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一种集成型双稳态微电磁继电器工艺及动态性能的研究被引量：1
《南京师大学报（自然科学版）》2010年第3期40-44,共5页孔令飞 戴旭涵 苗晓丹 丁桂甫 赵小林 
国家自然科学基金(50405013);国家“863”计划资助项目(2006AAO4Z360)
介绍了一种集成型双稳态微电磁继电器,利用金属基表面微加工技术和体微加工技术成功完成了弹簧和起气隙作用的SU-8垫片的集成制造.用Ansys和Matlab软件对其进行初步的研究设计仿真,证明了设计的可行性.并研究了该继电器的双稳态性能,分...
关键词：微机电系统 电磁继电器 碰撞 动态测试 
柔顺双稳态机构的研究现状与进展被引量：1
《传感器与微系统》2010年第7期1-3,7,共4页王娟 吴义伯 张丛春 丁桂甫 
由于柔顺机构和双稳态机构分别所具有的独特优势,已使柔顺双稳态机构成为目前国内外研究的新热点。综合论述了基于MEMS技术的柔顺双稳态机构的最新研究成果,根据柔顺双稳态机构的驱动机制,系统介绍了机械锁定型、电热锁定型、磁致锁定...
关键词：柔顺机构 双稳态 锁定机构 微机电系统 
一种新型MEMS双稳态微电磁驱动器的研究被引量：4
《传感器与微系统》2009年第6期117-120,共4页张晓鹏 戴旭涵 苗小丹 丁桂甫 赵小林 
国家自然科学基金资助项目(50405013);国家"863"计划资助项目(2006AA04Z360)
介绍了一种新型MEMS双稳态微电磁驱动器,通过理论分析和有限元分析工具Ansys对器件的结构参数进行了优化设计,并证明了设计的可行性。利用金属基表面微加工技术与体硅微加工技术成功制作出这种驱动器,并对其弹性平台的弹性系数进行了标...
关键词：微机电系统 电磁驱动 微电铸 湿法腐蚀 
基于UV-LIGA技术的电磁型射频MEMS开关的集成制作被引量：1
《微细加工技术》2007年第5期56-60,共5页张永华 欧阳炜霞 汪红 丁桂甫 蔡炳初 赖宗声 
国家863计划资助项目(2003AA404140);信息产业部电科院预研资助项目(41308050116);国家自然科学基金资助项目(60676047);上海-应用材料研究发展基金资助项目(06SA11);上海交通大学优秀博士学位论文基金资助项目
电磁型MEMS开关比静电式的结构复杂,一体化集成加工困难。对于新型电磁驱动双稳态RF MEMS开关进行了材料的选择,并对一些主要材料的电镀和悬空结构的制备与释放进行了工艺优化研究。经过工艺整合,实现了电磁型RF MEMS开关的多种非硅材...
关键词：微机电系统 射频开关 双稳态 电磁驱动 集成加工 
新型RF MEMS开关的动态表征
《华东师范大学学报（自然科学版）》2007年第5期118-122,140,共6页张永华 刘蕾 丁桂甫 蔡炳初 赖宗声 
国家863计划(2003AA404140);信息产业部电科院预研(41308050116);国家自然科学基金(60676047);上海-应用材料研究发展基金(06SA11);上海交通大学优秀博士学位论文基金
一种基于UV-LIGA加工技术的双稳态电磁型RF MEMS开关,由于其结构使用了永磁体单元而使得开关在维持"开"或"关"态时不需要功耗,从而实现低功耗的电磁驱动.利用非接触式Wyko NT1 100光学轮廓仪所附带的动态测量系统(DMEMS),对开关的动态...
关键词：微电子机械系统 射频开关 双稳态 动态测量 
一种新型MEMS微驱动器的设计与仿真分析被引量：3
《传感器与微系统》2006年第12期85-88,共4页张永华 王艳 丁桂甫 马骏 赵小林 蔡炳初 
国家"863"计划资助项目(2003AA404140);国家自然科学基金资助项目(10377009);教育部科学技术研究重大项目(0307)
提出并设计了具有双稳态功能的新型电磁型MEMS微驱动器结构形式。微驱动器由导磁的两端固支的扭梁、两端可自由摆动的悬臂梁,以及永磁体、下磁路和平面线圈组成。永磁体的使用,实现了器件的双稳态功能,从而可以得到低功耗的磁驱动器。...
关键词：微电子机械系统 电磁型微驱动器 双稳态 有限元法 仿真分析 
一种新型双稳态微机电系统电磁微继电器的研制被引量：3
《上海交通大学学报》2006年第11期1947-1950,1954,共5页付世 丁桂甫 王艳 
上海市科技发展基金(05DZ22309);国家自然科学基金(10377009)资助项目
介绍了一种基于微机电系统(MEMS)技术的新型双稳态电磁微继电器的设计及其制作工艺,并对其主要性能进行了测试.利用换向脉冲电流驱动高效的“三明治”式电磁驱动结构,带动电接触刷的运动来控制外电路的通断;辅助设计的永磁稳定结构使器...
关键词：微机电系统 电磁微继电器 双稳态 
扭梁悬臂梁支撑的扭摆式MEMS永磁双稳态机构被引量：2
《Journal of Semiconductors》2006年第1期143-149,共7页姜政 丁桂甫 王艳 张东梅 王志明 冯建智 
教育部科学技术研究资助项目(批准号:0307)~~
在进行理论分析证实可行性和模拟仿真优化参数后,利用非硅表面微加工方法中的牺牲层工艺制备了一种扭梁悬臂梁支撑的扭摆式MEMS永磁双稳态机构.该双稳态结构尺寸为1.9mm×1.6mm×0.03mm,通过永磁力实现稳态姿态无功耗保持,通过对其单侧...
关键词：永磁 双稳态 MEMS 微继电器 
一种快速响应双稳态热执行器的结构设计
《微纳电子技术》2005年第10期469-472,共4页姜政 丁桂甫 张东梅 
国家高技术研究发展计划(863)项目(2003AA404140);国家自然科学基金资助项目(10377009)
利用ANSYS有限元分析软件并结合工艺条件,就其中的热执行按照快速响应的特点,对各结构参数与热执行器部件的驱动力、驱动位移、电阻、响应时间等驱动性能的影响进行了分析与仿真,从而得到了优化结构设计。此设计所要达到的目标是,热执...
关键词：热执行器 响应 微机电系统 结构设计 
纵向驱动MEMS永磁双稳态机构
《纳米科技》2005年第4期25-30,共6页姜政 丁桂甫 王艳 顾东华 王志明 冯建智 
教育部科学技术研究重大项目资助（0307）;电科院预研（41308050116）
在MEMS继电器中引入双稳态机构可以有效地减少功耗。在进行理论分析证实可行性和模拟仿真优化参数后，利用非硅表面微加工方法中的牺牲层工艺制备了一种扭梁悬臂梁支撑的扭摆式MEMS永磁双稳态机构。该双稳态结构尺寸为1．9mm×1．6mm×0...
关键词：永磁 双稳态 MEMS 微继电器 
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