U薄膜

作品数：16被引量：47H指数：5
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相关领域：理学一般工业技术更多>>
相关作者：吕学超任大鹏赖新春张永彬张厚亮更多>>
相关机构：中国工程物理研究院上海交通大学电子科技大学表面物理与化学重点实验室更多>>
相关期刊：《材料科学与工艺》《中国工程物理研究院科技年报》《固体电子学研究与进展》《强激光与粒子束》更多>>
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基于LTCC基板BCB/Cu薄膜混合多层互连技术研究被引量：5
《固体电子学研究与进展》2019年第3期226-234,共9页陈靖 丁蕾 陈瑫 戴洲 沐方清 王立春 赵涛 
国家重大科技专项资助项目(2013ZX01020007)
针对微系统小型化集成对高性能成膜基板需求,研究了基于LTCC基板的BCB/Cu薄膜多层互连关键技术及过程控制要求。提出一种高可靠"T"型界面互连方式的薄膜磁控溅射Cr/Cu/Cr和Cr/Pd/Au复合膜层结构及其制备方法。研究了LTCC基板收缩率偏差...
关键词：微系统 低温共烧陶瓷 薄膜多层互连 苯并环丁烯 界面缺陷 低应力控制 
利用统计学的方法解决AlCu薄膜溅射过程中的缺陷
《科技创新与应用》2017年第30期101-103,共3页张伟 
物理汽相沉积(Physical Vapor Deposition)工艺在集成电路制造工艺流程中的作用是形成金属层,作为导电介质。它通过磁控溅射的方法在晶圆表面形成一层平整的金属层。而MIM层作为元器件的电容结构,它的金属膜厚度最薄,在整个金属导线层...
关键词：MIM结构 裂纹 缺陷 DOE 实验设计 主成分分析 
Cu含量对TiN-Cu纳米复合膜结构与性能的影响被引量：4
《材料科学与工艺》2015年第1期63-68,共6页宋贵宏 张晶晶 杨肖平 李锋 陈立佳 贺春林 
国家自然科学基金资助项目(51171118);沈阳大学辽宁省先进材料制备技术重点实验室资助项目(2012-4)
为研究纳米复合膜超硬机理和促进其商业应用,利用电弧离子镀制备了Ti N-Cu纳米复合膜,并对其表面形貌、晶体结构、能谱、XPS谱和硬度进行研究.结果表明:沉积膜仅含有Ti N相和少量的Ti相,Ti N相晶粒尺寸随薄膜Cu含量的增加而逐渐减小;尽...
关键词：TiN-Cu薄膜 纳米复合膜 硬度 XPS谱 CU含量 电弧离子镀 
热处理对ZnO/Au薄膜结构和压电特性的影响(英文)被引量：1
《强激光与粒子束》2015年第2期176-180,共5页杨杰 陈光焱 王旭光 沈朝阳 姚明秋 
supported by National Natural Science Foundation of China(61101038)
通过射频磁控溅射在氧化硅片表面沉积ZnO/Au薄膜,并通过不同的热处理方式对薄膜进行退火。为了研究退火对ZnO/Au薄膜结构和压电特性的影响,采用X射线衍射分析(XRD)、光学显微镜、场发射扫面电镜(FESEM)和压电力分析仪对薄膜退火前后的...
关键词：ZnO/Au 薄膜 压电特性 结构特性 退火 
磁控溅射Sn-Sb-Cu薄膜的制备及摩擦学性能研究被引量：4
《润滑与密封》2013年第9期1-5,41,共6页李长生 王芬 胡志立 孙建荣 唐华 
国家自然科学基金项目(51275213);江苏省自然科学基金项目(BK2011534)
采用双靶磁控溅射方法,在合适的溅射参数下在40Cr钢基体上制备巴氏合金薄膜,并对其结构以及摩擦学性能进行分析。结果表明:薄膜中出现Sn,SbSn,Cu6Sn5多种物相,其纳米硬度为5.7 GPa,弹性模量为235 GPa,具有较高的弹性模量硬度比;油润滑...
关键词：磁控溅射 Sn—Sb—Cu薄膜 干摩擦 油摩擦 
Ar^+离子束对U薄膜表面粗糙度的影响被引量：3
《稀有金属材料与工程》2010年第5期889-891,共3页张厚亮 吕学超 任大鹏 李嵘 赖新春 赵天明 
采用Ar+离子束对U薄膜表面进行反应溅射,通过白光干涉仪和台阶仪的测量与分析,着重研究Ar+离子束溅射能量、入射角度对其表面粗糙度Ra的影响,并与Ar+离子束刻蚀试验进行比对。结果表明,以30°角入射,随溅射时间的增加,能量为0.5keV的Ar...
关键词：Ar+离子束 反应溅射 刻蚀 U薄膜 表面粗糙度 
基于AFM刻蚀的金属氧化物纳米结构构筑被引量：1
《中国科学（G辑）》2008年第9期1228-1235,共8页朱晓阳 程纲 王书杰 戴树玺 万绍明 张兴堂 杜祖亮 
国家自然科学基金(批准号:90306010);教育部新世纪优秀人才计划(编号:NCET-04-0653);国家重点基础研究计划(编号:2007CB616911);河南省科技厅基础与前沿技术研究项目(编号:072300420100)资助
利用原子力显微镜(AFM)接触模式机械刻蚀的方法,在双层金属Pt/Cu电极表面进行纳米结构的构筑,通过分析不同加工参数(针尖上施加的载荷大小,扫描速度,循环次数)对加工结构尺寸的影响,能得到结构尺寸任意控制的纳米图案.通过在空气中自然...
关键词：原子力显微镜 机械刻蚀 纳米结构 Pt/Cu薄膜 
Ipsu薄膜体声波器件及其在通信系统中的应用被引量：1
《四川大学学报（自然科学版）》2007年第6期1235-1238,共4页吴勇 吴孟强 蒋松涛 钟朝位 张树人 
四川省青年基金(JS0303001)
薄膜体声波谐振器(FBAR)采用一种先进的谐振技术,它是通过压电薄膜的逆压电效应将电能量转换成声波而形成谐振,这一谐振技术可以用来制作薄膜频率整形器件等先进元器件.本文系统介绍了FBAR的结构、工作原理及其在现代通信系统中的应用.
关键词：FBAR 谐振器 振荡器 滤波器 双工器 
精密U薄膜的制备及表征
《中国材料科技与设备》2007年第4期55-57,共3页吕学超 任大鹏 郎定木 黄文莉 姜桂芬 
采用机械磨抛、表面轮廓仪以及AES分析等方法，制备并表征了精密U薄膜。结果表明，获得了厚度从约50μm深减薄到约10μm厚的U薄膜，该薄膜的表面粗糙度Ra、Rq均低于50nm，但峰谷极差Tir大于100nm。薄膜越薄，Ra，Rq，Tir和厚度不一致性...
关键词：U薄膜 机械减薄 表面粗糙度 
用GIXD分析PtRu薄膜的物相深度分布
《分析测试学报》2006年第z1期204-205,共2页杨喜昆 衡根华 
云南省教育厅科学研究基金资助项目(540038A)
　　薄膜材料的物化性能取决于薄膜的组成和结构.PtRu薄膜作为质子交换膜燃料电池的(PEMFCs)催化电极,具有良好的电催化性能.PtRu薄膜的表层结构对其催化性能的影响较大,本文应用掠入射X射线衍射(G1XD)方法分析PtRu薄膜的物相结构随深...
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