国家高技术研究发展计划(2002AA404450)

作品数：16被引量：140H指数：7
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相关作者：欧阳航空程维明孙麟治陆林海李鸣鸣更多>>
相关机构：上海大学上海工程技术大学哈尔滨工业大学更多>>
相关期刊：《机械制造》《上海大学学报（自然科学版）》《光学精密工程》《哈尔滨工业大学学报》更多>>
相关主题：分辨率纳米PMAC工作台误差补偿更多>>
相关领域：自动化与计算机技术机械工程电子电信金属学及工艺更多>>
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提高精密工作台定位精度的温度补偿研究被引量：2
《机械设计与制造》2010年第3期112-114,共3页姜克壮 程维明 欧阳航空 
国家"863"高技术研究发展计划资助项目(2002AA404450);教育部高等学校重点学科建设资助项目(Y0102);上海市重点学科建设资助项目(BB67)
精密定位工作台温度的变化直接影响工作台的定位精度。通过建立精密定位工作台热膨胀模型,分析工作台在不同固定方式下的温度变化对定位精度的影响,给出了基于温度精密测量的工作台定位精度实时补偿方法,并通过实验对补偿方法的效果进...
关键词：精密定位工作台 温度 误差补偿 定位精度 
纳米工作台定位控制研究被引量：1
《机械制造》2009年第1期7-9,共3页韩颖 陆林海 
国家"863"高技术研究发展计划项目(编号:2002AA404450);教育部高等学校重点学科建设资助项目(编号:Y0102);上海市重点学科建设资助项目:(编号:BB67)
介绍了基于宏微两级驱动方式的纳米工作台定位系统,重点在对宏微动态切换时宏动台固定与否对其自身振动情况的影响进行测试分析。研究表明,宏动台被锁定后可以明显减小其台面振动幅度,对后面微动台以及整个系统定位精度的提高起着关键...
关键词：纳米工作台 精密定位 宏运动 微运动 
基于VB的宏微两级定位平台精度评定软件系统开发
《计算机应用与软件》2008年第6期44-45,83,共3页张鹏宇 华晓青 欧阳航空 
国家高新技术863计划(2002AA404450)
介绍了一种用于宏微两级精密定位平台精度评定的软件系统,包括系统的评定标准、评定方法以及软件系统的组成。该系统基于VB开发,实现了对定位平台进行精度评定所需数据的采集、处理、保存以及评定结果的显示。给出了软件系统的界面及评...
关键词：VB 精密定位 精度评定 评定标准 
利用补偿提高精密定位平台的定位精度被引量：13
《光学精密工程》2008年第5期884-888,共5页程维明 孙麟治 章海涛 
国家“863”高技术研究发展计划资助项目(No.2002AA404450);教育部高等学校重点学科建设资助项目(No.Y0102);上海市重点学科建设资助项目(No.BB67)
运用反相补偿法原理,从误差曲线中分离出系统误差并与其反相曲线叠加以消除系统误差的影响。给出了对精密定位平台宏动工作台和微动工作台进行补偿的具体实例,补偿后定位误差分别从17.4μm改善到1.3μm和从137.6nm改善到22.2 nm。理论...
关键词：精密定位工作台 系统误差 反相补偿法 
基于PMAC控制器的纳米定位系统接口电路被引量：1
《机电工程》2007年第3期1-3,共3页王强 陆林海 
国家863计划资助项目(2002AA404450)
研究了基于可编程多轴控制器运动控制卡的宏微两级精密定位控制系统,介绍了如何通过该控制卡的电路设计以达到对工作台的纳米级定位,并由实验验证了系统的可靠性。研究表明,该系统工作台的定位精度高。
关键词：纳米定位 电路设计 可编程多轴控制器 
精密定位中的激光干涉测量误差分析被引量：13
《上海工程技术大学学报》2006年第4期287-290,共4页程维明 葛轶君 
国家863高新技术研究发展计划资助项目(2002AA404450)
高精度定位平台通常以激光干涉仪为测量基准。根据测量原理,激光干涉仪的测量误差应为定位平台误差的1/3-1/2,这样才能保证测量结果的可信性。为此,对影响激光干涉仪测量精度的诸多因素作了分析,并在分析的基础上进行误差计算。计算结...
关键词：精密定位 误差分析 激光干涉仪 
一种MEMS自动微装配机器人被引量：7
《哈尔滨工业大学学报》2006年第7期1013-1016,共4页谢晖 孙立宁 荣伟彬 陈立国 
国家高技术研究发展计划资助项目(2002AA404450).
介绍用于MEMS自动微装配的机器人系统的构成,讨论组成该系统的若干关键技术,包括宏/微精密定位技术、显微视觉系统、微夹持器的设计、系统的标定以及装配策略．集成各单元技术,以外径＜2 mm的微行星齿轮减速器为示范装配对象,研制能够...
关键词：微装配机器人 MEMS 自动装配 微行星齿轮减速器 
纳米定位系统动态误差灰色模型补偿方法研究被引量：7
《光学精密工程》2006年第1期89-93,共5页李鸣鸣 龚振邦 程维明 孙麟治 
国家"863"计划资助项目(No.2002AA404450)
对等步距多工位工作的纳米工作台,采用灰色模型能够同时对定位误差中的系统误差和随机误差进行动态补偿。讨论了提高灰色模型精度的方法,建立了改进背景值的等维新息GM(1,1)灰色预测模型。用5μm步距定位误差进行了一步预测分析,结果表...
关键词：纳米定位 定位误差 灰色模型 预测 动态补偿 
一种基于图像处理的亚像素测量方法被引量：6
《上海大学学报（自然科学版）》2005年第5期485-489,共5页章海涛 程维明 
国家"863"高技术研究发展计划资助项目(2002AA404450)
该文提出了一种基于图像处理的像素灰度值加权平均法的基本原理及计算公式,通过该方法可以有效地测量图像亚像素级精度移动.同时,还分析了影响该方法的测量误差的因素,并利用实验来验证其有效性.
关键词：加权平均法 亚像素 图像处理 测量 
MEMS器件微装配系统的设计与研制被引量：3
《中国机械工程》2005年第14期1226-1228,1232,共4页陈立国 孙立宁 荣伟彬 谢晖 
国家863高技术研究发展计划资助项目(2002AA404450);国防基础研究项目(k1401060130)
在分析微装配特点的基础上,讨论了微装配系统的功能需求和组成。提出了一种新型MEMS器件微装配系统设计方案,描述了系统样机关键技术模块的研制方案。以微型光谱分析仪极板对准为示范目标开展了实验研究,结果表明该系统适用于典型MEMS...
关键词：微装配 MEMS 显微视觉 作业工具 
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