微驱动

作品数：233被引量：645H指数：11
导出分析报告
相关领域：自动化与计算机技术机械工程更多>>
相关作者：孙立宁蔡炳初蔡鹤皋徐东章海军更多>>
相关机构：哈尔滨工业大学上海交通大学新科实业有限公司浙江大学更多>>
相关期刊：更多>>
相关基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划国家教育部博士点基金中国博士后科学基金更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

结果分析中...
选择条件：
  • 期刊=微纳电子技术x
共 条 记 录，以下是1-10
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
基于Si弹性层优化的悬臂梁式微压电驱动器被引量：1
《微纳电子技术》2021年第2期131-136,共6页王保志 董璇 张成功 王欢 李以贵 
国家自然科学基金资助项目(51035005);上海市科技兴农重点攻关项目(沪农科创字(2018)第3-3号);上海市“联盟计划”资助项目(LM201929)。
基于压电材料的逆压电效应,设计并制备了悬臂梁式微压电驱动器,通过电能到机械能的转换,完成装置的位移输出任务。基于悬臂梁式微压电驱动器的设计和仿真,得出该微驱动器Si弹性层的最佳厚度为0.12 mm,仿真结果显示压电层与弹性层厚度比...
关键词：微驱动器 压电材料 逆压电效应 悬臂梁 Si弹性层 共晶键合 
基于热模压和切削减薄工艺制备聚合物微静电驱动器被引量：1
《微纳电子技术》2019年第9期715-719,共5页金敏慧 王洁 蔡金东 吴文渊 李以贵 
国家自然科学基金资助项目（51035005）;上海市农委重点项目（沪农科创字（2018）第3-3号）
为了满足运输蛋白质、细胞等微纳米级物体的需求,有必要研制聚合物微静电梳齿驱动系统。与硅静电梳齿驱动器相比,聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)静电梳齿驱动器具有成本低、成品率高、驱动电压低和能耗少等优点。首先通过微细加工工艺,制备硅...
关键词：微驱动器 聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA) 硅模具 热模压工艺 切削减薄工艺 
梳齿式静电微驱动器稳定性分析与结构优化被引量：1
《微纳电子技术》2016年第7期449-455,472,共8页单体强 齐杏林 周晓东 范志锋 
装备预研基金项目(9140A05050115JB34065)
针对典型梳齿式静电微驱动器驱动稳定性差的问题,建立微驱动器驱动稳定性分析模型,系统分析微驱动器驱动稳定性随其各结构参数的变化关系,提出基于稳定性因子的微驱动器驱动稳定性评估方法。提出弹性支撑机构外置方案,建立弹性梁非线性...
关键词：静电微驱动器 稳定性 弹性支撑机构 梳齿结构 静电力模型 
基于声表面波的微驱动技术的发展被引量：2
《微纳电子技术》2009年第9期540-545,共6页张冠 李以贵 
国家自然科学基金资助项目(60777016)
基于声表面波技术近年来在微驱动技术领域快速发展的现状以及声表面波器件在生物、医疗、片上实验室等领域具有广阔应用前景的重要意义,就近几年来声表面波微驱动器的最新应用做了简要总结,介绍了声表面波,包括叉指换能器的结构和声表...
关键词：声表面波 微流体加热 微流体雾化 微粒集聚/混合 微流体驱动 线性固体驱动 平面固体驱动 
微驱动器的压电-弹性耦合分析(英文)
《微纳电子技术》2008年第9期532-537,共6页李丽伟 朱荣 周兆英 任建兴 
the general project of Shanghai Municipal Education Commission(Grant No.kz-2006-09)
压电弹性耦合结构是实现MEMS微流体驱动的一种重要方式,掌握压电-弹性振动的耦合机理是微流体驱动协调控制的关键。针对压电与硅膜耦合微驱动结构,基于压电效应和弹性薄板理论,采用Rayleigh-Ritz能量法建立了周边固支边界条件下,弹性振...
关键词：微机电系统 压电驱动 耦合分析 弹性薄板理论 瑞利-黎兹能量法 
微机械继电器的研究及进展被引量：3
《微纳电子技术》2007年第2期88-92,110,共6页刘本东 李德胜 
国家863项目资助(2003AA404140)
对静电驱动微继电器、热驱动微继电器和电磁驱动微继电器的驱动原理和特点分别进行了分析, 介绍了国内外具有代表性的几种微继电器的结构、制作工艺、关键部件的尺寸, 并探索了静电驱动、热驱动和电磁驱动微继电器的发展前景。
关键词：微继电器 微驱动器 微机电系统 
基于能量法的微驱动器静电弹性耦合分析被引量：3
《微纳电子技术》2006年第5期244-246,共3页李丽伟 朱荣 周兆英 
以微泵静电驱动结构为例,基于静电和弹性薄板理论,应用瑞利-黎兹能量法建立了周边固支边界条件下,静电驱动圆膜弯曲振动的谐振频率及相应振型的理论模型。位移振形的模态分析及频率计算结果均表明该计算实例的谐振频率为635Hz,为微驱动...
关键词：静电驱动 薄板理论 瑞利-黎兹能量法 
扭臂式静电微驱动器的pulli-n现象分析被引量：1
《微纳电子技术》2006年第5期251-253,共3页孙东明 董玮 玄伟 刘彩霞 王国东 陈维友 
跨世纪优秀人才培养计划基金;吉林省科技发展计划资助项目(20010319);国家科技部"863计划"资助项目(2002AA312020);吉林大学研究生创新基金资助项目(501038)
从扭臂式微驱动器模型出发,分析了器件在静电驱动条件下pulli-n现象的产生条件,并给出公式化结果。讨论了器件的几何结构参数对于pulli-n现象的影响,并对具体结构的器件给出了pulli-n角度和pulli-n电压等方面的分析结果。对于特定的扭...
关键词：微驱动器 静电驱动 扭臂 pull—in现象 
V型电致热微驱动器的力学特性分析被引量：8
《微纳电子技术》2003年第7期80-83,共4页张永宇 沈雪瑾 陈晓阳 
上海市科技发展基金项目 (0 111nm0 2 0 );上海市教委重点学科科研项目(970 10 4)
运用能量法推导并建立了一种V型悬臂粱电热微致动器的力学模型。利用该力学模型得到了致动器的力学特性 ,并且与相关的实验结果进行了对比。由理论分析和实验对比发现 。
关键词：V型电致热微驱动器 力学特性 MEMS 热膨胀系数 微型机电系统 
LIGA技术及其在微驱动器中的应用
《微纳电子技术》2002年第3期33-38,共6页陈刚 张立彬 胥芳 
介绍了LIGA加工工艺以及多层掩模技术、复制技术和外形磨削成型技术的现状。给出LIGA技术在微驱动器中的应用。
关键词：多层掩模技术 复制技术 外形磨削成型技术 LIGA技术 
全选清除导出
共1页<1>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部