对准机 晶圆传输机器人 建模仿真 标定方法 相对坐标系 误差补偿 
新型真空传输机械手设计研究被引量：3
《机械设计与制造》2013年第6期197-199,共3页李学威 冯亚磊 马壮 王凤利 张金果 
国家科技重大专项/IC装备机械手及硅片传输系统系列产品研发与产业化(2009ZX02012)
作为半导体行业的关键元件,晶圆对晶圆传输机械手的要求非常高。针对传统真空机械手在刚度、洁净度及寿命等方面的不足,提出一种新型连杆式真空传输机械手结构,可实现平面内任意直线轨迹规划运动,不仅结构简单,洁净度高,而且有效的提高...
关键词：晶圆 真空传输机械手 控制特性 轨迹规划 同步控制 运动精度 
FROG-LEG型真空机械手的动力学控制研究被引量：3
《四川大学学报（工程科学版）》2013年第3期158-163,共6页黄玉钏 曲道奎 徐方 
国家科技重大专项资助项目(2009ZX02012)
为了解决FROG-LEG型真空机械手平稳运行的控制问题,首先根据机械手的结构特点,将该类机械手动力学分为水平和垂直2个方向进行讨论,利用拉格朗日动力学方程建立了2个方向的动力学模型;其次在真空机械手的动力学模型上分析了真空机械手动...
关键词：真空机械手 动力学 拉格朗日方程 转子磁链定向 动力学仿真 
晶圆预对准系统建模及仿真被引量：4
《机械设计与制造》2013年第3期184-187,共4页孙义田 李学威 张一博 何书龙 张鹏 
国家科技重大专项-IC装备机械手及硅片传输系统系列产品研发与产业化(2009ZX02012)
为了对晶圆预对准过程进行建模及仿真,建立了晶圆边缘数据采集模型,其重点在于缺口模型的建立。首先采用分段函数法对晶圆边缘曲线进行建模,再根据几何关系分段建立晶圆边缘数据采集模型。最后,根据所采集到的晶圆边缘的数据分别采用不...
关键词：晶圆预对准 偏心 缺口 建模仿真 
晶圆预对准系统误差仿真分析被引量：1
《组合机床与自动化加工技术》2013年第2期11-13,18,共4页李学威 孙义田 何伟全 张鹏 陈守良 
国家科技重大专项(2009ZX02012)
为了系统的研究各参数对晶圆预对准精度的影响,建立了晶圆边缘数据采集模型,实现了在不同条件下包括缺口在内的晶圆边缘完整数据的采集,并在此基础上采用目前较为常见的预对准算法对晶圆的偏心及缺口位置进行计算,再将计算结果与设定的...
关键词：晶圆预对准 偏心 缺口 转动中心偏置 CCD 
真空并联机器人轨迹规划仿真被引量：4
《计算机仿真》2012年第12期211-215,228,共6页黄玉钏 曲道奎 徐方 
国家科技重大专项IC装备机械手及硅片传输系统系列产品研发与产业化(2009ZX02012)
为了实现FROG-LEG型真空并联机器人准确经过多个中间位姿点的路径规划,研究了类机器人NURBS曲线路径规划的关键问题。通过建立FROG-LEG型并联机器人等效的串联运动学模型,获得了机器人运动学的正反解,在运动学基础上设计了该类机器人基...
关键词：真空并联机器人 运动学 轨迹规划 非均匀有理样条曲线 
基于自然正交补的真空机器人动力学建模被引量：8
《机器人》2012年第6期730-736,共7页黄玉钏 曲道奎 徐方 
国家科技重大专项资助项目(2009ZX02012)
基于自然正交补方法,推导出了一种真空并联机器人简洁的动力学模型.首先得到真空并联机器人的等效串联模型,并获取其运动学正反解.然后用利用自然正交补的理论给出真空机器人的动力学模型.通过仿真实验,可以验证该方法的可行性和有效性.
关键词：自然正交补 真空机器人 动力学 
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